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11. 发明专利

TWI347649B 載台裝置 STAGE APPARATUS 有权
简体标题：载台设备 STAGE APPARATUS
公开(公告)号：TWI347649B
公开(公告)日：2011-08-21
申请号：TW096106638
申请日：2007-02-27
申请人：愛發科股份有限公司
发明人：田中保三 , 湯山純平 , 矢作充 , 南展史
IPC分类号： H01L
CPC分类号： H01L21/682 , G03F7/70716 , G03F7/70791 , G03F7/70975
摘要：本發明係提供一種載台裝置，可分割為可進行陸運之同時可確保對被處理基板之適當的處理。
本發明之載台裝置係具備：支撐被處理基板W之基板支撐面；包夾基板支撐面而相對向配置之一對導架(13X)；橫跨一對導架(13X)間而延伸且相對於一對導架(13X)而以自由移動之方式被支撐之拱架(13Y)；以及設置在拱架(13Y)之基板處理單元(14)，而導架(13X)係由以下的構件之結合體所構成，包含：形成基板處理單元(4)進行基板處理所需的拱架(13Y)之移動路徑(作業區域R1)的主框架部(15A)；及連接在主框架部(15A)的長度方向之一端部或兩端部，而形成到拱架(13Y)的非作業位置(非作業區域R2)為止之移動路徑的副框架部(15B)。
简体摘要：本发明系提供一种载台设备，可分割为可进行陆运之同时可确保对被处理基板之适当的处理。本发明之载台设备系具备：支撑被处理基板W之基板支撑面；包夹基板支撑面而相对向配置之一对导架(13X)；横跨一对导架(13X)间而延伸且相对于一对导架(13X)而以自由移动之方式被支撑之拱架(13Y)；以及设置在拱架(13Y)之基板处理单元(14)，而导架(13X)系由以下的构件之结合体所构成，包含：形成基板处理单元(4)进行基板处理所需的拱架(13Y)之移动路径(作业区域R1)的主框架部(15A)；及连接在主框架部(15A)的长度方向之一端部或两端部，而形成到拱架(13Y)的非作业位置(非作业区域R2)为止之移动路径的副框架部(15B)。

12. 发明专利

TW201102274A 噴墨用塗布頭的旋轉調整裝置审中-公开
简体标题：喷墨用涂布头的旋转调整设备
公开(公告)号：TW201102274A
公开(公告)日：2011-01-16
申请号：TW099106452
申请日：2010-03-05
申请人：愛發科股份有限公司
发明人：佐藤誠一 , 矢作充
IPC分类号： B41J
CPC分类号： B41J29/38 , B41J25/003
摘要：一種提供小型便宜的旋轉調整裝置，不需設置從直線移動機構分離獨立的旋轉機構，就可將可直線移動自如的噴墨用塗布頭（6），朝與噴墨用塗布頭的移動方向的X軸方向垂直的Z軸方向的旋轉軸線周圍進行旋轉調整。具備：第1及第2的2個移動體（101、102），朝X軸方向藉由各別的驅動源（111、112）被直線移動；及變換機構（12），當第1及第2的兩移動體（101、102）朝X軸方向同步移動時使噴墨用塗布頭（6）朝X軸方向直線移動，兩移動體（101、102）朝X軸方向相對移動時，將此相對移動變換成噴墨用塗布頭（6）的旋轉軸線周圍的旋轉運動。
简体摘要：一种提供小型便宜的旋转调整设备，不需设置从直线移动机构分离独立的旋转机构，就可将可直线移动自如的喷墨用涂布头（6），朝与喷墨用涂布头的移动方向的X轴方向垂直的Z轴方向的旋转轴线周围进行旋转调整。具备：第1及第2的2个移动体（101、102），朝X轴方向借由各别的驱动源（111、112）被直线移动；及变换机构（12），当第1及第2的两移动体（101、102）朝X轴方向同步移动时使喷墨用涂布头（6）朝X轴方向直线移动，两移动体（101、102）朝X轴方向相对移动时，将此相对移动变换成喷墨用涂布头（6）的旋转轴线周围的旋转运动。

13. 发明专利

TW200949074A 輪葉之製造方法 METHOD OF MANUFACTURING VANE 审中-公开
简体标题：轮叶之制造方法 METHOD OF MANUFACTURING VANE
公开(公告)号：TW200949074A
公开(公告)日：2009-12-01
申请号：TW098104208
申请日：2009-02-10
申请人：愛發科股份有限公司
发明人：田中智成 , 矢作充 , 柴山浩司 , 中村隆史 , 深浦裕治
IPC分类号： F04C
CPC分类号： B29C71/0009 , B29C71/02 , B29C2035/043 , B29C2071/0018 , B29C2791/006 , B29K2101/10 , B29K2105/24 , B29L2031/08 , F04C18/3441 , F04C2230/90 , F05C2225/00 , Y10T29/49245 , Y10T29/49336
摘要：本發明之輪葉之製造方法中，該輪葉係使用於油旋真空泵，至少一部分以樹脂材料所構成；該製造方法係在將前述輪葉完成為最終形狀之最終加工步驟前，包含有油含浸步驟，其係於減壓環境下，將前述輪葉浸漬在使用於前述油旋真空泵之油中。
简体摘要：本发明之轮叶之制造方法中，该轮叶系使用于油旋真空泵，至少一部分以树脂材料所构成；该制造方法系在将前述轮叶完成为最终形状之最终加工步骤前，包含有油含浸步骤，其系于减压环境下，将前述轮叶浸渍在使用于前述油旋真空泵之油中。

