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31. 发明专利

TW201040505A 質量流量計、質量流量控制器以及具有其的質量流量計系統及質量流量控制器系統 MASS FLOW METER, MASS FLOW CONTROLLER, AND MASS FLOW METER SYSTEM AND MASS FLOW CONTROLLER SYSTEM HAVING THE SAME CONTROLLER 审中-公开
简体标题：质量流量计、质量流量控制器以及具有其的质量流量计系统及质量流量控制器系统 MASS FLOW METER, MASS FLOW CONTROLLER, AND MASS FLOW METER SYSTEM AND MASS FLOW CONTROLLER SYSTEM HAVING THE SAME CONTROLLER
公开(公告)号：TW201040505A
公开(公告)日：2010-11-16
申请号：TW099106745
申请日：2010-03-09
申请人：堀場STEC股份有限公司
发明人：磯部泰弘 , 米田豊 , 鹿島利弘
IPC分类号： G01F , G05F
CPC分类号： G01F1/6847 , G01F5/00 , G01F25/0007 , G05D7/0635 , Y10T137/7722 , Y10T137/7759 , Y10T137/7761
摘要：本發明提供一種優異的質量流量計，其包括：感測器部2，對流路1中流動的試樣流體G的流量進行偵測；設定部4c，設定所指定的試樣流體所固有的流量特性函數K和儀器誤差修正參數α，所述流量特性函數K是按照每一流體所確定的、用以根據來自所述感測器部2的輸出值確定流量的流量特性函數，且所述儀器誤差修正參數α是獨立於所述流量特性函數且為多個試樣流體所共用的參數，用以對每一質量流量計的儀器誤差進行修正；以及流量計算部4d，根據所述流量特性函數K和所述儀器誤差修正參數α，來計算出所述試樣流體G的流量。
简体摘要：本发明提供一种优异的质量流量计，其包括：传感器部2，对流路1中流动的试样流体G的流量进行侦测；设置部4c，设置所指定的试样流体所固有的流量特性函数K和仪器误差修正参数α，所述流量特性函数K是按照每一流体所确定的、用以根据来自所述传感器部2的输出值确定流量的流量特性函数，且所述仪器误差修正参数α是独立于所述流量特性函数且为多个试样流体所共享的参数，用以对每一质量流量计的仪器误差进行修正；以及流量计算部4d，根据所述流量特性函数K和所述仪器误差修正参数α，来计算出所述试样流体G的流量。

32. 发明专利

TW200839197A 流量計 FLOW METER 失效
简体标题：流量计 FLOW METER
公开(公告)号：TW200839197A
公开(公告)日：2008-10-01
申请号：TW097102608
申请日：2008-01-24
申请人：堀場STEC股份有限公司 HORIBA STEC, CO., LTD.
发明人：井上正規 INOUE, MASAKI , 矢田秀貴 YADA, HIDETAKA
IPC分类号： G01F
CPC分类号： G01F1/6847 , G01F1/6888
摘要：本發明旨在提供一流量計,可在不使裝置整體大型化之情形下使線性特性獲得提昇並穩定地測定其流量大時之流量。其構成包含:流通管2;冷卻裝置3,冷卻流通管2之一部分;第1溫度偵測部4,偵測藉由冷卻裝置3所冷卻之流通管2之溫度;第2溫度偵測部5,偵測冷卻裝置3之溫度;第3溫度偵測部6,偵測流通管2中較冷卻區域2a更為上游之一側之非冷卻區域2b之溫度;及資訊處理部8,控制冷卻裝置3,以使第2溫度偵測部5之偵測溫度與第3溫度偵測部6之偵測溫度兩者間之差値成為既定値,並根據第2溫度偵測部5之偵測溫度與第1溫度偵測部4之偵測溫度兩者間之差値計算流過流通管2內流體F之流量;且將第2溫度偵測部5配置在冷卻裝置3中之最初因該流體F流過流通管內而自流體F受到溫度影響之部分附近。
简体摘要：本发明旨在提供一流量计,可在不使设备整体大型化之情形下使线性特性获得提升并稳定地测定其流量大时之流量。其构成包含:流通管2;冷却设备3,冷却流通管2之一部分;第1温度侦测部4,侦测借由冷却设备3所冷却之流通管2之温度;第2温度侦测部5,侦测冷却设备3之温度;第3温度侦测部6,侦测流通管2中较冷却区域2a更为上游之一侧之非冷却区域2b之温度;及信息处理部8,控制冷却设备3,以使第2温度侦测部5之侦测温度与第3温度侦测部6之侦测温度两者间之差値成为既定値,并根据第2温度侦测部5之侦测温度与第1温度侦测部4之侦测温度两者间之差値计算流过流通管2内流体F之流量;且将第2温度侦测部5配置在冷却设备3中之最初因该流体F流过流通管内而自流体F受到温度影响之部分附近。

