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11. 发明专利

TWI520916B 冷卻水之水質穩定調控方法有权
简体标题：冷却水之水质稳定调控方法
公开(公告)号：TWI520916B
公开(公告)日：2016-02-11
申请号：TW103140631
申请日：2014-11-24
申请人：中國鋼鐵股份有限公司
发明人：劉英杰 , 葉茂淞 , 翁振文
IPC分类号： C02F9/04 , C02F5/02 , G05D11/13 , C02F103/18

12. 发明专利

TWI451220B 控制壓力與混合比例的方法與設備有权
简体标题：控制压力与混合比例的方法与设备
公开(公告)号：TWI451220B
公开(公告)日：2014-09-01
申请号：TW097107368
申请日：2008-03-03
申请人：應用材料股份有限公司 , APPLIED MATERIALS, INC.
发明人：梅瑟克里斯 , MELCER, CHRIS , 雷恩約翰W , LANE, JOHN
IPC分类号： G05D16/20 , G05D11/13 , H01L21/67
CPC分类号： G01F15/043 , G05D11/132 , G05D16/2046

13. 发明专利

TWI430065B 包括流量比控制器之使用反對稱最佳控制的氣體傳送方法及系統有权
简体标题：包括流量比控制器之使用反对称最佳控制的气体发送方法及系统
公开(公告)号：TWI430065B
公开(公告)日：2014-03-11
申请号：TW095114095
申请日：2006-04-20
申请人： MKS公司 , MKS INSTRUMENTS, INC.
发明人：丁軍華 , DING, JUNHUA , 史密斯 , SMITH, JOHN A. , 札卡兒 , ZARKAR, KAVEH H.
IPC分类号： G05D11/13
CPC分类号： G05D11/132 , G05D7/0664 , Y10T137/0363 , Y10T137/7761

14. 发明专利

TWI417693B 蝕刻設備及其控制方法有权
简体标题：蚀刻设备及其控制方法
公开(公告)号：TWI417693B
公开(公告)日：2013-12-01
申请号：TW099144006
申请日：2010-12-15
申请人：友達光電股份有限公司 , AU OPTRONICS CORPORATION
发明人：張金良 , CHANG, CHINLIANG , 黃柏文 , HUANG, BOWEN , 林志忠 , LIN, CHINCHUNG
IPC分类号： G05D11/13 , H01L21/306

15. 实用新型

TWM593285U 氣體混合輸出系統有权
简体标题：气体混合输出系统
公开(公告)号：TWM593285U
公开(公告)日：2020-04-11
申请号：TW108213572
申请日：2019-10-15
申请人：信紘科技股份有限公司 , TRUSVAL TECHNOLOGY CO., LTD.
发明人：簡士堡 , CHIEN, SHIH-PAO , 李仁捷 , 陳煖妮
IPC分类号： B01F3/02 , B01F5/00 , B01F15/02 , B01F15/04 , B01J4/00 , G05D7/06 , G05D16/20 , G05D11/13 , H01L21/67

16. 发明专利

TW201816535A 以無人飛行載具執行液體噴灑之控制系統及其方法审中-公开
简体标题：以无人飞行载具运行液体喷洒之控制系统及其方法
公开(公告)号：TW201816535A
公开(公告)日：2018-05-01
申请号：TW105133950
申请日：2016-10-20
申请人：剛鈺股份有限公司
发明人：陳孟良 , 黃繻鋒
IPC分类号： G05D9/12 , G05D11/13 , B64D1/18
摘要：一種以無人飛行載具執行液體噴灑之控制系統，其包括：一裝載控制單元，具有一第一容器用以裝載一已稀釋液體；一滿水位感測器，可感測該第一容器中之已稀釋液體是否已至滿水位；一第一低水位感測器，可感測該第一容器中之已稀釋液體是否已至低水位；一加水控制單元，可根據該第一容器中之水位決定是否將清水加入該第一容器中；一稀釋控制單元，可根據該第一容器中之水位決定是否將一高濃度液體加入該第一容器中；以及一噴灑控制單元，可根據該無人飛行載具之航速控制噴灑速度。此外，本發明亦揭露一種無人飛行載具執行液體噴灑之控制方法。
简体摘要：一种以无人飞行载具运行液体喷洒之控制系统，其包括：一装载控制单元，具有一第一容器用以装载一已稀释液体；一满水位传感器，可传感该第一容器中之已稀释液体是否已至满水位；一第一低水位传感器，可传感该第一容器中之已稀释液体是否已至低水位；一加水控制单元，可根据该第一容器中之水位决定是否将清水加入该第一容器中；一稀释控制单元，可根据该第一容器中之水位决定是否将一高浓度液体加入该第一容器中；以及一喷洒控制单元，可根据该无人飞行载具之航速控制喷洒速度。此外，本发明亦揭露一种无人飞行载具运行液体喷洒之控制方法。

