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1. 发明专利

TWI573627B 液體定量吐出裝置及塗佈裝置有权
简体标题：液体定量吐出设备及涂布设备
公开(公告)号：TWI573627B
公开(公告)日：2017-03-11
申请号：TW102108213
申请日：2013-03-08
申请人：武藏工業股份有限公司 , MUSASHI ENGINEERING, INC.
发明人：生島和正 , IKUSHIMA, KAZUMASA
IPC分类号： B05B7/12 , B05B12/02
CPC分类号： B05B9/0409 , B05B3/18 , B05C5/0212 , B05C5/0225 , B05C5/0229 , B05C11/1002 , B05C11/1047 , B65D83/0022 , F04B7/0023 , F04B9/10 , F04B13/02 , F04B35/04 , G01F11/021 , G01F11/029

2. 发明专利

TW201642983A 液滴排出裝置及其調整方法审中-公开
简体标题：液滴排出设备及其调整方法
公开(公告)号：TW201642983A
公开(公告)日：2016-12-16
申请号：TW105112592
申请日：2008-03-07
申请人：武藏工業股份有限公司 , MUSASHI ENGINEERING, INC.
发明人：生島和正 , IKUSHIMA KAZUMASA
IPC分类号： B23K3/06 , B05C5/02
CPC分类号： B23K3/0623 , B05C5/0225 , B41J2/04586 , B41J2/04588 , B41J2/14 , B41J2002/041 , B41J2202/05
摘要：本發明係提供排出動作時，柱塞前端將依非接觸狀態保持於液室內壁上的液滴排出技術，特別係目的在於提供即使為焊錫膏等之經摻入填充劑的液材，仍可施行良好排出的液滴排出裝置及其調整方法。解決手段的液滴排出裝置及其調整方法，係具備有：具有將液材排出之排出口的液室；連通於液室的貫通孔；插通於貫通孔中，且其前端部在液室內進行前進後退動作的柱塞；使柱塞產生前進後退動作的柱塞移動手段；以及規範柱塞前端部位置的柱塞定位手段；且，藉由使柱塞前端部與液室內壁依非接觸狀態進行柱塞之前進移動與前進之停止，以便對液材賦予慣性力而依液滴狀態排出的液滴排出裝置；其中，上述柱塞定位手段係將停止前進時的柱塞前端部位置，規範於其前進方向的液室內壁附近。
简体摘要：本发明系提供排出动作时，柱塞前端将依非接触状态保持于液室内壁上的液滴排出技术，特别系目的在于提供即使为焊锡膏等之经掺入填充剂的液材，仍可施行良好排出的液滴排出设备及其调整方法。解决手段的液滴排出设备及其调整方法，系具备有：具有将液材排出之排出口的液室；连通于液室的贯通孔；插通于贯通孔中，且其前端部在液室内进行前进后退动作的柱塞；使柱塞产生前进后退动作的柱塞移动手段；以及规范柱塞前端部位置的柱塞定位手段；且，借由使柱塞前端部与液室内壁依非接触状态进行柱塞之前进移动与前进之停止，以便对液材赋予惯性力而依液滴状态排出的液滴排出设备；其中，上述柱塞定位手段系将停止前进时的柱塞前端部位置，规范于其前进方向的液室内壁附近。

