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1. 发明专利

TWI339621B 噴頭模組、印刷裝置及印刷方法有权
简体标题：喷头模块、印刷设备及印刷方法
公开(公告)号：TWI339621B
公开(公告)日：2011-04-01
申请号：TW094137312
申请日：2005-10-25
申请人：愛發科股份有限公司
发明人：內田寬人 , 村田真朗 , 田中保三 , 湯山純平 , 越名浩史 , 井上祐也 , 辻孝憲 , 羽根功二
IPC分类号： B41J
CPC分类号： G02F1/1303 , B41J2/175 , G02F1/13392
摘要：本發明係一種噴頭模組，印刷裝置及印刷方法，其中在第一發明之發光之中係間隔物分散液的流動，則因在由過濾器30與吐出室21分隔開之輸送室22發生，故噴嘴板26側之吐出室21係不受其影響，而從噴出孔，安定吐出間隔物分散液，而在第二發明之中係因在吐出間隔物分散液167之印刷狀態下不會在吐出室121內部流動有間隔物分散液，故從噴出孔132安定吐出間隔物分散液167，相反地在沒有進行吐出的待機狀態係因在吐出室121與輸送室122雙方使間隔物分散液流動，故間隔物分散液167中之間隔物粒子169則不會產生沉澱。
简体摘要：本发明系一种喷头模块，印刷设备及印刷方法，其中在第一发明之发光之中系间隔物分散液的流动，则因在由过滤器30与吐出室21分隔开之输送室22发生，故喷嘴板26侧之吐出室21系不受其影响，而从喷出孔，安定吐出间隔物分散液，而在第二发明之中系因在吐出间隔物分散液167之印刷状态下不会在吐出室121内部流动有间隔物分散液，故从喷出孔132安定吐出间隔物分散液167，相反地在没有进行吐出的待机状态系因在吐出室121与输送室122双方使间隔物分散液流动，故间隔物分散液167中之间隔物粒子169则不会产生沉淀。

2. 发明专利

TWI347649B 載台裝置 STAGE APPARATUS 有权
简体标题：载台设备 STAGE APPARATUS
公开(公告)号：TWI347649B
公开(公告)日：2011-08-21
申请号：TW096106638
申请日：2007-02-27
申请人：愛發科股份有限公司
发明人：田中保三 , 湯山純平 , 矢作充 , 南展史
IPC分类号： H01L
CPC分类号： H01L21/682 , G03F7/70716 , G03F7/70791 , G03F7/70975
摘要：本發明係提供一種載台裝置，可分割為可進行陸運之同時可確保對被處理基板之適當的處理。
本發明之載台裝置係具備：支撐被處理基板W之基板支撐面；包夾基板支撐面而相對向配置之一對導架(13X)；橫跨一對導架(13X)間而延伸且相對於一對導架(13X)而以自由移動之方式被支撐之拱架(13Y)；以及設置在拱架(13Y)之基板處理單元(14)，而導架(13X)係由以下的構件之結合體所構成，包含：形成基板處理單元(4)進行基板處理所需的拱架(13Y)之移動路徑(作業區域R1)的主框架部(15A)；及連接在主框架部(15A)的長度方向之一端部或兩端部，而形成到拱架(13Y)的非作業位置(非作業區域R2)為止之移動路徑的副框架部(15B)。
简体摘要：本发明系提供一种载台设备，可分割为可进行陆运之同时可确保对被处理基板之适当的处理。本发明之载台设备系具备：支撑被处理基板W之基板支撑面；包夹基板支撑面而相对向配置之一对导架(13X)；横跨一对导架(13X)间而延伸且相对于一对导架(13X)而以自由移动之方式被支撑之拱架(13Y)；以及设置在拱架(13Y)之基板处理单元(14)，而导架(13X)系由以下的构件之结合体所构成，包含：形成基板处理单元(4)进行基板处理所需的拱架(13Y)之移动路径(作业区域R1)的主框架部(15A)；及连接在主框架部(15A)的长度方向之一端部或两端部，而形成到拱架(13Y)的非作业位置(非作业区域R2)为止之移动路径的副框架部(15B)。

3. 发明专利

TWI388906B 間隔物形成方法及間隔物形成裝置有权
简体标题：间隔物形成方法及间隔物形成设备
公开(公告)号：TWI388906B
公开(公告)日：2013-03-11
申请号：TW094136459
申请日：2005-10-19
申请人：愛發科股份有限公司 , ULVAC, INC.
发明人：田中保三 , TANAKA, YASUZO , 村田真朗 , MURATA, MASAO , 湯山純平 , YUYAMA, JUNPEI , 越名浩史 , KOSHINA, HIROSHI , 內田寬人 , UCHIDA, HIROTO , 羽根功二 , HANE, KOJI , 辻孝憲 , TSUJI, TAKANORI , 矢作充 , YAHAGI, MITSURU
IPC分类号： G02F1/1339
CPC分类号： G02F1/1303 , G02F1/13394 , G02F2203/69