14. 发明专利

TWI422456B 機台裝置有权
简体标题：机台设备
公开(公告)号：TWI422456B
公开(公告)日：2014-01-11
申请号：TW097132915
申请日：2008-08-28
申请人：愛發科股份有限公司 , ULVAC, INC.
发明人：田中保三 , TANAKA, YASUZO , 湯山純平 , YUYAMA, JUNPEI , 矢作充 , YAHAGI, MITSURU , 南展史 , MINAMI, HIROFUMI , 高橋誠 , TAKAHASHI, MAKOTO , 伊藤慎也 , ITO, SHINYA
IPC分类号： B23Q1/26 , B05C5/00 , H01L21/68 , G02F1/1333
CPC分类号： B65G7/04

15. 发明专利

TWI406734B 機台裝置有权
简体标题：机台设备
公开(公告)号：TWI406734B
公开(公告)日：2013-09-01
申请号：TW097132918
申请日：2008-08-28
申请人：愛發科股份有限公司 , ULVAC, INC.
发明人：田中保三 , TANAKA, YASUZO , 湯山純平 , YUYAMA, JUNPEI , 矢作充 , YAHAGI, MITSURU , 南展史 , MINAMI, HIROFUMI , 高橋誠 , TAKAHASHI, MAKOTO , 伊藤慎也 , ITO, SHINYA
IPC分类号： B23Q1/66 , B05C5/00 , G02F1/1333 , H01L21/68
CPC分类号： B65H1/00 , B41J11/06 , B65H2405/312 , B65H2701/11312 , B65H2801/15

16. 发明专利

TWI385049B 機台裝置組裝方法有权
简体标题：机台设备组装方法
公开(公告)号：TWI385049B
公开(公告)日：2013-02-11
申请号：TW097132914
申请日：2008-08-28
申请人：愛發科股份有限公司 , ULVAC, INC.
发明人：田中保三 , TANAKA, YASUZO , 湯山純平 , YUYAMA, JUNPEI , 矢作充 , YAHAGI, MITSURU , 南展史 , MINAMI, HIROFUMI , 高橋誠 , TAKAHASHI, MAKOTO , 伊藤慎也 , ITO, SHINYA
IPC分类号： B23Q1/01 , H01L21/68
CPC分类号： B41J2/14 , B41J2002/14362 , Y10T29/49778 , Y10T29/4978 , Y10T29/49817 , Y10T29/49895 , Y10T29/49899

17. 发明专利

TW201022039A 印刷頭、印刷裝置 PRINTING HEAD, PRINTING APPARATUS 审中-公开
简体标题：印刷头、印刷设备 PRINTING HEAD, PRINTING APPARATUS
公开(公告)号：TW201022039A
公开(公告)日：2010-06-16
申请号：TW098135082
申请日：2009-10-16
申请人：愛發科股份有限公司
发明人：宮田貴裕 , 村田真朗 , 柴智志 , 矢作充 , 湯山純平
IPC分类号： B41J
CPC分类号： B41J2/14274 , B41J2002/14419 , B41J2202/09
摘要：本發明課題是使振動不會透過固定基板3被傳達。為了讓對於壓電振動子4的振動的共振頻率相異，在同一的固定基板3中，安裝長度的不同的壓電振動子4。即使藉由被外加電壓的壓電振動子4，使膨脹、收縮的壓力發生室9的殘留振動被傳達至固定基板3，因為壓電振動子4之間的共振頻率不同，所以即使振動是透過固定基板3被傳達至其他的壓電振動子4，該壓電振動子4也不會振動。因此，該壓電振動子4抵接的壓力發生室9不會有由振動所產生的膨脹、收縮。
简体摘要：本发明课题是使振动不会透过固定基板3被传达。为了让对于压电振动子4的振动的共振频率相异，在同一的固定基板3中，安装长度的不同的压电振动子4。即使借由被外加电压的压电振动子4，使膨胀、收缩的压力发生室9的残留振动被传达至固定基板3，因为压电振动子4之间的共振频率不同，所以即使振动是透过固定基板3被传达至其他的压电振动子4，该压电振动子4也不会振动。因此，该压电振动子4抵接的压力发生室9不会有由振动所产生的膨胀、收缩。

