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21. 发明专利

TWI688457B 運送設備有权
简体标题：运送设备
公开(公告)号：TWI688457B
公开(公告)日：2020-03-21
申请号：TW103139221
申请日：2014-11-12
申请人：布魯克斯自動機械公司 , BROOKS AUTOMATION, INC.
发明人：摩拉傑羅 , MOURA, JAIRO TERRA , 卡維尼羅勃 , CAVENEY, ROBERT T. , 基士德阿里色吉爾 , GILCHRIST, ULYSSES , 赫瑟庫馬丁 , HOSEK, MARTIN , 克利許納斯美傑亞拉曼 , KRISHNASAMY, JAYARAMAN
IPC分类号： B25J11/00 , H02K1/06

22. 发明专利

TW201738054A 小型化直接驅動心軸审中-公开
简体标题：小型化直接驱动心轴
公开(公告)号：TW201738054A
公开(公告)日：2017-11-01
申请号：TW106111170
申请日：2012-07-12
申请人：布魯克斯自動機械公司 , BROOKS AUTOMATION, INC.
发明人：卡維尼羅勃 , CAVENEY, ROBERT
IPC分类号： B25J3/04 , B25J18/04 , H02K7/10
摘要：一種基板運送裝置包括一框架、至少一可旋轉地連接至該框架的臂連桿、以及一無軸桿驅動部。該無軸桿驅動部包括疊置驅動馬達，用以過一無軸桿界面將該至少一臂連桿相對於該框架旋轉，每一疊置驅動馬達包括一定子，具有定子線圈，設置於一相對於該框架固定住的固定柱上，以及一轉子，大致上沿著周圍圍繞該定子，以使得該轉子連接至一該至少一臂連桿中個別一者上而將該至少一臂連桿之該一者相對於該框架旋轉，致使該至少一臂連桿伸之該一者伸出或縮回，其中該疊置驅動馬達設置於該至少一臂連桿上，以使得每一定子至少有一部分位在該至少一臂連桿的一共用臂連桿內。
简体摘要：一种基板运送设备包括一框架、至少一可旋转地连接至该框架的臂连杆、以及一无轴杆驱动部。该无轴杆驱动部包括叠置驱动马达，用以过一无轴杆界面将该至少一臂连杆相对于该框架旋转，每一叠置驱动马达包括一定子，具有定子线圈，设置于一相对于该框架固定住的固定柱上，以及一转子，大致上沿着周围围绕该定子，以使得该转子连接至一该至少一臂连杆中个别一者上而将该至少一臂连杆之该一者相对于该框架旋转，致使该至少一臂连杆伸之该一者伸出或缩回，其中该叠置驱动马达设置于该至少一臂连杆上，以使得每一定子至少有一部分位在该至少一臂连杆的一共享臂连杆内。

23. 发明专利

TW201543605A 基板搬運設備审中-公开
简体标题：基板搬运设备
公开(公告)号：TW201543605A
公开(公告)日：2015-11-16
申请号：TW103143696
申请日：2014-12-15
申请人：布魯克斯自動機械公司 , BROOKS AUTOMATION, INC.
发明人：卡維尼羅勃 , CAVENEY, ROBERT T. , 基士德阿里色吉爾 , GILCHRIST, ULYSSES
IPC分类号： H01L21/677 , B25J11/00
摘要：本發明提供一種轉移設備包括：框架；多個臂，連接至該框架，每一臂具有末端執行器及獨立驅動軸用於該多個臂的各別臂相對於其它者的伸展和收縮；線性軌，界定用於至少一臂的伸展和收縮之該獨立驅動軸的自由度；及共同驅動軸，每一臂所共用且配置用以使該多個臂繞著共同樞轉軸而樞轉；其中具有另一驅動軸之該多個臂的至少一者界定相對於該多個臂的其它者之獨立自由度。
简体摘要：本发明提供一种转移设备包括：框架；多个臂，连接至该框架，每一臂具有末端运行器及独立驱动轴用于该多个臂的各别臂相对于其它者的伸展和收缩；线性轨，界定用于至少一臂的伸展和收缩之该独立驱动轴的自由度；及共同驱动轴，每一臂所共享且配置用以使该多个臂绕着共同枢转轴而枢转；其中具有另一驱动轴之该多个臂的至少一者界定相对于该多个臂的其它者之独立自由度。