4. 发明专利

TWI371077B 工作台裝置 STAGE APPARATUS 有权
简体标题：工作台设备 STAGE APPARATUS
公开(公告)号：TWI371077B
公开(公告)日：2012-08-21
申请号：TW096106641
申请日：2007-02-27
申请人：愛發科股份有限公司
发明人：田中保三 , 湯山純平 , 矢作充 , 南展史
IPC分类号： H01L
CPC分类号： H01L21/682 , G03F7/70716 , G03F7/70975
摘要：本發明之目的在於提供一種工作台裝置，係能分割成可陸路運送，並確保對被處理基板的適當處理。
工作台裝置(11)係具備：一對滑軌架(13X1)、(13X2)，以夾住設置有被處理基板之基板支撐面的方式而對向配置；以及拱架(13Y)，在該一對滑軌架(13X1)、(13X2)上面以自由移動的方式被支撐著；並且，該工作台裝置(11)係由下列的結合體所構成：第1結構體V1，係包含一方的滑軌架(13X1)；第2結構體V2，係包含另一方的滑軌架(13X2)；以及第3結構體V3，係包含拱架(13Y)。藉此，即使為大型工作台裝置，亦因各結構體V1至V3為自由分離而能進行陸路運送，此外，因拱架(13Y)的移動路徑上不存在接合處，故可確保在不損害到拱架(13Y)之移動精確度下進行適當的基板處理。
简体摘要：本发明之目的在于提供一种工作台设备，系能分割成可陆路运送，并确保对被处理基板的适当处理。工作台设备(11)系具备：一对滑轨架(13X1)、(13X2)，以夹住设置有被处理基板之基板支撑面的方式而对向配置；以及拱架(13Y)，在该一对滑轨架(13X1)、(13X2)上面以自由移动的方式被支撑着；并且，该工作台设备(11)系由下列的结合体所构成：第1结构体V1，系包含一方的滑轨架(13X1)；第2结构体V2，系包含另一方的滑轨架(13X2)；以及第3结构体V3，系包含拱架(13Y)。借此，即使为大型工作台设备，亦因各结构体V1至V3为自由分离而能进行陆路运送，此外，因拱架(13Y)的移动路径上不存在接合处，故可确保在不损害到拱架(13Y)之移动精确度下进行适当的基板处理。

5. 发明专利

TWI422456B 機台裝置有权
简体标题：机台设备
公开(公告)号：TWI422456B
公开(公告)日：2014-01-11
申请号：TW097132915
申请日：2008-08-28
申请人：愛發科股份有限公司 , ULVAC, INC.
发明人：田中保三 , TANAKA, YASUZO , 湯山純平 , YUYAMA, JUNPEI , 矢作充 , YAHAGI, MITSURU , 南展史 , MINAMI, HIROFUMI , 高橋誠 , TAKAHASHI, MAKOTO , 伊藤慎也 , ITO, SHINYA
IPC分类号： B23Q1/26 , B05C5/00 , H01L21/68 , G02F1/1333
CPC分类号： B65G7/04

6. 发明专利

TWI406734B 機台裝置有权
简体标题：机台设备
公开(公告)号：TWI406734B
公开(公告)日：2013-09-01
申请号：TW097132918
申请日：2008-08-28
申请人：愛發科股份有限公司 , ULVAC, INC.
发明人：田中保三 , TANAKA, YASUZO , 湯山純平 , YUYAMA, JUNPEI , 矢作充 , YAHAGI, MITSURU , 南展史 , MINAMI, HIROFUMI , 高橋誠 , TAKAHASHI, MAKOTO , 伊藤慎也 , ITO, SHINYA
IPC分类号： B23Q1/66 , B05C5/00 , G02F1/1333 , H01L21/68
CPC分类号： B65H1/00 , B41J11/06 , B65H2405/312 , B65H2701/11312 , B65H2801/15

7. 发明专利

TWI385049B 機台裝置組裝方法有权
简体标题：机台设备组装方法
公开(公告)号：TWI385049B
公开(公告)日：2013-02-11
申请号：TW097132914
申请日：2008-08-28
申请人：愛發科股份有限公司 , ULVAC, INC.
发明人：田中保三 , TANAKA, YASUZO , 湯山純平 , YUYAMA, JUNPEI , 矢作充 , YAHAGI, MITSURU , 南展史 , MINAMI, HIROFUMI , 高橋誠 , TAKAHASHI, MAKOTO , 伊藤慎也 , ITO, SHINYA
IPC分类号： B23Q1/01 , H01L21/68
CPC分类号： B41J2/14 , B41J2002/14362 , Y10T29/49778 , Y10T29/4978 , Y10T29/49817 , Y10T29/49895 , Y10T29/49899

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