18. 发明专利

TW201005978A 太陽電池之製造方法及太陽電池之製造裝置 METHOD AND APPARATUS FOR MANUFACTURING SOLAR BATTERY 审中-公开
简体标题：太阳电池之制造方法及太阳电池之制造设备 METHOD AND APPARATUS FOR MANUFACTURING SOLAR BATTERY
公开(公告)号：TW201005978A
公开(公告)日：2010-02-01
申请号：TW098110481
申请日：2009-03-30
申请人：愛發科股份有限公司
发明人：山室和弘 , 佐藤誠一 , 矢作充 , 湯山純平 , 中村久三
IPC分类号： H01L
CPC分类号： H01L31/208 , H01L31/046 , H02S50/10 , Y02E10/50 , Y02P70/521
摘要：本發明係太陽電池之製造方法，其係形成光電轉換體，該光電轉換體係包含複數個劃分元件，相互鄰接之前述劃分元件彼此電性連接；在前述光電轉換體之中，規定具有構造缺陷之劃分元件；從相互鄰接之前述劃分元件彼此之間測定複數處之電阻值所獲得之電阻值的分布規定缺陷部位，藉由此方式，而在前述劃分元件內限定存在著前述構造缺陷的部位；將偏壓電壓施加於存在著前述構造缺陷的部位而除去前述構造缺陷。
简体摘要：本发明系太阳电池之制造方法，其系形成光电转换体，该光电转换体系包含复数个划分组件，相互邻接之前述划分组件彼此电性连接；在前述光电转换体之中，规定具有构造缺陷之划分组件；从相互邻接之前述划分组件彼此之间测定复数处之电阻值所获得之电阻值的分布规定缺陷部位，借由此方式，而在前述划分组件内限定存在着前述构造缺陷的部位；将偏压电压施加于存在着前述构造缺陷的部位而除去前述构造缺陷。

19. 发明专利

TW201005977A 太陽電池之製造方法及太陽電池之製造裝置 METHOD AND APPARATUS FOR MANUFACTURING SOLAR BATTERY 审中-公开
简体标题：太阳电池之制造方法及太阳电池之制造设备 METHOD AND APPARATUS FOR MANUFACTURING SOLAR BATTERY
公开(公告)号：TW201005977A
公开(公告)日：2010-02-01
申请号：TW098110464
申请日：2009-03-30
申请人：愛發科股份有限公司
发明人：山室和弘 , 佐藤誠一 , 矢作充 , 湯山純平 , 中村久三
IPC分类号： H01L
CPC分类号： Y02E10/50 , Y02P70/521
摘要：本發明之太陽電池之製造方法係形成光電轉換體，該光電轉換體包含複數個劃分元件，且相互鄰接之前述劃分元件彼此電性連接；特定出前述光電轉換體中，含有構造缺陷之前述劃分元件；根據於相互鄰接之前述劃分元件彼此之間測定複數處之電阻值所獲得之電阻值分布，縮限前述劃分元件內存在前述構造缺陷之區域，藉由圖像攝像部，拍攝該經縮限之存在前述構造缺陷之前述區域內，從所獲得之圖像正確地特定出前述構造缺陷之位置，藉此於前述劃分元件內限定存在前述構造缺陷之部位；於存在前述構造缺陷之部位，照射雷射光線而去除前述構造缺陷。
简体摘要：本发明之太阳电池之制造方法系形成光电转换体，该光电转换体包含复数个划分组件，且相互邻接之前述划分组件彼此电性连接；特定出前述光电转换体中，含有构造缺陷之前述划分组件；根据于相互邻接之前述划分组件彼此之间测定复数处之电阻值所获得之电阻值分布，缩限前述划分组件内存在前述构造缺陷之区域，借由图像摄像部，拍摄该经缩限之存在前述构造缺陷之前述区域内，从所获得之图像正确地特定出前述构造缺陷之位置，借此于前述划分组件内限定存在前述构造缺陷之部位；于存在前述构造缺陷之部位，照射激光光线而去除前述构造缺陷。

20. 发明专利

TWI388906B 間隔物形成方法及間隔物形成裝置有权
简体标题：间隔物形成方法及间隔物形成设备
公开(公告)号：TWI388906B
公开(公告)日：2013-03-11
申请号：TW094136459
申请日：2005-10-19
申请人：愛發科股份有限公司 , ULVAC, INC.
发明人：田中保三 , TANAKA, YASUZO , 村田真朗 , MURATA, MASAO , 湯山純平 , YUYAMA, JUNPEI , 越名浩史 , KOSHINA, HIROSHI , 內田寬人 , UCHIDA, HIROTO , 羽根功二 , HANE, KOJI , 辻孝憲 , TSUJI, TAKANORI , 矢作充 , YAHAGI, MITSURU
IPC分类号： G02F1/1339
CPC分类号： G02F1/1303 , G02F1/13394 , G02F2203/69

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