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    • 4. 发明专利
    • 硬化膜形成用熱硬化性樹脂組成物、負型感放射線性樹脂組成物、正型感放射線性樹脂組成物、硬化膜、其形成方法、半導體元件及顯示元件
    • 硬化膜形成用热硬化性树脂组成物、负型感放射线性树脂组成物、正型感放射线性树脂组成物、硬化膜、其形成方法、半导体组件及显示组件
    • TW201433883A
    • 2014-09-01
    • TW103101355
    • 2014-01-15
    • JSR股份有限公司JSR CORPORATION
    • 三島繪里MISHIMA, ERI西村幸生NISHIMURA, YUKIO下川努SHIMOKAWA, TSUTOMU八代隆郎YASHIRO, TAKAO
    • G03F7/038G03F7/039C08F220/28C08F220/30
    • 本發明之目的係提供一種可形成具有優異的表面硬度並且可充分滿足靈敏度、顯影接著性、耐化學性、耐熱性、透射率以及相對介電常數等之一般特性的硬化膜,且保存穩定性優異的硬化膜形成用熱硬化性樹脂組成物、負型感放射線性樹脂組成物、正型感放射線性樹脂組成物。本發明係一種硬化膜形成用熱硬化性樹脂組成物,其含有[A1]具有結構單元(I)和結構單元(II-1)的聚合物,該結構單元(I)包含選自包含下述式(1)所表示的基團以及下述式(2)所表示的基團之群組中的至少一種,該結構單元(II-1)包含交聯性基團(a1)。又,本發明係一種負型感放射線性樹脂組成物,其含有:[A2]具有結構單元(I)和結構單元(II-2)的聚合物,該結構單元(I)包含選自包含下述式(1)所表示的基團以及下述式(2)所表示的基團之群組中的至少一種,該結構單元(II-2)包含交聯性基團(a2);[B]具有乙烯性不飽和鍵的聚合性化合物;以及[C]感放射線性聚合起始劑。再者,本發明係一種正型感放射線性樹脂組成物,其含有:[A3]具有結構單元(I)和結構單元(II-3)的聚合物,該結構單元(I)包含選自包含下述式(1)所表示的基團以及由下述式(2)所表示的基團之群組中的至少一種,該結構單元(II-3)包含環狀醚結構或環狀碳酸酯結構;以及[G]酸產生體。式(1)中,R1及R2為氫原子、碳原子數1~4的烷基或碳原子數1~4的氟烷基。式(2)中,R3及R4為氫原子、鹵素原子、碳原子數1~4的烷基或碳原子數1~4的氟烷基。上述交聯性基團(a1)較佳為選自包含環氧乙烷基以及氧雜環丁基(oxetanyl group)之群組中的至少一種。
    • 本发明之目的系提供一种可形成具有优异的表面硬度并且可充分满足灵敏度、显影接着性、耐化学性、耐热性、透射率以及相对介电常数等之一般特性的硬化膜,且保存稳定性优异的硬化膜形成用热硬化性树脂组成物、负型感放射线性树脂组成物、正型感放射线性树脂组成物。本发明系一种硬化膜形成用热硬化性树脂组成物,其含有[A1]具有结构单元(I)和结构单元(II-1)的聚合物,该结构单元(I)包含选自包含下述式(1)所表示的基团以及下述式(2)所表示的基团之群组中的至少一种,该结构单元(II-1)包含交联性基团(a1)。又,本发明系一种负型感放射线性树脂组成物,其含有:[A2]具有结构单元(I)和结构单元(II-2)的聚合物,该结构单元(I)包含选自包含下述式(1)所表示的基团以及下述式(2)所表示的基团之群组中的至少一种,该结构单元(II-2)包含交联性基团(a2);[B]具有乙烯性不饱和键的聚合性化合物;以及[C]感放射线性聚合起始剂。再者,本发明系一种正型感放射线性树脂组成物,其含有:[A3]具有结构单元(I)和结构单元(II-3)的聚合物,该结构单元(I)包含选自包含下述式(1)所表示的基团以及由下述式(2)所表示的基团之群组中的至少一种,该结构单元(II-3)包含环状醚结构或环状碳酸酯结构;以及[G]酸产生体。式(1)中,R1及R2为氢原子、碳原子数1~4的烷基或碳原子数1~4的氟烷基。式(2)中,R3及R4为氢原子、卤素原子、碳原子数1~4的烷基或碳原子数1~4的氟烷基。上述交联性基团(a1)较佳为选自包含环氧乙烷基以及氧杂环丁基(oxetanyl group)之群组中的至少一种。