3. 发明专利

TW201613697A 液體材料之吐出方法及裝置审中-公开
简体标题：液体材料之吐出方法及设备
公开(公告)号：TW201613697A
公开(公告)日：2016-04-16
申请号：TW104139413
申请日：2008-05-19
申请人：武藏工業股份有限公司 , MUSASHI ENGINEERING, INC.
发明人：生島和正 , IKUSHIMA KAZUMASA
IPC分类号： B05D3/00 , B05C5/00 , B05C11/00
CPC分类号： B41J25/308 , B05B12/06 , B05C5/02 , B05C5/0225 , B05C11/1034 , B41J2/01 , B41J2/04516 , B41J2/04556 , B41J2/0458 , B41J2/04581 , B41J2/1433 , B41J2202/05
摘要：本發明所提供的液體吐出方法及裝置，可解決產生衛星液滴的問題與彈落位置的精度問題。本發明的液體材料吐出方法，係對液體材料賦予慣性力，而將其從吐出口中以液滴狀態吐出的液體材料吐出方法，其特徵在於：當從吐出口中所流出的液體材料在離開吐出口之際，測定從吐出口下端到由吐出口流出的液體材料下端間之距離A，並將吐出口下端與工件表面間之距離B，設定為大略如同上述距離A的距離。本發明的解決手段亦包括有實施該方法的裝置。
简体摘要：本发明所提供的液体吐出方法及设备，可解决产生卫星液滴的问题与弹落位置的精度问题。本发明的液体材料吐出方法，系对液体材料赋予惯性力，而将其从吐出口中以液滴状态吐出的液体材料吐出方法，其特征在于：当从吐出口中所流出的液体材料在离开吐出口之际，测定从吐出口下端到由吐出口流出的液体材料下端间之距离A，并将吐出口下端与工件表面间之距离B，设置为大略如同上述距离A的距离。本发明的解决手段亦包括有实施该方法的设备。

4. 发明专利

TW201611910A 液體塗布方法、液體塗布裝置、及電腦可讀取的記錄媒體审中-公开
简体标题：液体涂布方法、液体涂布设备、及电脑可读取的记录媒体
公开(公告)号：TW201611910A
公开(公告)日：2016-04-01
申请号：TW104117074
申请日：2015-05-28
申请人：東京威力科創股份有限公司 , TOKYO ELECTRON LIMITED
发明人：一野克憲 , ICHINO, KATSUNORI , 石井貴幸 , ISHII, TAKAYUKI , 川原幸三 , KAWAHARA, KOUZOU , 下川大輔 , SIMOKAWA, DAISUKE , 田代和之 , TASHIRO, KAZUYUKI
IPC分类号： B05D1/00 , B05D1/26 , B05C11/10 , B05C5/02
CPC分类号： B05C5/0216 , B05C5/0225 , B05C11/1002 , B05D1/002 , G03F7/162 , H01L21/6715
摘要：本發明之目的在於使形成於基板表面的塗布膜的膜厚更加均勻一致。為了達到上述目的，本發明之液體塗布方法進行：在晶圓W的旋轉中，一邊使噴嘴N在晶圓W的旋轉軸與晶圓W的周緣部位之間沿著晶圓W的表面Wa朝既定方向移動，一邊從噴嘴N吐出塗布液，藉此在晶圓W的表面Wa上將塗布液塗布成螺旋狀的步驟；在晶圓W的表面Wa上噴嘴N的塗布液的吐出位置越靠晶圓W的周緣側使晶圓W的轉速越小，藉以使吐出位置的線速度大略為固定的步驟；以及根據從噴嘴N吐出之前的塗布液的流量使噴嘴N的吐出口與晶圓W的表面Wa之間的間距變化，藉以使噴嘴N所吐出之塗布液的吐出流量大略為固定之大小的步驟。
简体摘要：本发明之目的在于使形成于基板表面的涂布膜的膜厚更加均匀一致。为了达到上述目的，本发明之液体涂布方法进行：在晶圆W的旋转中，一边使喷嘴N在晶圆W的旋转轴与晶圆W的周缘部位之间沿着晶圆W的表面Wa朝既定方向移动，一边从喷嘴N吐出涂布液，借此在晶圆W的表面Wa上将涂布液涂布成螺旋状的步骤；在晶圆W的表面Wa上喷嘴N的涂布液的吐出位置越靠晶圆W的周缘侧使晶圆W的转速越小，借以使吐出位置的线速度大略为固定的步骤；以及根据从喷嘴N吐出之前的涂布液的流量使喷嘴N的吐出口与晶圆W的表面Wa之间的间距变化，借以使喷嘴N所吐出之涂布液的吐出流量大略为固定之大小的步骤。

