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24. 发明专利

TW201626113A 投影系統审中-公开
简体标题：投影系统
公开(公告)号：TW201626113A
公开(公告)日：2016-07-16
申请号：TW104139223
申请日：2015-11-25
申请人： ASML荷蘭公司 , ASML NETHERLANDS B. V.
发明人：巴特勒漢司 , BUTLER, HANS , 露普斯羅歐馬登賽門 , KNOPS, RAOUL MAARTEN SIMON , 史崔弗科包伯 , STREEFKERK, BOB , 范倫丁克力斯坦路易斯 , VALENTIN, CHRISTIAAN LOUIS , 凡沙特珍伯納德波萊奇莫斯 , VAN SCHOOT, JAN BERNARD PLECHELMUS , 西蒙斯威爾海莫斯法蘭西斯可思喬翰尼斯 , SIMONS, WILHELMUS FRANCISCUS JOHANNES , 馬克斯里昂李奧納多斯法蘭西斯可斯 , MERKX, LEON LEONARDUS FRANCISCUS , 迪強夫羅柏特斯喬哈奈斯馬利那斯 , DE JONGH, ROBERTUS JOHANNES MARINUS , 瑪莉勞爾強漢尼司伊莉莎白 , MERRY, ROEL JOHANNES ELISABETH , 伊瑪麥可費德瑞 , YPMA, MICHAEL FREDERIK
IPC分类号： G03F7/20
CPC分类号： G03F7/70258 , G03F7/705 , G03F7/706
摘要：本發明係關於一種用於一微影裝置之投影系統，其包含：一光學路徑；複數個感測器；一或多個致動器；及一控制器。該光學路徑可操作以接收一輸入輻射光束且將一輸出輻射光束投影至一基板上以形成一影像。該光學路徑包含：複數個光學元件，該複數個光學元件包含：第一組至少兩個光學元件及第二組至少一個光學元件。每一感測器與該複數個光學元件中之一者相關聯且可操作以判定彼光學元件之一位置。每一致動器與該第二組光學元件中之一者相關聯且可操作以調整彼光學元件。該控制器可操作以使用該一或多個致動器以取決於該第一組光學元件之該經判定位置而調整該第二組光學元件，以便至少部分地補償由該第一組光學元件之該等位置造成的光學像差及/或視線誤差。
简体摘要：本发明系关于一种用于一微影设备之投影系统，其包含：一光学路径；复数个传感器；一或多个致动器；及一控制器。该光学路径可操作以接收一输入辐射光束且将一输出辐射光束投影至一基板上以形成一影像。该光学路径包含：复数个光学组件，该复数个光学组件包含：第一组至少两个光学组件及第二组至少一个光学组件。每一传感器与该复数个光学组件中之一者相关联且可操作以判定彼光学组件之一位置。每一致动器与该第二组光学组件中之一者相关联且可操作以调整彼光学组件。该控制器可操作以使用该一或多个致动器以取决于该第一组光学组件之该经判定位置而调整该第二组光学组件，以便至少部分地补偿由该第一组光学组件之该等位置造成的光学像差及/或视线误差。