    • 8. 发明专利
    • 正型感放射線性樹脂組成物、硬化膜、其形成方法、半導體元件及顯示元件
    • 正型感放射线性树脂组成物、硬化膜、其形成方法、半导体组件及显示组件
    • TW201804252A
    • 2018-02-01
    • TW106135411
    • 2014-01-15
    • JSR股份有限公司JSR CORPORATION
    • 三島繪里MISHIMA, ERI西村幸生NISHIMURA, YUKIO下川努SHIMOKAWA, TSUTOMU八代隆郎YASHIRO, TAKAO
    • G03F7/038G03F7/039C08F220/28C08F220/30
    • 本發明之目的係提供一種可形成具有優異的表面硬度並且可充分滿足靈敏度、顯影接著性、耐化學性、耐熱性、透射率以及相對介電常數等之一般特性的硬化膜,且保存穩定性優異的硬化膜形成用熱硬化性樹脂組成物、負型感放射線性樹脂組成物、正型感放射線性樹脂組成物。 本發明係一種硬化膜形成用熱硬化性樹脂組成物,其含有[A1]具有結構單元(I)和結構單元(II-1)的聚合物,該結構單元(I)包含選自包含下述式(1)所表示的基團以及下述式(2)所表示的基團之群組中的至少一種,該結構單元(II-1)包含交聯性基團(a1)。 又,本發明係一種負型感放射線性樹脂組成物,其含有:[A2]具有結構單元(I)和結構單元(II-2)的聚合物,該結構單元(I)包含選自包含下述式(1)所表示的基團以及下述式(2)所表示的基團之群組中的至少一種,該結構單元(II-2)包含交聯性基團(a2);[B]具有乙烯性不飽和鍵的聚合性化合物;以及[C]感放射線性聚合起始劑。 再者,本發明係一種正型感放射線性樹脂組成物,其含有:[A3]具有結構單元(I)和結構單元(II-3)的聚合物,該結構單元(I)包含選自包含下述式(1)所表示的基團以及由下述式(2)所表示的基團之群組中的至少一種,該結構單元(II-3)包含環狀醚結構或環狀碳酸酯結構;以及[G]酸產生體。 式(1)中,R1及R2為氫原子、碳原子數1~4的烷基或碳原子數1~4的氟烷基。式(2)中,R3及R4為氫原子、鹵素原子、碳原子數1~4的烷基或碳原子數1~4的氟烷基。上述交聯性基團(a1)較佳為選自包含環氧乙烷基以及氧雜環丁基(oxetanyl group)之群組中的至少一種。
    • 本发明之目的系提供一种可形成具有优异的表面硬度并且可充分满足灵敏度、显影接着性、耐化学性、耐热性、透射率以及相对介电常数等之一般特性的硬化膜,且保存稳定性优异的硬化膜形成用热硬化性树脂组成物、负型感放射线性树脂组成物、正型感放射线性树脂组成物。 本发明系一种硬化膜形成用热硬化性树脂组成物,其含有[A1]具有结构单元(I)和结构单元(II-1)的聚合物,该结构单元(I)包含选自包含下述式(1)所表示的基团以及下述式(2)所表示的基团之群组中的至少一种,该结构单元(II-1)包含交联性基团(a1)。 又,本发明系一种负型感放射线性树脂组成物,其含有:[A2]具有结构单元(I)和结构单元(II-2)的聚合物,该结构单元(I)包含选自包含下述式(1)所表示的基团以及下述式(2)所表示的基团之群组中的至少一种,该结构单元(II-2)包含交联性基团(a2);[B]具有乙烯性不饱和键的聚合性化合物;以及[C]感放射线性聚合起始剂。 再者,本发明系一种正型感放射线性树脂组成物,其含有:[A3]具有结构单元(I)和结构单元(II-3)的聚合物,该结构单元(I)包含选自包含下述式(1)所表示的基团以及由下述式(2)所表示的基团之群组中的至少一种,该结构单元(II-3)包含环状醚结构或环状碳酸酯结构;以及[G]酸产生体。 式(1)中,R1及R2为氢原子、碳原子数1~4的烷基或碳原子数1~4的氟烷基。式(2)中,R3及R4为氢原子、卤素原子、碳原子数1~4的烷基或碳原子数1~4的氟烷基。上述交联性基团(a1)较佳为选自包含环氧乙烷基以及氧杂环丁基(oxetanyl group)之群组中的至少一种。