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11. 发明专利

TW201432776A 用於電漿蝕刻腔室之變壓器耦合電容調諧匹配電路审中-公开
简体标题：用于等离子蚀刻腔室之变压器耦合电容调谐匹配电路
公开(公告)号：TW201432776A
公开(公告)日：2014-08-16
申请号：TW102138115
申请日：2013-10-22
申请人：蘭姆研究公司 , LAM RESEARCH CORPORATION
发明人：龍茂林 , LONG, MAOLIN , 馬須理齊 , MARSH, RICKY , 派特森艾立克斯 , PATERSON, ALEX
IPC分类号： H01J37/32 , H01L21/67
摘要：一種匹配電路，包括下列元件：一電力輸入電路，耦合至RF源；一內線圈輸入電路，耦合在電力輸入電路與內線圈的輸入端之間，內線圈輸入電路包括一電感以及與電感串聯耦合之一電容，電感連接至電力輸入電路，且電容連接至內線圈的輸入端，第一節點係定義在電力輸入電路與內線圈輸入電路之間；一內線圈輸出電路，耦合在內線圈的輸出端與接地之間，內線圈輸出電路定義一直接通路連接部至接地；一外線圈輸入電路，耦合在第一節點與外線圈的輸入端之間；以及一外線圈輸出電路，耦合在外線圈的輸出端與接地之間。
简体摘要：一种匹配电路，包括下列组件：一电力输入电路，耦合至RF源；一内线圈输入电路，耦合在电力输入电路与内线圈的输入端之间，内线圈输入电路包括一电感以及与电感串联耦合之一电容，电感连接至电力输入电路，且电容连接至内线圈的输入端，第一节点系定义在电力输入电路与内线圈输入电路之间；一内线圈输出电路，耦合在内线圈的输出端与接地之间，内线圈输出电路定义一直接通路连接部至接地；一外线圈输入电路，耦合在第一节点与外线圈的输入端之间；以及一外线圈输出电路，耦合在外线圈的输出端与接地之间。

12. 发明专利

TW201316399A 電漿腔室之充電柵审中-公开
简体标题：等离子腔室之充电栅
公开(公告)号：TW201316399A
公开(公告)日：2013-04-16
申请号：TW101120984
申请日：2012-06-12
申请人：蘭姆研究公司 , LAM RESEARCH CORPORATION
发明人：龍茂林 , LONG, MAOLIN , 派特森艾立克斯 , PATERSON, ALEX , 馬須理查 , MARSH, RICHARD , 吳垠 , WU, YING
IPC分类号： H01L21/3065
CPC分类号： H01J37/32651 , H01J37/321 , H01J37/32697 , H01L21/6831
摘要：一種電漿處理腔室及用以操作電漿處理腔室的方法。一例示性的電漿處理腔室，包括：一靜電夾具，用以接納一基板；及一介電體窗，連接至該電漿處理腔室的一頂部。該介電體窗之一內側係面對位在該靜電夾具之上方的一電漿處理區域且該介電體窗的一外側係位在該電漿處理區域的外部。一組內與外線圈，設置在該介電體窗之外側的上方，而該組內與外線圈係連接至一第一RF電源。一充電柵，設置在該介電體窗之外側與該組內與外線圈之間，而充電柵係連接至與該第一RF電源無關的一第二RF電源。
简体摘要：一种等离子处理腔室及用以操作等离子处理腔室的方法。一例示性的等离子处理腔室，包括：一静电夹具，用以接纳一基板；及一介电体窗，连接至该等离子处理腔室的一顶部。该介电体窗之一内侧系面对位在该静电夹具之上方的一等离子处理区域且该介电体窗的一外侧系位在该等离子处理区域的外部。一组内与外线圈，设置在该介电体窗之外侧的上方，而该组内与外线圈系连接至一第一RF电源。一充电栅，设置在该介电体窗之外侧与该组内与外线圈之间，而充电栅系连接至与该第一RF电源无关的一第二RF电源。