5. 发明专利

TW201600775A 具有閥挺桿的計量閥审中-公开
简体标题：具有阀挺杆的计量阀
公开(公告)号：TW201600775A
公开(公告)日：2016-01-01
申请号：TW104119649
申请日：2015-06-17
申请人：韋密斯微分配有限公司 , VERMES MICRODISPENSING GMBH
发明人：弗利斯馬里奧 , 施泰特勒於爾格
IPC分类号： F16K1/16 , F16K1/36 , F16K21/02
CPC分类号： B05C5/0225 , F16K1/36 , F16K1/50 , F16K31/007
摘要：本發明描述了一種用於計量閥(1)的閥挺桿(7)的推桿(10)。推桿(10)在縱向上沿著縱軸線(A)延伸。推桿(10)包括致動器壓緊面(29)，和相對於推桿(10)的縱軸線(A)偏心的定位元件(9)。此外還涉及一種用於閥挺桿(7)的挺桿頂端(11)。挺桿頂端(11)在其端部具有內螺紋(12)，用於使挺桿頂端(11)與推桿(10)的外螺紋(13)聯接。此外提出了一種特別是用於計量閥(1)的閥挺桿(7)。最後描述了一種特別是用於輸出最小的計量物質量的計量閥(1)。
简体摘要：本发明描述了一种用于计量阀(1)的阀挺杆(7)的推杆(10)。推杆(10)在纵向上沿着纵轴线(A)延伸。推杆(10)包括致动器压紧面(29)，和相对于推杆(10)的纵轴线(A)偏心的定比特件(9)。此外还涉及一种用于阀挺杆(7)的挺杆顶端(11)。挺杆顶端(11)在其端部具有内螺纹(12)，用于使挺杆顶端(11)与推杆(10)的外螺纹(13)联接。此外提出了一种特别是用于计量阀(1)的阀挺杆(7)。最后描述了一种特别是用于输出最小的计量物质量的计量阀(1)。

6. 发明专利

TWI474123B 基板處理裝置及基板處理方法有权
简体标题：基板处理设备及基板处理方法
公开(公告)号：TWI474123B
公开(公告)日：2015-02-21
申请号：TW101133948
申请日：2012-09-17
申请人：斯克林集團公司 , SCREEN HOLDINGS CO., LTD.
发明人：宮城雅宏 , MIYAGI, MASAHIRO , 橋本光治 , HASHIMOTO, KOJI , 遠藤亨 , ENDO, TORU
IPC分类号： G03F7/16 , H01L21/67
CPC分类号： B05C11/08 , B05B1/00 , B05C5/0225 , B05C11/10 , B05C11/1036 , B05C11/1039 , B05C13/00 , B05D1/02 , H01L21/67051

7. 发明专利

TW201501813A 液體材料吐出裝置，其之塗佈裝置及塗佈方法审中-公开
简体标题：液体材料吐出设备，其之涂布设备及涂布方法
公开(公告)号：TW201501813A
公开(公告)日：2015-01-16
申请号：TW103109861
申请日：2014-03-14
申请人：武藏工業股份有限公司 , MUSASHI ENGINEERING, INC.
发明人：生島和正 , IKUSHIMA, KAZUMASA
IPC分类号： B05C5/00
CPC分类号： B05C5/0225 , B05C11/1034 , B05C11/1047
摘要：本發明係提供一種可有效地解決滴液之問題、更進一步可提高吐出作業之作業性之吐出裝置、其之塗佈裝置及塗佈方法。本發明係一種液體材料吐出裝置、其之塗佈裝置及塗佈方法，該液體材料吐出裝置係包括：吐出口；液室，其與吐出口產生連通，且被供給有液體材料；推進力賦予構件，其配置在液室內；推進力賦予構件驅動源，其使推進力賦予構件產生動作；及吐出控制部；且設置有：加壓部，其具有供給經加壓之液體材料的加壓流路；負壓部，其具有可設定為與液室內壓力相比而相對地較低之壓力的退避流路；液體閥部，其具有將液室與加壓流路加以連通之液體材料供給口、及將液室與退避流路加以連通之液體材料釋放口；且液體閥部係具備有切換閥，該切換閥係切換至將液室與液體材料供給口加以連通且將液室與液體材料釋放口加以遮斷之第一位置、和將液室與液體材料釋放口加以連通且將液室與液體材料供給口加以遮斷之第二位置。
简体摘要：本发明系提供一种可有效地解决滴液之问题、更进一步可提高吐出作业之作业性之吐出设备、其之涂布设备及涂布方法。本发明系一种液体材料吐出设备、其之涂布设备及涂布方法，该液体材料吐出设备系包括：吐出口；液室，其与吐出口产生连通，且被供给有液体材料；推进力赋予构件，其配置在液室内；推进力赋予构件驱动源，其使推进力赋予构件产生动作；及吐出控制部；且设置有：加压部，其具有供给经加压之液体材料的加压流路；负压部，其具有可设置为与液室内压力相比而相对地较低之压力的退避流路；液体阀部，其具有将液室与加压流路加以连通之液体材料供给口、及将液室与退避流路加以连通之液体材料释放口；且液体阀部系具备有切换阀，该切换阀系切换至将液室与液体材料供给口加以连通且将液室与液体材料释放口加以遮断之第一位置、和将液室与液体材料释放口加以连通且将液室与液体材料供给口加以遮断之第二位置。