33. 发明专利

TWI287626B 處理流體之流量測定方法、使用處理流體之處理方法及其裝置和處理用記錄媒體失效
简体标题：处理流体之流量测定方法、使用处理流体之处理方法及其设备和处理用记录媒体
公开(公告)号：TWI287626B
公开(公告)日：2007-10-01
申请号：TW095128186
申请日：2006-08-01
申请人：東京威力科創股份有限公司 TOKYO ELECTRON LIMITED
发明人：佐竹圭吾 SATAKE, KEIGO
IPC分类号： G01F
CPC分类号： H01L21/67253 , G01F1/68 , G01F1/684 , G01F1/6847
摘要： [課題]使得能根據被供給至處理室內之處理流體的被供給時之溫度，正確地測定出處理流體的流量。
[解決手段]於將作為被處理體之半導體晶圓W藉由處理流體(舉例而言，臭氧氣體與水蒸氣之混合氣體)來處理的處理室2內，在從處理流體供給源(臭氧產生器7，水蒸氣產生器9)經由處理流體供給管6來供給處理流體時，經由溫度感測器10，來計測出流動於處理流體供給管內之處理流體的溫度，並將其檢測訊號傳達至CPU20，經由CPU20，當流動於處理流體供給管內之處理流體的溫度到達特定之溫度時，判定處理流體為到達特定之流量。
简体摘要： [课题]使得能根据被供给至处理室内之处理流体的被供给时之温度，正确地测定出处理流体的流量。 [解决手段]于将作为被处理体之半导体晶圆W借由处理流体(举例而言，臭氧气体与水蒸气之混合气体)来处理的处理室2内，在从处理流体供给源(臭氧产生器7，水蒸气产生器9)经由处理流体供给管6来供给处理流体时，经由温度传感器10，来计测出流动于处理流体供给管内之处理流体的温度，并将其检测信号传达至CPU20，经由CPU20，当流动于处理流体供给管内之处理流体的温度到达特定之温度时，判定处理流体为到达特定之流量。

34. 发明专利

TW200736583A 具有傾斜度感應器之質量流量計或控制器 MASS FLOW METER OR CONTROLLER WITH LNCLINATION SENSOR 审中-公开
简体标题：具有倾斜度感应器之质量流量计或控制器 MASS FLOW METER OR CONTROLLER WITH LNCLINATION SENSOR
公开(公告)号：TW200736583A
公开(公告)日：2007-10-01
申请号：TW096108901
申请日：2007-03-15
申请人：快捷公司 CELERITY, INC.
发明人：王均 WANG, CHIUN , 艾瑞克J. 瑞德曼 REDEMANN, ERIC J.
IPC分类号： G01F , G05D
CPC分类号： G05D7/0635 , G01F1/6847 , G01F5/00 , G01F15/00
摘要：一種熱質量流量計,可與一傾斜度感應器相結合,此傾斜度感應器可偵測出至少一部分熱質量流量計相對於至少一參考軸的傾斜角度。根據此偵測到的傾斜角度,指出流過此感應器的流體質量流速之質量流量計的輸出信號,能夠獲得補償,以彌補任何與質量流量計被安裝的定向有關之不準確。提供補償的這些不準確,包括熱虹吸效應與流體浮力效應。藉由補償這些不準確,質量流量計可以用於任何定向上,且/或可以被用於非慣性(例如:加速度)環境上。流量計可以被用作為單獨的裝置,或者被合併到一熱質量流控制器內。
简体摘要：一种热质量流量计,可与一倾斜度感应器相结合,此倾斜度感应器可侦测出至少一部分热质量流量计相对于至少一参考轴的倾斜角度。根据此侦测到的倾斜角度,指出流过此感应器的流体质量流速之质量流量计的输出信号,能够获得补偿,以弥补任何与质量流量计被安装的定向有关之不准确。提供补偿的这些不准确,包括热虹吸效应与流体浮力效应。借由补偿这些不准确,质量流量计可以用于任何定向上,且/或可以被用于非惯性(例如:加速度)环境上。流量计可以被用作为单独的设备,或者被合并到一热质量流控制器内。