24. 发明专利

TW201349376A 基材處理設備审中-公开
简体标题：基材处理设备
公开(公告)号：TW201349376A
公开(公告)日：2013-12-01
申请号：TW102105348
申请日：2013-02-08
申请人：布魯克斯自動機械公司 , BROOKS AUTOMATION, INC.
发明人：庫魯比雪夫亞力山大 , KRUPYSHEV, ALEXANDER , 吉爾克萊史特亞瑟 , GILCHRIST, ULYSSES , 卡維尼羅勃 , CAVENEY, ROBERT T. , 巴比斯丹尼爾 , BABBS, DANIEL
IPC分类号： H01L21/677 , H01L21/687
CPC分类号： H01L21/68707 , B25J9/042 , B25J11/0095 , B25J18/00 , H01L21/67161 , H01L21/67184 , H01L21/67196 , H01L21/67742
摘要：一種用來在一傳送室內運送基材的傳送設備，該傳送室具有第一端及第二端及兩個延伸在該第一及第二端之間的側邊。該傳送設備包括一驅動部份、至少一基座手臂，其一端固定至該傳送室且包括至少一可轉動地耦合至該驅動部份的手臂連桿及至少一傳送手臂，其可轉動地耦合至該基座手臂的一共同端，該至少一傳送手臂具有兩個末端作用器。該驅動部份具有馬達，該等馬達具有三個獨立的轉動軸(axis)，其界定三個自由度。一個自由度水平地移動該至少一基座手臂移以運送該至少一傳送手臂，及兩個自由度驅動該至少一傳送手臂，用以伸展及縮回該至少一傳送手臂並交換該兩個末端作用器。
简体摘要：一种用来在一发送室内运送基材的发送设备，该发送室具有第一端及第二端及两个延伸在该第一及第二端之间的侧边。该发送设备包括一驱动部份、至少一基座手臂，其一端固定至该发送室且包括至少一可转动地耦合至该驱动部份的手臂连杆及至少一发送手臂，其可转动地耦合至该基座手臂的一共同端，该至少一发送手臂具有两个末端作用器。该驱动部份具有马达，该等马达具有三个独立的转动轴(axis)，其界定三个自由度。一个自由度水平地移动该至少一基座手臂移以运送该至少一发送手臂，及两个自由度驱动该至少一发送手臂，用以伸展及缩回该至少一发送手臂并交换该两个末端作用器。

25. 发明专利

TW201308505A 基板處理裝置审中-公开
简体标题：基板处理设备
公开(公告)号：TW201308505A
公开(公告)日：2013-02-16
申请号：TW101108322
申请日：2012-03-12
申请人：布魯克斯自動機械公司 , BROOKS AUTOMATION, INC.
发明人：阿里色吉爾基士德 , GILCHRIST, ULYSSES , 傑洛莫拉 , MOURA, JAIRO TERRA , 克利許納斯美傑亞拉曼 , KRISHNASAMY, JAYARAMAN , 卓米契爾 , DREW, MITCHELL , 卡維尼羅勃 , CAVENEY, ROBERT
IPC分类号： H01L21/677
CPC分类号： H01L21/67706 , B25J9/042 , B25J9/043 , B25J11/0095 , B25J18/04 , H01L21/67742 , Y10S901/15 , Y10S901/27 , Y10T74/20305 , Y10T74/20329
摘要：提供一種基板處理裝置，該基板處理裝置包含一框架、一連接至該框架的第一手臂、一連接至該框架的第二手臂、以及一耦接至該第一及第二手臂的驅動段，該驅動段係被建構成獨立伸出及旋轉該第一及第二手臂中的每一者，其中該第一手臂的延伸軸線是相對於該第二手臂的延伸軸線成一角度，其中每一手臂包含一末端作用器，被建構成可固持住至少一基板，其中該末端作用器是位在一共用的傳輸平面上。
简体摘要：提供一种基板处理设备，该基板处理设备包含一框架、一连接至该框架的第一手臂、一连接至该框架的第二手臂、以及一耦接至该第一及第二手臂的驱动段，该驱动段系被建构成独立伸出及旋转该第一及第二手臂中的每一者，其中该第一手臂的延伸轴线是相对于该第二手臂的延伸轴线成一角度，其中每一手臂包含一末端作用器，被建构成可固持住至少一基板，其中该末端作用器是位在一共享的传输平面上。

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