26. 发明专利

TW201527903A 微影裝置及元件製造方法审中-公开
简体标题：微影设备及组件制造方法
公开(公告)号：TW201527903A
公开(公告)日：2015-07-16
申请号：TW103142897
申请日：2014-12-09
申请人： ASML荷蘭公司 , ASML NETHERLANDS B. V.
发明人：巴特勒漢斯 , BUTLER, HANS , 布魯克斯馬克士約瑟夫依利沙白高德佛瑞德 , BREUKERS, MARCUS JOSEPH ELISABETH GODFRI , 希爾傑馬瑟爾法蘭可伊斯 , HEERTJES, MARCEL FRANCOIS
IPC分类号： G03F7/22 , G03F7/23
CPC分类号： G03F7/70775 , G03F7/70725
摘要：本發明描述一種用於控制一多本體系統之一同步定位之控制元件，該控制元件包含：一輸入端，其用於接收表示該多本體系統之一第一本體之一所要位置與該第一本體之一測定位置之間的一差之一第一誤差信號，及表示該多本體系統之一第二本體之一所要位置與該第二本體之一測定位置之間的一差之一第二誤差信號；該控制元件經組態以：- 基於該第一誤差信號來判定用於驅動經組態以驅動該第一本體之一定位元件之一初級第一驅動信號；- 基於該第二誤差信號來判定用於驅動經組態以驅動該第二本體之一定位元件之一初級第二驅動信號；- 判定用於驅動經組態以驅動該第一本體之該定位元件之一次級第一驅動信號，該次級第一驅動信號係基於該第二誤差信號；及- 判定用於驅動經組態以驅動該第二本體之該定位元件之一次級第二驅動信號，該次級第二驅動信號係基於該第一誤差信號；- 組合該初級第一驅動信號與該次級第一驅動信號以獲得一組合式第一驅動信號，且組合該初級第二驅動信號與該次級第二驅動信號以獲得一組合式第二驅動信號；該控制元件進一步包含一輸出端，該輸出端用於將該組合式第一驅動信號及該組合式第二驅動信號輸出至該等各別定位元件。
简体摘要：本发明描述一种用于控制一多本体系统之一同步定位之控件，该控件包含：一输入端，其用于接收表示该多本体系统之一第一本体之一所要位置与该第一本体之一测定位置之间的一差之一第一误差信号，及表示该多本体系统之一第二本体之一所要位置与该第二本体之一测定位置之间的一差之一第二误差信号；该控件经组态以：- 基于该第一误差信号来判定用于驱动经组态以驱动该第一本体之一定比特件之一初级第一驱动信号；- 基于该第二误差信号来判定用于驱动经组态以驱动该第二本体之一定比特件之一初级第二驱动信号；- 判定用于驱动经组态以驱动该第一本体之该定比特件之一次级第一驱动信号，该次级第一驱动信号系基于该第二误差信号；及- 判定用于驱动经组态以驱动该第二本体之该定比特件之一次级第二驱动信号，该次级第二驱动信号系基于该第一误差信号；- 组合该初级第一驱动信号与该次级第一驱动信号以获得一组合式第一驱动信号，且组合该初级第二驱动信号与该次级第二驱动信号以获得一组合式第二驱动信号；该控件进一步包含一输出端，该输出端用于将该组合式第一驱动信号及该组合式第二驱动信号输出至该等各别定比特件。

27. 发明专利

TWI484305B 定位系統、微影裝置及位置控制方法有权
简体标题：定位系统、微影设备及位置控制方法
公开(公告)号：TWI484305B
公开(公告)日：2015-05-11
申请号：TW100140192
申请日：2011-11-03
申请人： ASML荷蘭公司 , ASML NETHERLANDS B. V.
发明人：巴特勒漢斯 , BUTLER, HANS , 寇克斯漢李克斯赫曼馬里 , COX, HENRIKUS HERMAN MARIE
IPC分类号： G03F7/20
CPC分类号： G03F7/70775 , G03B27/53 , G03B27/58 , G03F7/70725

29. 发明专利

TWI476538B 定位測量系統及微影裝置有权
简体标题：定位测量系统及微影设备
公开(公告)号：TWI476538B
公开(公告)日：2015-03-11
申请号：TW097141665
申请日：2008-10-29
申请人： ASML荷蘭公司 , ASML NETHERLANDS B. V.
发明人：漢斯巴特 , BUTLER, HANS , 英格伯特斯安東尼斯法蘭西斯寇斯凡德派希 , VAN DER PASCH, ENGELBERTUS ANTONIUS FRANSISCUS
IPC分类号： G03F7/20 , H01L21/027
CPC分类号： G01D5/38 , G03F9/7015 , G03F9/7049 , G03F9/7084 , G03F9/7088

30. 发明专利

TWI442189B 用於將圖案從圖案化器件轉印到基板的微影裝置及阻尼方法有权
简体标题：用于将图案从图案化器件转印到基板的微影设备及阻尼方法
公开(公告)号：TWI442189B
公开(公告)日：2014-06-21
申请号：TW100136626
申请日：2011-10-07
申请人： ASML荷蘭公司 , ASML NETHERLANDS B. V.
发明人：巴特勒漢司 , BUTLER, HANS , 歐德尼傑斯馬可韓卓克斯赫曼納斯 , OUDE NIJHUIS, MARCO HENDRIKUS HERMANUS
IPC分类号： G03F7/20 , H01L21/027
CPC分类号： G03F7/709 , G03F7/70833 , G03F7/7085

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