35. 发明专利

TWI266865B 熱質流感測器之隔熱裝置及方法 APPARATUS AND METHOD FOR THERMAL ISOLATION OF THERMAL MASS FLOW SENSOR 有权
简体标题：热质流传感器之隔热设备及方法 APPARATUS AND METHOD FOR THERMAL ISOLATION OF THERMAL MASS FLOW SENSOR
公开(公告)号：TWI266865B
公开(公告)日：2006-11-21
申请号：TW091136759
申请日：2002-12-20
申请人： MKS公司 MKS INSTRUMENTS, INC.
发明人：安傑斯 JESSE AMBROSINA , 鈴木勳 ISAO SUZUKI
IPC分类号： G01F
CPC分类号： G05D7/0635 , G01F1/684 , G01F1/6847 , G01F5/00
摘要：一種熱質流控制器，其包含一感測器總成和質流控制器殼體。一熱接地限制該質流控制器殼體與該感測器總成之間的熱傳導路徑，且因為熱接地之有限橫截面而大致消弭該感測器總成內之外加熱梯度。
简体摘要：一种热质流控制器，其包含一传感器总成和质流控制器壳体。一热接地限制该质流控制器壳体与该传感器总成之间的热传导路径，且因为热接地之有限横截面而大致消弭该传感器总成内之外加热梯度。

36. 发明专利

TW200406576A 具有共同參考引線之可變電阻感測器 VARIABLE RESISTANCE SENSOR WITH COMMON REFERENCE LEG 失效
简体标题：具有共同参考引线之可变电阻传感器 VARIABLE RESISTANCE SENSOR WITH COMMON REFERENCE LEG
公开(公告)号：TW200406576A
公开(公告)日：2004-05-01
申请号：TW092119635
申请日：2003-07-18
申请人：快捷集團公司 CELERITY GROUP, INC.
发明人：約翰米雪兒露爾 LULL, JOHN MICHAEL
IPC分类号： G01F
CPC分类号： G01F1/696 , G01F1/6847 , G01F1/698 , G01F1/86
摘要：一種感測器係包含：一個第一電阻性橋電路，該第一電阻性橋電路係具有一個第一可變電阻值之電阻器，及一個第二電阻性橋電路，該第二電阻性橋電路係具有一個第二可變電阻值之電阻器。該第一電阻性橋電路及該第二電阻性橋電路係共享一個共同參考引線之至少一部分，該共同參考引線係設定該第一電阻性橋電路及該第二電阻性橋電路之一個電阻值。或者，該共同參考引線或者該共同參考引線之一部分係可切換地連接至該第一電阻性橋電路及該第二電阻性橋電路之一。
简体摘要：一种传感器系包含：一个第一电阻性桥电路，该第一电阻性桥电路系具有一个第一可变电阻值之电阻器，及一个第二电阻性桥电路，该第二电阻性桥电路系具有一个第二可变电阻值之电阻器。该第一电阻性桥电路及该第二电阻性桥电路系共享一个共同参考引线之至少一部分，该共同参考引线系设置该第一电阻性桥电路及该第二电阻性桥电路之一个电阻值。或者，该共同参考引线或者该共同参考引线之一部分系可切换地连接至该第一电阻性桥电路及该第二电阻性桥电路之一。

37. 发明专利

TWI618999B 應用於質量流量控制器中經改良之指示流量的系統及方法有权
简体标题：应用于质量流量控制器中经改良之指示流量的系统及方法
公开(公告)号：TWI618999B
公开(公告)日：2018-03-21
申请号：TW103106699
申请日：2014-02-27
申请人：日立金屬股份有限公司 , HITACHI METALS, LTD.
发明人：史摩諾夫艾立克 , SMIRNOV, ALEXEI
IPC分类号： G05D7/00 , G01F1/00
CPC分类号： G01F1/6847 , G01F1/6842 , G01F5/00 , G01F15/002 , G01F15/005 , G05D7/0635

