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1. 发明授权

KR102251100B1 과산화수소 검출용 센서의 제조방법 및 그 방법에 의해 제조된 과산화수소 검출용 센서 有权
公开(公告)号：KR102251100B1
公开(公告)日：2021-05-13
申请号：KR1020190075361
申请日：2019-06-25
申请人： 한국과학기술연구원
发明人： 변영태 , 이재성 , 정다운
IPC分类号： G01N27/12 , G01N33/00 , G01N27/327 , B82Y30/00
摘要： 본발명은 (1) 기판을준비하는단계; (2) 기판상에탄소나노튜브및 포르피린나노파이버를포함하는가스감지부를형성하는단계; 및 (3) 상기가스감지부가형성된기판상에전극을형성하는단계;를포함하는과산화수소검출용센서의제조방법및 그방법에의해제조된과산화수소검출용센서에관한것이다. 본발명의제조방법에따르면, 탄소나노튜브및 포르피린나노파이버를포함하는가스감지부를형성하는단계를포함함으로써 sub-ppm 수준의과산화수소증기(vapor)를검출할수 있는반도체형센서를제공할수 있다.

2. 发明公开

KR20210000380A 과산화수소 검출용 센서의 제조방법 및 그 방법에 의해 제조된 과산화수소 검출용 센서 有权
公开(公告)号：KR20210000380A
公开(公告)日：2021-01-05
申请号：KR20190075361
申请日：2019-06-25
申请人： 한국과학기술연구원
发明人： 변영태 , 이재성 , 정다운
IPC分类号： G01N27/12 , B82Y30/00 , G01N27/327 , G01N33/00
摘要： 본발명은 (1) 기판을준비하는단계; (2) 기판상에탄소나노튜브및 포르피린나노파이버를포함하는가스감지부를형성하는단계; 및 (3) 상기가스감지부가형성된기판상에전극을형성하는단계;를포함하는과산화수소검출용센서의제조방법및 그방법에의해제조된과산화수소검출용센서에관한것이다. 본발명의제조방법에따르면, 탄소나노튜브및 포르피린나노파이버를포함하는가스감지부를형성하는단계를포함함으로써 sub-ppm 수준의과산화수소증기(vapor)를검출할수 있는반도체형센서를제공할수 있다.

3. 发明授权

KR101957434B1 공기청정기 有权
公开(公告)号：KR101957434B1
公开(公告)日：2019-03-12
申请号：KR1020160137401
申请日：2016-10-21
申请人： 한국과학기술연구원
发明人： 우덕하 , 이석 , 전영민 , 변영태 , 이택진 , 김재헌 , 서민아 , 김철기 , 김선호 , 최재빈 , 전명석
IPC分类号： F24F3/16 , F24F13/20 , F24F13/08

4. 发明授权

KR101922187B1 가스센서용 감지물질 및 그 제조방법, 그리고 상기 감지물질을 포함하는 가스센서 및 그 제조방법 有权
公开(公告)号：KR101922187B1
公开(公告)日：2018-11-26
申请号：KR1020170031259
申请日：2017-03-13
申请人： 한국과학기술연구원
发明人： 변영태 , 최선우 , 이동진
IPC分类号： G01N27/12 , G01N33/00
CPC分类号： C08J3/28 , C08J5/00 , G01N27/12
摘要： 본발명은플루오르화란탄(Lanthanum Fluoride, LaF) 나노입자가고정된탄소나노튜브를포함하는가스센서용감지물질및 그제조방법, 그리고상기감지물질을포함하는가스센서및 그제조방법에관한것이다. 본발명에따르면, 상기감지물질을이용함으로써전해질없이도 F가스에대한감도및 선택성이우수한가스센서를제공할수 있다. 또한, 본발명에따른가스센서는 F가스의농도측정이가능하며, 히터사용없이상온에서동작이가능해소비전력이최소화되는효과가있고, 소형화가가능해휴대용으로사용될수 있다.

5. 发明授权

KR101847507B1 과산화수소 검출용 센서 및 그 제조방법 有权
公开(公告)号：KR101847507B1
公开(公告)日：2018-04-10
申请号：KR1020160148162
申请日：2016-11-08
申请人： 한국과학기술연구원
发明人： 변영태 , 이동진 , 최선우 , 김선호 , 이강봉
IPC分类号： G01N27/12 , G01N33/00 , B01J21/18 , B82B3/00 , G01N27/414 , B82Y30/00
CPC分类号： G01N27/127 , B01J21/185 , B82B3/009 , B82Y30/00 , G01N27/128 , G01N27/4146 , G01N33/0036
摘要： 본발명은기판; 상기기판상에형성되며, 카르복실기로표면개질된탄소나노튜브와포르피린(porphyrin)을포함하는가스감지부; 및상기가스감지부상에형성된전극을포함하는과산화수소검출용센서및 그제조방법에관한것이다. 본발명에따르면, 카르복실기로표면개질된탄소나노튜브와포르피린(porphyrin)을가스감지물질로포함함으로써과산화수소증기에대한우수한감응특성및 선택성을갖는반도체형센서를제공할수 있다.

