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    • 5. 发明专利
    • 記憶體陣列的操作方法
    • 内存数组的操作方法
    • TW202008367A
    • 2020-02-16
    • TW107127475
    • 2018-08-07
    • 旺宏電子股份有限公司MACRONIX INTERNATIONAL CO., LTD.
    • 林道遠LIN, TAO-YUAN楊怡箴YANG, I-CHEN張耀文CHANG, YAO-WEN
    • G11C16/10G11C16/16
    • 記憶體陣列的操作方法。記憶體陣列包括一第一NAND記憶體串列。第一NAND記憶體串列包括一第i個記憶胞、一第i-1個記憶胞、一第i條字元線與一第i-1條字元線。第i個記憶胞與第i-1個記憶胞依序電性串聯。第i條字元線電性連接至第i個記憶胞。第i-1條字元線電性連接至第i-1個記憶胞。記憶體陣列的操作方法包括在一操作時段期間,對第i個記憶胞進行一抑制程式化程序,並同時對第i-1個記憶胞進行一第一程序。抑制程式化程序包括提供一第一預開啟電壓至第i條字元線。第一程序包括提供第二預開啟電壓至第i-1條字元線。
    • 内存数组的操作方法。内存数组包括一第一NAND内存串行。第一NAND内存串行包括一第i个记忆胞、一第i-1个记忆胞、一第i条字符线与一第i-1条字符线。第i个记忆胞与第i-1个记忆胞依序电性串联。第i条字符线电性连接至第i个记忆胞。第i-1条字符线电性连接至第i-1个记忆胞。内存数组的操作方法包括在一操作时段期间,对第i个记忆胞进行一抑制进程化进程,并同时对第i-1个记忆胞进行一第一进程。抑制进程化进程包括提供一第一预打开电压至第i条字符线。第一进程包括提供第二预打开电压至第i-1条字符线。
    • 8. 发明专利
    • 半導體裝置及其製造方法
    • 半导体设备及其制造方法
    • TW201528382A
    • 2015-07-16
    • TW103115781
    • 2014-05-02
    • 旺宏電子股份有限公司MACRONIX INTERNATIONAL CO., LTD.
    • 林道遠LIN, TAO YUAN楊怡箴YANG, I CHEN張耀文CHANG, YAO WEN
    • H01L21/336H01L21/265
    • H01L29/7833H01L21/26506H01L21/26513H01L21/26593H01L29/6659
    • 一種形成半導體裝置的方法,包括:形成一閘極結構在一基板上;使用該閘極結構為一罩幕(mask)執行第一摻雜離子(dopant ion)之一輕摻雜汲極(Lightly Doped Drain, LDD)佈植(Implantation)至該基板中,以在該基板中形成輕摻雜汲極區域;在該輕摻雜汲極佈植後,使用該閘極結構為一罩幕執行一前非晶化佈植(pre-amorphization implantation, PAI)至該基板中,以非晶化至少一部分的該些輕摻雜汲極區域;以及在該前非晶化佈植後,使用該閘極結構為一罩幕執行第二摻雜離子的一高摻雜佈植(high-doping implantation)至該基板中,以形成與該些輕摻雜汲極區域至少部分重疊(overlap)的高摻雜區域。
    • 一种形成半导体设备的方法,包括:形成一闸极结构在一基板上;使用该闸极结构为一罩幕(mask)运行第一掺杂离子(dopant ion)之一轻掺杂汲极(Lightly Doped Drain, LDD)布植(Implantation)至该基板中,以在该基板中形成轻掺杂汲极区域;在该轻掺杂汲极布植后,使用该闸极结构为一罩幕运行一前非晶化布植(pre-amorphization implantation, PAI)至该基板中,以非晶化至少一部分的该些轻掺杂汲极区域;以及在该前非晶化布植后,使用该闸极结构为一罩幕运行第二掺杂离子的一高掺杂布植(high-doping implantation)至该基板中,以形成与该些轻掺杂汲极区域至少部分重叠(overlap)的高掺杂区域。