38. 发明专利

TW201531668A 流量計及具備該流量計的流量控制裝置审中-公开
简体标题：流量计及具备该流量计的流量控制设备
公开(公告)号：TW201531668A
公开(公告)日：2015-08-16
申请号：TW103137005
申请日：2014-10-27
申请人：富士金股份有限公司 , FUJIKIN INCORPORATED
发明人：永瀬正明 , NAGASE, MASAAKI , 池田信一 , IKEDA, NOBUKAZU , 西野功二 , NISHINO, KOUJI , 土肥亮介 , DOHI, RYOUSUKE , 日高敦志 , HIDAKA, ATSUSHI , 杉田勝幸 , SUGITA, KATSUYUKI
IPC分类号： G01F1/34 , G05D7/06
CPC分类号： G05D7/0647 , F16K31/004 , F16K31/06 , G01F1/34 , G01F1/363 , G01F1/42 , G01F1/6847 , G01F15/002 , G01F15/005 , G01F15/04
摘要：本發明提供一種：有效地利用壓力式流量控制部所具備的高耐壓力變動特性，藉由將衰減式流量監測部組合於壓力式流量控制部的上游側，執行趨近於即時(real time)的流量監測，並藉由可對應於流量區域來切換監測流量，而能擴大監測流量範圍與提升監測精確度和流量控制之精確度之具有流量範圍切換型流量監測器的壓力式流量控制裝置。本發明，是由「設於上游側的衰減式流量監測部BDM」、和「設於其下游側的壓力式流量控制部FCS」、和「連結衰減式流量監測部BDM與壓力式流量控制部FCS，將衰減式流量監測部BDM的監測流量Q朝壓力式流量控制部FCS傳送的訊號傳送迴路CT」、及「設於壓力式流量控制部FCS，根據來自於前述衰減式流量監測部BDM的監測流量Q，調整壓力式流量控制部FCS之設定流量Qs的流量設定值調整機構QSR」所構成之具有衰減式流量監測器的壓力式流量控制裝置，前述衰減式流量監測部BDM的監測流量演算控制部CPb形成：當大流量時，使前述出口側開閉切換閥PV2保持開放狀態，並將入口側開閉切換閥PV1的出口側與流量控制部FCS的控制閥CV之間的氣體通路內容積，作為衰減容積而演算大監測流量Q1，此外，當小流量時，使入口側開閉切換閥PV1保持開放狀態，並將出口側開閉切換閥PV2的出口側與流量控制部FCS的控制閥CV之間的氣體通路內容積而演算小監測流量Q2的構造。
简体摘要：本发明提供一种：有效地利用压力式流量控制部所具备的高耐压力变动特性，借由将衰减式流量监测部组合于压力式流量控制部的上游侧，运行趋近于实时(real time)的流量监测，并借由可对应于流量区域来切换监测流量，而能扩大监测流量范围与提升监测精确度和流量控制之精确度之具有流量范围切换型流量监测器的压力式流量控制设备。本发明，是由“设于上游侧的衰减式流量监测部BDM”、和“设于其下游侧的压力式流量控制部FCS”、和“链接衰减式流量监测部BDM与压力式流量控制部FCS，将衰减式流量监测部BDM的监测流量Q朝压力式流量控制部FCS发送的信号发送回路CT”、及“设于压力式流量控制部FCS，根据来自于前述衰减式流量监测部BDM的监测流量Q，调整压力式流量控制部FCS之设置流量Qs的流量设置值调整机构QSR”所构成之具有衰减式流量监测器的压力式流量控制设备，前述衰减式流量监测部BDM的监测流量演算控制部CPb形成：当大流量时，使前述出口侧开闭切换阀PV2保持开放状态，并将入口侧开闭切换阀PV1的出口侧与流量控制部FCS的控制阀CV之间的气体通路内容积，作为衰减容积而演算大监测流量Q1，此外，当小流量时，使入口侧开闭切换阀PV1保持开放状态，并将出口侧开闭切换阀PV2的出口侧与流量控制部FCS的控制阀CV之间的气体通路内容积而演算小监测流量Q2的构造。

39. 发明专利

TWI470188B 流量感測器有权
简体标题：流量传感器
公开(公告)号：TWI470188B
公开(公告)日：2015-01-21
申请号：TW099132626
申请日：2010-09-27
申请人：堀場STEC股份有限公司 , HORIBA STEC, CO., LTD.
发明人：高倉洋 , TAKAKURA, HIROSHI , 山野翔平 , YAMANO, SHOHEI , 衣斐寬之 , EBI, HIROYUKI
IPC分类号： G01F1/698
CPC分类号： G01F1/698 , G01F1/6847

40. 发明专利

TWI454671B 在一質量流量控制器中測量氣體溫度的方法與裝置有权
简体标题：在一质量流量控制器中测量气体温度的方法与设备
公开(公告)号：TWI454671B
公开(公告)日：2014-10-01
申请号：TW097107298
申请日：2008-03-03
申请人：日立金屬股份有限公司 , HITACHI METALS, LTD.
发明人：伊藤裕之 , ITO, HIROYUKI , 麥可約翰索拉克 , ZOLOCK, MICHAEL JOHN
IPC分类号： G01K13/02 , G01F1/68
CPC分类号： G01F1/6847 , G01F15/043 , G01K7/42 , G01K13/02 , G05D7/0635

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