13. 发明专利

TWI642083B 錘頭變壓耦合電漿線圈支座及使用於該線圈支座之電漿處理系統及腔室有权
简体标题：锤头变压耦合等离子线圈支座及使用于该线圈支座之等离子处理系统及腔室
公开(公告)号：TWI642083B
公开(公告)日：2018-11-21
申请号：TW103120393
申请日：2014-06-12
申请人：美商蘭姆研究公司 , LAM RESEARCH CORPORATION
发明人：龍茂林 , LONG, MAOLIN , 派特森艾立克斯 , PATERSON, ALEX
IPC分类号： H01J37/32 , H01L21/3065

14. 发明专利

TW201717247A 電漿處理系統之大動態範圍射頻電壓感測器及電壓模式射頻偏壓施加方法审中-公开
简体标题：等离子处理系统之大动态范围射频电压传感器及电压模式射频偏压施加方法
公开(公告)号：TW201717247A
公开(公告)日：2017-05-16
申请号：TW105116802
申请日：2016-05-30
申请人：蘭姆研究公司 , LAM RESEARCH CORPORATION
发明人：龍茂林 , LONG, MAOLIN , 朱爾瑞約翰 , DREWERY, JOHN , 派特森艾立克斯 , PATERSON, ALEX
IPC分类号： H01J37/32 , G01R15/04 , G01R19/00 , G01R15/26
摘要：基板處理系統的電壓感測器包含多重分壓器電路、箝位電路、及第一和第二輸出。該多重分壓器電路接收指示基板上之RF電壓的RF訊號。該多重分壓器電路包含各通道的分壓器，且基於該接收的RF訊號輸出第一及第二降低電壓。該等降低電壓係小於該RF電壓。當該RF電壓係大於第二預定電壓或該第一降低電壓係大於第三預定電壓時，該箝位電路將該第一降低電壓箝制成第一預定電壓。當該接收的RF訊號係在第一及第二電壓範圍內時，該第一及第二輸出各自基於第一及第二降低電壓輸出輸出訊號。該第一預定電壓係基於該第一電壓範圍的最大值。
简体摘要：基板处理系统的电压传感器包含多重分压器电路、箝位电路、及第一和第二输出。该多重分压器电路接收指示基板上之RF电压的RF信号。该多重分压器电路包含各信道的分压器，且基于该接收的RF信号输出第一及第二降低电压。该等降低电压系小于该RF电压。当该RF电压系大于第二预定电压或该第一降低电压系大于第三预定电压时，该箝位电路将该第一降低电压箝制成第一预定电压。当该接收的RF信号系在第一及第二电压范围内时，该第一及第二输出各自基于第一及第二降低电压输出输出信号。该第一预定电压系基于该第一电压范围的最大值。

15. 发明专利

TW201715607A 用於反向脈衝的系統及方法审中-公开
简体标题：用于反向脉冲的系统及方法
公开(公告)号：TW201715607A
公开(公告)日：2017-05-01
申请号：TW105124272
申请日：2016-08-01
申请人：蘭姆研究公司 , LAM RESEARCH CORPORATION
发明人：龍茂林 , LONG, MAOLIN , 譚忠魁 , TAN, ZHONGKUI , 吳垠 , WU, YING , 符謙 , FU, QIAN , 派特森艾立克斯 , PATERSON, ALEX , 朱爾瑞約翰 , DREWERY, JOHN
IPC分类号： H01L21/3065 , H01L21/67
CPC分类号： H01L21/3065 , H01J37/321 , H01J37/32146 , H01J37/32422 , H01L21/67069
摘要：本發明描述用於反向脈衝的系統及方法。其中一種方法包括接收具有第一狀態及第二狀態的數位信號。此方法更包括產生變壓器耦合電漿（TCP）射頻（RF）脈衝信號，當數位信號處於第一狀態時，TCP RF脈衝信號具有高狀態，且當數位信號處於第二狀態時，TCP RF脈衝信號具有低狀態。此方法包括：將TCP RF脈衝信號提供至電漿腔室的一或更多線圈；產生偏壓RF脈衝信號，當數位信號處於第一狀態時，偏壓RF脈衝信號具有低狀態，且當數位信號處於第二狀態時，偏壓RF脈衝信號具有高狀態；以及將偏壓RF脈衝信號提供至電漿腔室的夾具。
简体摘要：本发明描述用于反向脉冲的系统及方法。其中一种方法包括接收具有第一状态及第二状态的数码信号。此方法更包括产生变压器耦合等离子（TCP）射频（RF）脉冲信号，当数码信号处于第一状态时，TCP RF脉冲信号具有高状态，且当数码信号处于第二状态时，TCP RF脉冲信号具有低状态。此方法包括：将TCP RF脉冲信号提供至等离子腔室的一或更多线圈；产生偏压RF脉冲信号，当数码信号处于第一状态时，偏压RF脉冲信号具有低状态，且当数码信号处于第二状态时，偏压RF脉冲信号具有高状态；以及将偏压RF脉冲信号提供至等离子腔室的夹具。

