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1. 发明专利

TW200306468A 質流控制器之熱管理裝置及方法 APPARATUS AND METHOD FOR THERMAL MANAGEMENT OF A MASS FLOW CONTROLLER 审中-公开
简体标题：质流控制器之热管理设备及方法 APPARATUS AND METHOD FOR THERMAL MANAGEMENT OF A MASS FLOW CONTROLLER
公开(公告)号：TW200306468A
公开(公告)日：2003-11-16
申请号：TW091136758
申请日：2002-12-20
申请人： MKS公司 MKS INSTRUMENTS, INC.
发明人：安傑斯 JESSE AMBROSINA , 鈴木勳 ISAO SUZUKI , 夏亞義 ALI SHAJII
IPC分类号： G05D , G01F
CPC分类号： G01F1/6847 , G01F1/684 , G01F5/00 , G01F15/04 , G05D7/0635
摘要：一種熱質流控制器，其包含一感測器總成、一閥總成、和質流控制器殼體。一熱接地限制該質流控制器殼體與該感測器總成之間的熱傳導路徑，且因為熱接地之有限橫截面而大致消弭該感測器總成內之外加熱梯度。該控制器亦包含一散熱元件將熱能從該閥總成沿一路徑傳導帶離該感測器總成。
简体摘要：一种热质流控制器，其包含一传感器总成、一阀总成、和质流控制器壳体。一热接地限制该质流控制器壳体与该传感器总成之间的热传导路径，且因为热接地之有限横截面而大致消弭该传感器总成内之外加热梯度。该控制器亦包含一散热组件将热能从该阀总成沿一路径传导带离该传感器总成。

2. 发明专利

TWI265397B 質流控制器之熱管理裝置及方法 APPARATUS AND METHOD FOR THERMAL MANAGEMENT OF A MASS FLOW CONTROLLER 有权
简体标题：质流控制器之热管理设备及方法 APPARATUS AND METHOD FOR THERMAL MANAGEMENT OF A MASS FLOW CONTROLLER
公开(公告)号：TWI265397B
公开(公告)日：2006-11-01
申请号：TW091136758
申请日：2002-12-20
申请人： MKS公司 MKS INSTRUMENTS, INC.
发明人：安傑斯 JESSE AMBROSINA , 鈴木勳 ISAO SUZUKI , 夏亞義 ALI SHAJII
IPC分类号： G05D , G01F
CPC分类号： G01F1/6847 , G01F1/684 , G01F5/00 , G01F15/04 , G05D7/0635
摘要：一種熱質流控制器，其包含一感測器總成、一閥總成、和質流控制器殼體。一熱接地限制該質流控制器殼體與該感測器總成之間的熱傳導路徑，且因為熱接地之有限橫截面而大致消弭該感測器總成內之外加熱梯度。該控制器亦包含一散熱元件將熱能從該閥總成沿一路徑傳導帶離該感測器總成。
简体摘要：一种热质流控制器，其包含一传感器总成、一阀总成、和质流控制器壳体。一热接地限制该质流控制器壳体与该传感器总成之间的热传导路径，且因为热接地之有限横截面而大致消弭该传感器总成内之外加热梯度。该控制器亦包含一散热组件将热能从该阀总成沿一路径传导带离该传感器总成。

3. 发明专利

TWI524054B 流量計及具備該流量計的流量控制裝置有权
简体标题：流量计及具备该流量计的流量控制设备
公开(公告)号：TWI524054B
公开(公告)日：2016-03-01
申请号：TW103137005
申请日：2014-10-27
申请人：富士金股份有限公司 , FUJIKIN INCORPORATED
发明人：永瀬正明 , NAGASE, MASAAKI , 池田信一 , IKEDA, NOBUKAZU , 西野功二 , NISHINO, KOUJI , 土肥亮介 , DOHI, RYOUSUKE , 日高敦志 , HIDAKA, ATSUSHI , 杉田勝幸 , SUGITA, KATSUYUKI
IPC分类号： G01F1/34 , G05D7/06
CPC分类号： G05D7/0647 , F16K31/004 , F16K31/06 , G01F1/34 , G01F1/363 , G01F1/42 , G01F1/6847 , G01F15/002 , G01F15/005 , G01F15/04