8. 发明专利

TW201442784A 用於分配流體的裝置审中-公开
简体标题：用于分配流体的设备
公开(公告)号：TW201442784A
公开(公告)日：2014-11-16
申请号：TW103115937
申请日：2014-05-05
申请人：三星顯示器有限公司 , SAMSUNG DISPLAY CO., LTD.
发明人：李相祚 , LEE, SANG JO , 趙晟煥 , CHO, SUNG HWAN
IPC分类号： B05B15/04
CPC分类号： B05C5/0225 , B05B5/0255 , B05C11/10 , B05C11/1039 , H01L21/6715
摘要：一種用於分配一流體至一基板之裝置包含：一噴嘴，相對於該基板位於一位置處，以分配該流體至該基板上；以及一擋板，選擇性地設置於該基板與該噴嘴之間。
简体摘要：一种用于分配一流体至一基板之设备包含：一喷嘴，相对于该基板位于一位置处，以分配该流体至该基板上；以及一挡板，选择性地设置于该基板与该喷嘴之间。

9. 发明专利

TW201434539A 將黏性材料分配於基板上之方法及設備审中-公开
简体标题：将黏性材料分配于基板上之方法及设备
公开(公告)号：TW201434539A
公开(公告)日：2014-09-16
申请号：TW103104763
申请日：2014-02-13
申请人：伊利諾工具工程公司 , ILLINOIS TOOL WORKS INC.
发明人：戴爾丹尼斯G , DOYLE, DENNIS G. , 佛傑特羅納德J , FORGET, RONALD J. , 普倫堤斯湯瑪斯C , PRENTICE, THOMAS C. , 馬妥羅巴斯A , MATTERO, PATSY A.
IPC分类号： B05B9/047
CPC分类号： B05C5/0225 , B05C11/1034 , G01F11/021
摘要：本文介紹經配置以將材料分配至基板上之一分配器，該分配器包括分配單元，該分配單元具有含有腔室之外殼、安置在腔室中及可在腔室中軸向移動之活塞，及耦接至外殼之噴嘴。噴嘴具有孔口，該孔口與外殼之腔室共軸。分配器進一步包括致動器，該致動器耦接至分配單元及經配置以驅動活塞上下移動；及包括耦接至致動器及活塞之順應組件。順應組件經配置以允許致動器與活塞之間的有限相對行程。本文進一步揭示一種分配方法。
简体摘要：本文介绍经配置以将材料分配至基板上之一分配器，该分配器包括分配单元，该分配单元具有含有腔室之外壳、安置在腔室中及可在腔室中轴向移动之活塞，及耦接至外壳之喷嘴。喷嘴具有孔口，该孔口与外壳之腔室共轴。分配器进一步包括致动器，该致动器耦接至分配单元及经配置以驱动活塞上下移动；及包括耦接至致动器及活塞之顺应组件。顺应组件经配置以允许致动器与活塞之间的有限相对行程。本文进一步揭示一种分配方法。

10. 发明专利

TWI428190B 黏性液體材料之排出方法及裝置有权
简体标题：黏性液体材料之排出方法及设备
公开(公告)号：TWI428190B
公开(公告)日：2014-03-01
申请号：TW097112955
申请日：2008-04-10
申请人：武藏工業股份有限公司 , MUSASHI ENGINEERING, INC.
发明人：生島和正 , IKUSHIMA KAZUMASA
IPC分类号： B05D1/26
CPC分类号： B05C5/0225 , B05C11/1026 , H01L21/67092

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