17. 发明专利

TWI595339B 低的壓力波動的流控制設備和方法有权
简体标题：低的压力波动的流控制设备和方法
公开(公告)号：TWI595339B
公开(公告)日：2017-08-11
申请号：TW104133313
申请日：2015-10-08
申请人：慧盛材料美國責任有限公司 , VERSUM MATERIALS US, LLC
发明人：貝爾班傑明派屈克 , BAYER, BENJAMIN PATRICK , 陳羅拉蘇克鍾 , CHAN, LAURA SUK CHONG , 艾瑞費菲迪哈立勒 , EREIFEJ, FADY KHALIL , 洛伊鮑爾丹尼爾瓦倫汀 , ROYBAL, DANIEL VALENTIN
IPC分类号： G05D11/13 , B01F15/04 , B01F3/08 , B01F5/10 , B01F5/12
CPC分类号： B01F5/106 , B01F3/04985 , B01F3/0861 , B01F3/088 , B01F15/00149 , B01F15/00357 , B01F15/00974 , B01F2215/0096 , B24B57/02 , G01F1/34 , G05D7/0635 , G05D7/0647 , G05D7/0688 , G05D11/132

18. 发明专利

TW201721323A 分流系統审中-公开
简体标题：分流系统
公开(公告)号：TW201721323A
公开(公告)日：2017-06-16
申请号：TW105126423
申请日：2016-08-18
申请人：富士金股份有限公司 , FUJIKIN INCORPORATED
发明人：中村剛 , NAKAMURA, TAKESHI , 金井良友 , KANAI, YOSHITOMO
IPC分类号： G05D11/13 , G05D7/06 , G01F1/00 , H01L21/67
CPC分类号： F16K27/00 , G05D7/06 , G05D11/03
摘要：本發明的目的是提供一種：可提高配置的自由度，適合積體化，且能降低製造成本及維修保養成本的分流系統。本發明，是將單一的流量分割成複數個流量，並控制各流量而使經分割的流量之間的比成為設定流量比的分割系統，其中具有：將單一的流量分割成複數個流量的分歧機構(500)；及形成獨立於分歧機構(500)之外的個體，分別控制複數個流量，且彼此分離獨立的複數個流體控制裝置(1M、1S)，主要裝置(1M)具有：將基於設定流量比的設定流量值朝從屬裝置(1S)發送，並接收從屬裝置(1S)之流量偵測值(DQ2)的通訊部(102M)，從屬裝置(1S)具有：從主要裝置(1M)接收設定流量值，並將流量偵測值(DQ2)朝主要裝置(1M)發送的通訊部(102S)。
简体摘要：本发明的目的是提供一种：可提高配置的自由度，适合积体化，且能降低制造成本及维修保养成本的分流系统。本发明，是将单一的流量分割成复数个流量，并控制各流量而使经分割的流量之间的比成为设置流量比的分割系统，其中具有：将单一的流量分割成复数个流量的分歧机构(500)；及形成独立于分歧机构(500)之外的个体，分别控制复数个流量，且彼此分离独立的复数个流体控制设备(1M、1S)，主要设备(1M)具有：将基于设置流量比的设置流量值朝从属设备(1S)发送，并接收从属设备(1S)之流量侦测值(DQ2)的通信部(102M)，从属设备(1S)具有：从主要设备(1M)接收设置流量值，并将流量侦测值(DQ2)朝主要设备(1M)发送的通信部(102S)。

19. 发明专利

TWI548959B 快脈衝氣體輸送系統及其方法有权
简体标题：快脉冲气体输送系统及其方法
公开(公告)号：TWI548959B
公开(公告)日：2016-09-11
申请号：TW101106397
申请日：2012-02-24
申请人： MKS公司 , MKS INSTRUMENTS, INC.
发明人：丁軍華 , DING, JUNHUA , 勒巴西麥可 , L'BASSI, MICHAEL , 李曾群 , LEE, TSENG-CHUNG
IPC分类号： G05D11/13 , H01L21/306
CPC分类号： G05D7/0635 , Y10T137/8593

20. 发明专利

TW201619070A 冷卻水之水質穩定調控方法审中-公开
简体标题：冷却水之水质稳定调控方法
公开(公告)号：TW201619070A
公开(公告)日：2016-06-01
申请号：TW103140631
申请日：2014-11-24
申请人：中國鋼鐵股份有限公司
发明人：劉英杰 , 葉茂淞 , 翁振文
IPC分类号： C02F9/04 , C02F5/02 , G05D11/13 , C02F103/18
摘要：一種冷卻水之水質穩定調控方法，主要是藉由將一懸浮固體監測系統整合於一冷卻水系統，利用懸浮固體監測系統之監測單元隨時監測冷卻水系統之冷卻單元所輸出的冷卻水的水質資訊，並由懸浮固體監測系統之控制單元接收後而與預設之一水質管制規範進行比對處理，同時控制懸浮固體監測系統之顯示單元即時顯示水質資訊，當比對處理結果不符合水質管制規範時，控制單元會控制一提示單元輸出提示訊號以提醒工作人員注意及提早採取因應措施，進而能回饋調控水質處理藥劑添加量，藉此可有效提升製程水處理技術之穩定性及處理效率。
简体摘要：一种冷却水之水质稳定调控方法，主要是借由将一悬浮固体监测系统集成于一冷却水系统，利用悬浮固体监测系统之监测单元随时监测冷却水系统之冷却单元所输出的冷却水的水质信息，并由悬浮固体监测系统之控制单元接收后而与默认之一水质管制规范进行比对处理，同时控制悬浮固体监测系统之显示单元实时显示水质信息，当比对处理结果不符合水质管制规范时，控制单元会控制一提示单元输出提示信号以提醒工作人员注意及提早采取因应措施，进而能回馈调控水质处理药剂添加量，借此可有效提升制程水处理技术之稳定性及处理效率。

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