4. 发明专利

TW201531668A 流量計及具備該流量計的流量控制裝置审中-公开
简体标题：流量计及具备该流量计的流量控制设备
公开(公告)号：TW201531668A
公开(公告)日：2015-08-16
申请号：TW103137005
申请日：2014-10-27
申请人：富士金股份有限公司 , FUJIKIN INCORPORATED
发明人：永瀬正明 , NAGASE, MASAAKI , 池田信一 , IKEDA, NOBUKAZU , 西野功二 , NISHINO, KOUJI , 土肥亮介 , DOHI, RYOUSUKE , 日高敦志 , HIDAKA, ATSUSHI , 杉田勝幸 , SUGITA, KATSUYUKI
IPC分类号： G01F1/34 , G05D7/06
CPC分类号： G05D7/0647 , F16K31/004 , F16K31/06 , G01F1/34 , G01F1/363 , G01F1/42 , G01F1/6847 , G01F15/002 , G01F15/005 , G01F15/04
摘要：本發明提供一種：有效地利用壓力式流量控制部所具備的高耐壓力變動特性，藉由將衰減式流量監測部組合於壓力式流量控制部的上游側，執行趨近於即時(real time)的流量監測，並藉由可對應於流量區域來切換監測流量，而能擴大監測流量範圍與提升監測精確度和流量控制之精確度之具有流量範圍切換型流量監測器的壓力式流量控制裝置。本發明，是由「設於上游側的衰減式流量監測部BDM」、和「設於其下游側的壓力式流量控制部FCS」、和「連結衰減式流量監測部BDM與壓力式流量控制部FCS，將衰減式流量監測部BDM的監測流量Q朝壓力式流量控制部FCS傳送的訊號傳送迴路CT」、及「設於壓力式流量控制部FCS，根據來自於前述衰減式流量監測部BDM的監測流量Q，調整壓力式流量控制部FCS之設定流量Qs的流量設定值調整機構QSR」所構成之具有衰減式流量監測器的壓力式流量控制裝置，前述衰減式流量監測部BDM的監測流量演算控制部CPb形成：當大流量時，使前述出口側開閉切換閥PV2保持開放狀態，並將入口側開閉切換閥PV1的出口側與流量控制部FCS的控制閥CV之間的氣體通路內容積，作為衰減容積而演算大監測流量Q1，此外，當小流量時，使入口側開閉切換閥PV1保持開放狀態，並將出口側開閉切換閥PV2的出口側與流量控制部FCS的控制閥CV之間的氣體通路內容積而演算小監測流量Q2的構造。
简体摘要：本发明提供一种：有效地利用压力式流量控制部所具备的高耐压力变动特性，借由将衰减式流量监测部组合于压力式流量控制部的上游侧，运行趋近于实时(real time)的流量监测，并借由可对应于流量区域来切换监测流量，而能扩大监测流量范围与提升监测精确度和流量控制之精确度之具有流量范围切换型流量监测器的压力式流量控制设备。本发明，是由“设于上游侧的衰减式流量监测部BDM”、和“设于其下游侧的压力式流量控制部FCS”、和“链接衰减式流量监测部BDM与压力式流量控制部FCS，将衰减式流量监测部BDM的监测流量Q朝压力式流量控制部FCS发送的信号发送回路CT”、及“设于压力式流量控制部FCS，根据来自于前述衰减式流量监测部BDM的监测流量Q，调整压力式流量控制部FCS之设置流量Qs的流量设置值调整机构QSR”所构成之具有衰减式流量监测器的压力式流量控制设备，前述衰减式流量监测部BDM的监测流量演算控制部CPb形成：当大流量时，使前述出口侧开闭切换阀PV2保持开放状态，并将入口侧开闭切换阀PV1的出口侧与流量控制部FCS的控制阀CV之间的气体通路内容积，作为衰减容积而演算大监测流量Q1，此外，当小流量时，使入口侧开闭切换阀PV1保持开放状态，并将出口侧开闭切换阀PV2的出口侧与流量控制部FCS的控制阀CV之间的气体通路内容积而演算小监测流量Q2的构造。

5. 发明专利

TW428075B 壓力鈍感之氣體控制系統失效
简体标题：压力钝感之气体控制系统
公开(公告)号：TW428075B
公开(公告)日：2001-04-01
申请号：TW089113822
申请日：2000-07-12
申请人：單元儀器公司
发明人：大衛P 薛瑞夫 , 王奇庸
IPC分类号： F17D
CPC分类号： G01F15/04 , G01F15/002 , G01F15/02 , G01F15/10 , Y10T137/2632
摘要：一種鈍感氣體處理裝置，其包含一個氣體感測器以及分別位在該氣體感測器上游和下游的節流器。在該氣體處理裝置中，壓力鈍感係可藉由包含質量流控制器以及其他型式的裝置而達成。該節流器可導致該氣體感測器之上游和下游的壓力降，而使得該氣體感測器分別與上游和下游的壓力變動屏蔽隔絕，因此造成該氣體感測器和整個氣體處理裝置對於壓力的改變沒有反應。
简体摘要：一种钝感气体处理设备，其包含一个气体传感器以及分别位在该气体传感器上游和下游的节流器。在该气体处理设备中，压力钝感系可借由包含质量流控制器以及其他型式的设备而达成。该节流器可导致该气体传感器之上游和下游的压力降，而使得该气体传感器分别与上游和下游的压力变动屏蔽隔绝，因此造成该气体传感器和整个气体处理设备对于压力的改变没有反应。

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