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    • 116. 发明专利
    • 丙烯酸單體、聚合物、含有其的抗蝕劑組成物及形成抗蝕劑圖案的方法
    • 丙烯酸单体、聚合物、含有其的抗蚀剂组成物及形成抗蚀剂图案的方法
    • TW201434813A
    • 2014-09-16
    • TW102148082
    • 2013-12-25
    • 錦湖石油化學股份有限公司KOREA KUMHO PETROCHEMICAL CO., LTD.
    • 裵昌完BAE, CHANG WAN朱炫相JOO, HYUN SANG安浩益AHN, HO IK申珍奉SHIN, JIN BONG
    • C07C69/54C08F20/10C08L33/04G03F7/11H01L21/31G03F7/00H01L21/311H01L21/027
    • 本發明提供了由下面化學式(1)表示的丙烯酸單體,含有源自所述丙烯酸單體的重複單元的用於抗蝕劑添加劑的聚合物,以及包含所述聚合物的抗蝕劑組成物,所述丙烯酸單體可用作形成抗蝕劑添加劑用單體,其在形成抗蝕劑圖案時,在顯影前顯示出高疏水性,由此將水與抗蝕劑分離開,並防止做為抗蝕劑中組成材料的低分子量物質、親水性添加劑等被洗脫入水中,而在顯影後轉化為親水性,從而能夠減少顯影後的圖案缺陷: 其中,在化學式(1)中,R表示氫原子或具有1至8個碳原子的烷基;X表示支鏈或環狀烴基,所述支鏈或環狀烴基具有3至30個碳原子,並含有由下面化學式(2)表示的官能基和至少一個由下面化學式(3)表示的官能基: 其中,在化學式(2)和化學式(3)中,Y表示含有氟原子的鹼不穩定基團;且Z表示不含氟原子的鹼不穩定基團。
    • 本发明提供了由下面化学式(1)表示的丙烯酸单体,含有源自所述丙烯酸单体的重复单元的用于抗蚀剂添加剂的聚合物,以及包含所述聚合物的抗蚀剂组成物,所述丙烯酸单体可用作形成抗蚀剂添加剂用单体,其在形成抗蚀剂图案时,在显影前显示出高疏水性,由此将水与抗蚀剂分离开,并防止做为抗蚀剂中组成材料的低分子量物质、亲水性添加剂等被洗脱入水中,而在显影后转化为亲水性,从而能够减少显影后的图案缺陷: 其中,在化学式(1)中,R表示氢原子或具有1至8个碳原子的烷基;X表示支链或环状烃基,所述支链或环状烃基具有3至30个碳原子,并含有由下面化学式(2)表示的官能基和至少一个由下面化学式(3)表示的官能基: 其中,在化学式(2)和化学式(3)中,Y表示含有氟原子的碱不稳定基团;且Z表示不含氟原子的碱不稳定基团。