6. 发明授权

KR101644981B1 개선된 감도를 갖는 탄소나노튜브 센서의 제조방법 有权
标题翻译：制造灵敏度提高的碳纳米管传感器的方法
公开(公告)号：KR101644981B1
公开(公告)日：2016-08-03
申请号：KR1020140153384
申请日：2014-11-06
申请人： 한국과학기술연구원
发明人： 변영태 , 김선호 , 전영민 , 이제행 , 김재성 , 박민철
IPC分类号： G01N27/02 , G01N27/26 , G01N27/414 , G01N27/327 , H01L21/02
CPC分类号： G01N27/4146
摘要： 본발명은, (a) 기판상에절연막을형성하는단계, (b) 절연막상에탄소나노튜브입자를흡착하는단계, (c) 탄소나노튜브가흡착된절연막상의일정영역에전극들을형성하는단계, (d) 전극들을포토레지스트로코팅하는단계, (e) 절연막을식각하여전극들사이의탄소나노튜브가공중에부양되도록하는단계, (f) 전극들에코팅된포토레지스트를제거하는단계를포함하는탄소나노튜브센서의제조방법을제공한다.

7. 发明公开

KR1020160080674A 탄소나노튜브 센서의 제조방법 및 이에 의하여 제조된 탄소나노튜브 센서 无效
标题翻译：制备碳纳米管传感器和碳纳米管传感器的方法
公开(公告)号：KR1020160080674A
公开(公告)日：2016-07-08
申请号：KR1020140193372
申请日：2014-12-30
申请人： 한국과학기술연구원
发明人： 변영태 , 김선호 , 김재성 , 이제행 , 김신근
IPC分类号： H01L29/06 , H01L21/027
CPC分类号： H01L29/0669 , H01L21/0273 , H01L2924/13061
摘要： 본발명은, a) 기판상에절연막을형성하는단계; (b) 상기절연막상의탄소나노튜브흡착영역에격자또는스트라이프형태의포토레지스트패턴을형성하는단계; (c) 상기포토레지스트패턴을따라상기절연막을식각(etching)하는단계; (d) 상기절연막이식각된기판에탄소나노튜브입자를흡착하는단계; (e) 상기탄소나노튜브가흡착된기판표면의포토레지스트패턴을제거하는단계; 및 (f) 상기포토레지스트패턴이제거된상기절연막상에전극을형성하는단계를포함하는탄소나노튜브센서의제조방법및 이에의하여제조된탄소나노튜브센서에관한것이다.
摘要翻译：碳纳米管传感器的制造方法技术领域本发明涉及一种碳纳米管传感器的制造方法以及由此制造的碳纳米管传感器。碳纳米管传感器的制造方法包括以下步骤：（a）在基板上形成绝缘膜; （b）在绝缘膜的碳纳米管吸附区域中形成格子状或条状的光致抗蚀剂图案; （c）根据光致抗蚀剂图案蚀刻绝缘膜; （d）在蚀刻绝缘膜的基板上吸附碳纳米管粒子; （e）除去吸附有碳纳米管的基板表面的光致抗蚀剂图案; 和（f）在除去光致抗蚀剂图案的绝缘膜上形成电极。本发明的目的是提供一种制造碳纳米管传感器和碳纳米管传感器的方法，该碳纳米管传感器能够沿固定方向排列碳纳米管。

8. 发明授权

KR101467921B1 가상 캘리브레이션을 이용하여 고도 측정이 가능한 휴대 단말 및 이를 이용한 고도 측정 방법 有权
标题翻译：使用虚拟校准测量高度的移动设备和方法
公开(公告)号：KR101467921B1
公开(公告)日：2014-12-11
申请号：KR1020130027196
申请日：2013-03-14
申请人： 한국과학기술연구원
发明人： 이택진 , 이석 , 우덕하 , 변영태 , 김재헌 , 이정호 , 신범주 , 김철기 , 전영민 , 김선호
IPC分类号： G01C5/06 , H04B1/40
摘要： 본발명은기존방식과같은네트워크의도움없이사용자단말에탑재되어있는기압센서만을이용하여고도측정이가능하여특히고층건물의실내에서휴대용단말기가위치한정확한층 수정보를취득할수 있는, 가상캘리브레이션을이용하여고도를측정하는방법및 이를수행하도록구성된휴대용단말에관한것이다. 본발명의상기목적은, (a) 위성항법신호를수신하는단계; (b) 상기위성항법에의한사용자의위치추적중 위성항법음영지역으로의진입여부를판단하는단계; (c) 상기위성항법음영지역의시작위치에서의초기고도값과초기기압값을저장하는단계; 및 (d) 상기초기고도값과초기기압값을기초로하여사용자단말의기압센서에의해측정된기압값의변화를통하여사용자의고도를추정하는단계를포함하여이루어지는, 가상캘리브레이션을이용한휴대용단말의고도측정방법을제공함에의하여달성될수 있다.