16. 发明专利

TWI575597B 電漿腔室之充電柵有权
简体标题：等离子腔室之充电栅
公开(公告)号：TWI575597B
公开(公告)日：2017-03-21
申请号：TW101120984
申请日：2012-06-12
申请人：蘭姆研究公司 , LAM RESEARCH CORPORATION
发明人：龍茂林 , LONG, MAOLIN , 派特森艾立克斯 , PATERSON, ALEX , 馬須理查 , MARSH, RICHARD , 吳垠 , WU, YING
IPC分类号： H01L21/3065
CPC分类号： H01J37/32651 , H01J37/321 , H01J37/32697 , H01L21/6831

17. 发明专利

TWI550709B 具有邊線圈之電漿處理系統及該電漿處理系統相關之方法有权
简体标题：具有边线圈之等离子处理系统及该等离子处理系统相关之方法
公开(公告)号：TWI550709B
公开(公告)日：2016-09-21
申请号：TW101104941
申请日：2012-02-15
申请人：蘭姆研究公司 , LAM RESEARCH CORPORATION
发明人：龍茂林 , LONG, MAOLIN , 派特森艾立克斯 , PATERSON, ALEX
IPC分类号： H01L21/3065 , H01L21/205
CPC分类号： H01J37/3211 , H01J37/321 , H01J37/32119 , H01J37/32165 , H01J37/32431 , H01J37/3244 , H01J37/32458 , H01J37/32513 , H01J37/32651 , H01J37/32715 , H01J2237/332 , H01J2237/334 , H05H1/46 , H05H2001/4652 , H05H2001/4667

18. 发明专利

TW201515052A 用於高射頻功率導體蝕刻系統之錘頭變壓耦合電漿線圈支座审中-公开
简体标题：用于高射频功率导体蚀刻系统之锤头变压耦合等离子线圈支座
公开(公告)号：TW201515052A
公开(公告)日：2015-04-16
申请号：TW103120393
申请日：2014-06-12
申请人：蘭姆研究公司 , LAM RESEARCH CORPORATION
发明人：龍茂林 , LONG, MAOLIN , 派特森艾立克斯 , PATERSON, ALEX
IPC分类号： H01J37/32 , H01L21/3065
CPC分类号： H01J37/3211 , H01J37/32119
摘要：提供一種腔室，具有一陶瓷窗配置在該腔室的頂板之中。包含一陶瓷支座，其具有自一中央區域延伸至外周緣的複數輻條，且該等輻條每一者包括一錘頭形狀部，將該陶瓷支座在背向輻條之軸的方向上徑向擴展。亦包含複數螺孔，配置成穿過該陶瓷支座。該複數螺孔界定成使螺釘能夠連接至具有一內線圈及一外線圈的一TCP線圈。該外線圈係配置在該等輻條每一者的該錘頭形狀部下方，且一徑向間隙係界定在該等錘頭形狀部每一者之間。該徑向間隙界定圍繞該外線圈的一不連續環。複數螺釘係配置成穿過該等螺孔，以固接該TCP線圈。
简体摘要：提供一种腔室，具有一陶瓷窗配置在该腔室的顶板之中。包含一陶瓷支座，其具有自一中央区域延伸至外周缘的复数辐条，且该等辐条每一者包括一锤头形状部，将该陶瓷支座在背向辐条之轴的方向上径向扩展。亦包含复数螺孔，配置成穿过该陶瓷支座。该复数螺孔界定成使螺钉能够连接至具有一内线圈及一外线圈的一TCP线圈。该外线圈系配置在该等辐条每一者的该锤头形状部下方，且一径向间隙系界定在该等锤头形状部每一者之间。该径向间隙界定围绕该外线圈的一不连续环。复数螺钉系配置成穿过该等螺孔，以固接该TCP线圈。

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