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热词
    • 5. 发明授权
    • 광변조기 소자
    • 光学调制器
    • KR100883989B1
    • 2009-02-17
    • KR1020070105308
    • 2007-10-19
    • 삼성전기주식회사
    • 이재훈윤상기이현기양주환
    • H01L31/02H01L31/14
    • H01L31/14G02B26/02H01L41/047H01L41/113H01L41/18
    • An optical modulator is provided to improve adhesion in an interface between a bottom electrode and a ribbon layer by forming the bottom electrode and the ribbon layer composed of the nitride compound thin film. A ribbon layer(140) is composed of a nitride compound thin film. The ribbon layer is supported by both sides of the substrate by floating the center of the ribbon layer from the substrate. First electrodes(151) are composed of the nitride compound thin films having the conductivity. The first electrodes are located in both sides of the ribbon layer. A second electrode(153) is formed between the first electrodes for applying a driving voltage. A piezoelectric layer(152) is positioned between the first electrode and the second electrode. The piezoelectric layer is contracted or expanded by corresponding to the driving voltage and generates the driving force by moving the center part of the ribbon layer up and down.
    • 通过形成底部电极和由氮化物化合物薄膜构成的带状层,提供光学调制器以改善底部电极和带状层之间的界面中的粘合。 带状层(140)由氮化物化合物薄膜构成。 通过将带状层的中心从衬底浮起来,带层由衬底的两侧支撑。 第一电极(151)由具有导电性的氮化物化合物薄膜构成。 第一电极位于带状层的两侧。 在第一电极之间形成用于施加驱动电压的第二电极(153)。 压电层(152)位于第一电极和第二电极之间。 压电层通过对应于驱动电压而收缩或膨胀,并通过上下移动带状层的中心部分而产生驱动力。
    • 7. 发明公开
    • 복수 층으로 구성된 전극을 갖는 멤스 구조물 및 그 제조방법
    • 具有多层电极的MEMS及其制造方法
    • KR1020070048988A
    • 2007-05-10
    • KR1020050106130
    • 2005-11-07
    • 삼성전기주식회사
    • 경제홍
    • H01L31/14
    • H01L31/08H01L31/0224H01L31/18H01L41/09
    • 본 발명은 기판; 기판 상에 위치하는 절연층; 중앙 부분이 절연층과의 사이에서 구동 공간을 확보할 수 있도록 소정의 간격으로 이격되어 위치하며 구동 공간을 통하여 상하로 움직일 수 있는 구조물층; 구조물층 상에 위치하는 하부 전극; 하부 전극 상에 위치하고, 소정의 전압에 상응하여 수축 및 팽창을 하여 구조물층의 중앙 부분이 상하로 움직일 수 있도록 구동력을 발생시키는 압전층; 및 압전층 상에 위치하고, 하부 전극 간에 압전층에 형성되는 소정의 전압을 인가하는 상부 전극을 포함하되, 하부 전극 또는 상부 전극은 층별로 상이한 결정 분포를 갖는 복수의 층으로 구성되는 멤스 구조물 및 그 제조 방법에 관한 것이다. 본 발명에 따르면, 결정 분포가 상이한 복수의 층을 적층하는 방식의 전극 성막 공정을 통해 후속하는 고온의 소자 제조 공정에도 스트레스(stress) 등에 의한 특성 열화가 작은 전극 막을 형성할 수 있고, 이를 통해 멤스 구조물 전체의 특성 열화를 방지하고, 그 신뢰성을 극대화시킬 수 있는 효과가 있다.
      멤스 구조물, 압전 구동체, 하부 전극, 결정 분포.
    • 9. 发明公开
    • 집적형 반도체 광증폭기 구조 및 제조방법
    • 集成半导体光放大器结构和制造方法
    • KR1019960009244A
    • 1996-03-22
    • KR1019940019494
    • 1994-08-08
    • 한국전자통신연구원주식회사 케이티
    • 오광룡안주헌김홍만
    • H01L31/14
    • 본 발명은 광스위치의 광도파로와 반도체 광증폭기를 최적화시키는 반도체 광증폭기의 구조 및 제조방법에 관한 것이다. 본 발명은 n형의 화합물 반도체 기판(15)상에 형성되는 도핑되지 않은 화합물 반도체 도파로층(14)과, 제 1 및 제 2 클래드층(12,13)이 홈모양으로 선택식각되는 도파로(3)영역과, 상기 홈모양의 도파로(3)영역상에 형성된 홈모양의 광증폭기(1)영역의 도핑되지 않은 반도체 화합물 활성층(11) 및 반도체 화합물 클래드층(10), 화합물 반도체 캡층(9)과, 상기 홈모양의 측면에 형성된 전류차단층을 포함하는 구조를 이루고 있다.
      또한 본 발명의 제조방법은 도파로층 도핑되지 않은 InGaAsP(14)과 제 1 및 제 2 클래드층(12,13)을 1차 결정 성장시키는 단계와, 선택식각액으로 증폭기(1)영역의 도파로층 InGaAsP(14)과 제 1 및 제 2 클래드층(12,13)을 홈모양으로 선택식각하는 단계와, 증폭기의 도핑되지 않은 활성층 InGaAsP(11), 클래드층 p-InP(12) 및 p+-InGaAs(9)을 제 2 차 결정시키는 단계와, 도파로를 식각하고 전극을 증착하는 단계로 이루어진다.
      상기한 바와같이 본 발명은 2회의 결정 성장만으로도 제작이 가능하며 전류를 차단시킬 수 있으며, 옴저항을 최소화 할 수 있으며 일정 부분에 반송자의 집속시켜 입력광에 대한 효과적인 이득을 얻어 일정한 광이득을 얻기 위한 동작전류를 최소화 할 수 있다.
    • 10. 发明授权
    • CCD형 고체촬영소자
    • CCD固态图像传感器器件
    • KR1019910005394B1
    • 1991-07-29
    • KR1019880010425
    • 1988-08-17
    • 삼성에스디아이 주식회사
    • 전인상김범식
    • H01L31/14
    • Solid state image deive with polycrystalline silicon electrodes of double layer includes the first horizontal transport CCD (5) and the second horizontal transport CCD (6) at the top and bottom of photo accepting part. The signal charge of vertical transport channel (8) situated at a row of an odd number is transported upward (10) or downward (10), while the signal charge of even number is transported in the other direction. The first and second polycrystalline silicon (2,3) as the vertical transport electrodes is arranged alternately at the same column.
    • 具有双层多晶硅电极的固态图像具有第一水平传输CCD(5)和第二水平传输CCD(6),位于光接收部分的顶部和底部。 位于奇数行的垂直传输通道(8)的信号电荷向上(10)或向下(10)传输,而偶数的信号电荷在另一个方向上传输。 作为垂直输送电极的第一和第二多晶硅(2,3)交替地配置在同一列。