9. 发明授权

KR101402989B1 기판과의 결합력이 향상된 탄소나노튜브 기반 전계효과트랜지스터 소자의 제조방법 및 이에 의하여 제조된 탄소나노튜브 기반 전계효과트랜지스터 소자 有权
标题翻译：基于碳纳米管的场效应晶体管和基于碳纳米管的场效应晶体管的制备方法
公开(公告)号：KR101402989B1
公开(公告)日：2014-06-11
申请号：KR1020130067285
申请日：2013-06-12
申请人： 한국과학기술연구원
发明人： 변영태 , 김선호 , 전영민 , 김은경 , 김재성 , 우덕하
IPC分类号： H01L21/336 , H01L29/78
CPC分类号： H01L51/0003 , H01L51/0026 , H01L51/0048 , H01L51/0508 , H01L51/0545 , Y10S977/742 , H01L29/0669 , H01L21/324
摘要： The present invention relates to a method of fabricating a carbon nanotube-based field effect transistor having improved adhesive strength with respect to a substrate, and the carbon nanotube-based field effect transistor fabricated thereby. The method of fabricating the carbon nanotube-based field effect transistor includes the steps of: forming an oxide layer on a substrate; forming a photoresist pattern on the oxide layer; forming a metal layer on an entire surface of a sample including a photoresist pattern; a lift-off step of removing the photoresist; absorbing a carbon nanotube on the substrate without the photoresist; performing heat treatment for the substrate in which the carbon nanotube is absorbed; and removing the metal layer. According to the present invention, since adhesive strength between the substrate and the carbon nanotube is improved, stability and reliability of a field effect transistor may be improved. When the field effect transistor is applied to a liquid sensor, a life of the sensor may extend and the reliability with respect to a result measured using the sensor may be improved.
摘要翻译：本发明涉及一种制造相对于基板具有改善的粘合强度的碳纳米管系场效应晶体管的方法，以及由此制造的基于碳纳米管的场效应晶体管。制造基于碳纳米管的场效应晶体管的方法包括以下步骤：在衬底上形成氧化物层; 在所述氧化物层上形成光致抗蚀剂图案; 在包括光致抗蚀剂图案的样品的整个表面上形成金属层; 去除光致抗蚀剂的剥离步骤; 在没有光刻胶的基板上吸收碳纳米管; 对其中吸收碳纳米管的基板进行热处理; 并去除金属层。根据本发明，由于提高了基板和碳纳米管之间的粘合强度，因此可以提高场效应晶体管的稳定性和可靠性。当场效应晶体管被施加到液体传感器时，传感器的寿命可以延长，并且可以提高使用传感器测量的结果的可靠性。

10. 发明公开

KR1020140065589A 마이크로플루이딕 표지입자의 집합적 영상 처리에 의한 유체의 속도분포 산출 방법 및 장치와, 이 방법을 수행하는 프로그램을 기록한 컴퓨터로 판독 가능한 기록 매체 有权
标题翻译：方法和装置通过采用微波跟踪器颗粒的集合成像和计算机可读记录介质来测量速度曲线，程序执行方法
公开(公告)号：KR1020140065589A
公开(公告)日：2014-05-30
申请号：KR1020120130423
申请日：2012-11-16
申请人： 한국과학기술연구원
发明人： 전명석 , 전지훈 , 우덕하 , 전영민 , 김선호 , 변영태
IPC分类号： G01P5/00 , G01N15/14
CPC分类号： G01N15/14 , G01N2015/0003 , G01P5/00 , G06T1/0007
摘要： Disclosed are a device and a method for promptly and accurately calculating the speed distribution of a fluid by collectively processing image data obtained by photographing the flow within a microfluidic channel having distracted fluorescent tracer particles of thin concentration, and a computer readable recording medium for recording a program to perform the method. The device and the method of the present invention can supply a suspended fluid having the distracted tracer particles to the microfluidic channel, obtain multiple sets of image data including one or multiple particle traces during the exposure time of a camera through the observation using a fluorescent microscope, and very promptly and accurately calculate the speed distribution of the fluid by collectively processing the obtained image data. The calculated speed distribution of the fluid can provide very important information associated with the flow control, the distraction control, the separation and/or the analysis.
摘要翻译：公开了通过共同处理通过拍摄具有分散的浓度较小的荧光示踪剂颗粒的微流体通道内的流动获得的图像数据及用于记录液体的计算机可读记录介质，来迅速准确地计算流体的速度分布的装置和方法程序来执行该方法。本发明的装置和方法可以将具有分散的示踪剂颗粒的悬浮液体提供给微流体通道，通过使用荧光显微镜的观察在相机的曝光时间期间获得多组图像数据，包括一个或多个颗粒轨迹并且通过集中处理所获得的图像数据非常及时且准确地计算流体的速度分布。流体的计算速度分布可以提供与流量控制，牵引力控制，分离和/或分析相关联的非常重要的信息。

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