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    • 30. 发明专利
    • 層體設計中之流體溫度控制氣體分配器
    • 层体设计中之流体温度控制气体分配器
    • TW201801795A
    • 2018-01-16
    • TW106117378
    • 2017-05-25
    • 梅耶博格〈德國〉股份有限公司MEYER BURGER (GERMANY) AG
    • 比茲曲 洛克PIETZSCH, ROCCO安索奇 艾瑞克ANSORGE, ERIK史伊特 烏伊SCHEIT, UWE范德爾 克里斯迅FRENDEL, CHRISTIAN
    • B05B1/24F16L53/00C23C16/455
    • C23C16/45565C23C16/45572C23C16/45574
    • 本發明係關於一種用於允許至少一種氣體進入且將至少一種氣體分配至一處理區中之氣體分配器且係關於一種用於製作此氣體分配器之方法。該氣體分配器包括藉由一接合方法以一氣密方式彼此連接之一基底板、一溫度控制板及一頂板。該溫度控制板具有經構形為藉由腹板彼此分離且自該溫度控制板之一第一側延伸至該溫度控制板之一第二側之孔隙之溫度控制通道。對應於該基底板中之氣體出口開口及該頂板中之氣體入口開口之連續腹板孔形成於該溫度控制板之該等腹板中且形成氣體通道。在該頂板中,一溫度控制流體分配器及一溫度控制流體收集器經執行為穿過該頂板之孔隙。因此一溫度控制流體可自配置於該頂板上之一溫度控制流體供應連接件流動通過該溫度控制流體分配器至該等溫度控制通道中且通過該溫度控制流體收集器至配置於該頂板上之一溫度控制流體出口連接件中。根據該方法,首先在該溫度控制板中形成該等溫度控制通道,在該頂板中形成該溫度控制流體分配器及該溫度控制流體收集器,且將該基底板、該溫度控制板及該頂板以一氣密方式彼此連接。接著在一聯合程序步驟中製作該等氣體通道。
    • 本发明系关于一种用于允许至少一种气体进入且将至少一种气体分配至一处理区中之气体分配器且系关于一种用于制作此气体分配器之方法。该气体分配器包括借由一接合方法以一气密方式彼此连接之一基底板、一温度控制板及一顶板。该温度控制板具有经构形为借由腹板彼此分离且自该温度控制板之一第一侧延伸至该温度控制板之一第二侧之孔隙之温度控制信道。对应于该基底板中之气体出口开口及该顶板中之气体入口开口之连续腹板孔形成于该温度控制板之该等腹板中且形成气体信道。在该顶板中,一温度控制流体分配器及一温度控制流体收集器经运行为穿过该顶板之孔隙。因此一温度控制流体可自配置于该顶板上之一温度控制流体供应连接件流动通过该温度控制流体分配器至该等温度控制信道中且通过该温度控制流体收集器至配置于该顶板上之一温度控制流体出口连接件中。根据该方法,首先在该温度控制板中形成该等温度控制信道,在该顶板中形成该温度控制流体分配器及该温度控制流体收集器,且将该基底板、该温度控制板及该顶板以一气密方式彼此连接。接着在一联合进程步骤中制作该等气体信道。