基本信息:

• 专利标题： 快脈衝氣體輸送系統及其方法
• 专利标题（英）：System for and method of fast pulse gas delivery
• 专利标题（中）：快脉冲气体输送系统及其方法
• 申请号：TW101106397 申请日：2012-02-24
• 公开(公告)号：TWI548959B 公开(公告)日：2016-09-11
• 发明人： 丁軍華 , DING, JUNHUA , 勒巴西 麥可 , L'BASSI, MICHAEL , 李曾群 , LEE, TSENG-CHUNG
• 申请人： MKS公司 ,  MKS INSTRUMENTS, INC.
• 专利权人： MKS公司,MKS INSTRUMENTS, INC.
• 当前专利权人： MKS公司,MKS INSTRUMENTS, INC.
• 代理人： 黃慶源; 陳彥希
• 优先权： 13/035,534 20110225;61/525,452 20110819;13/344,387 20120105
• 主分类号： G05D11/13
• IPC分类号： G05D11/13 ; H01L21/306

公开/授权文献:

• TW201250420A  快脈衝氣體輸送系統及其方法 SYSTEM FOR AND METHOD OF FAST PULSE GAS DELIVERY 公开/授权日：2012-12-16

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