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    • 6. 发明公开
    • 역-도통 전력 반도체 디바이스
    • 反向导电功率半导体器件
    • KR1020130100144A
    • 2013-09-09
    • KR1020137007778
    • 2011-09-29
    • 에이비비 슈바이쯔 아게
    • 라히모무나프아놀드마르틴스샤스니토마스
    • H01L29/74
    • H01L29/747H01L29/0692H01L29/0834H01L29/7416H01L29/7428H01L29/744
    • 제1 메인 측면(11), 및 제1 메인 측면(11)에 평행하게 배열되는 제2 메인 측면(15)을 구비한 웨이퍼(10)를 포함하는 역-도통 전력 반도체 디바이스(1)가 제공된다. 본 디바이스는 복수의 다이오드 셀(96)과 복수의 IGCT 셀(91)을 포함하며, IGCT 셀 각각은 제1 및 제2 메인 측면(11, 15) 사이에 다음의 순서의 레이어들: - 캐소드 전극(2), - 제1 도전형의 제1 캐소드 레이어(4), - 제2 도전형의 베이스 레이어(6), - 제1 도전형의 드리프트 레이어(3), - 제1 도전형의 버퍼 레이어(8), - 제2 도전형의 제1 애노드 레이어(5), 및 - 제1 애노드 전극(25)을 포함한다. IGCT 셀(91) 각각은 제1 캐소드 레이어(4)에 횡으로 배열되고 베이스 레이어(6)에 의해 제1 캐소드 레이어(4)로부터 분리되는 게이트 전극(7)을 더 포함한다. 다이오드 셀(96) 각각은 제1 메인 측면(11)에 제2 애노드 전극(28), 제2 도전형의 제2 애노드 레이어(55), 및 제2 메인 측면(15)에 제1 도전형의 제2 캐소드 레이어(45)를 포함하는데, 제2 애노드 전극(28)은 제2 도전형의 제2 애노드 레이어(55)에 접촉되고, 제2 도전형의 제2 애노드 레이어(55)는 드리프트 레이어(3)에 의해 베이스 레이어(6)로부터 분리되며, 제1 도전형의 제2 캐소드 레이어(45)는 제1 애노드 레이어(5)와 교대로 배열된다. 본 디바이스는 적어도 하나의 결합부(99)를 포함하는데, 여기서 다이오드 셀들(96)의 제2 애노드 레이어들(55)은 IGCT 셀들(91)의 제1 캐소드 레이어들(4)과 교호한다.
    • 7. 发明公开
    • 전력 반도체 디바이스
    • KR1020120103655A
    • 2012-09-19
    • KR1020127016187
    • 2010-12-14
    • 에이비비 슈바이쯔 아게
    • 라히모무나프
    • H01L29/10H01L29/74H01L29/744H01L29/08
    • H01L29/74H01L29/0839H01L29/102H01L29/744H01L2924/13023
    • 4 층 구조 npnp 구조 및 캐소드 측 (11) 과 캐소드 측 (11) 과 반대편에 배치된 애노드 측 (12) 을 갖는 전력 반도체 디바이스 (1) 는 게이트 전극 (4) 을 통하여 턴오프될 수 있다. 층들은 캐소드 측 (11) 의 캐소드 전극 (2) 과 애노드 측 (12) 의 애노드 전극 (3) 사이에서: 측방향 에지에 의해 둘러싸인 중심 영역을 갖는 제 1 도전형의 캐소드 층 (5) 으로서, 캐소드 층 (5) 은 캐소드 전극 (2) 과 직접 전기적으로 접촉하는, 캐소드 층 (5), 제 2 도전형의 베이스 층 (6), 캐소드 층 (5) 보다 낮은 도핑 농도를 갖는 제 1 도전형의 드리프트 층 (7), 및 애노드 전극 (3) 과 전기적으로 접촉하는 제 2 도전형의 애노드 층 (8) 의 순서로 배치된다. 게이트 전극 (4) 은 캐소드 전극 (2) 에 대해 측방향으로 캐소드 측 (11) 에 배치되며 게이트 전극 (4) 은 베이스 층 (6) 과 전기적으로 접촉한다. 베이스 층 (6) 은 캐소드 층 (5) 의 중심 영역과 접촉하는 적어도 하나의 제 1 층 (61) 을 연속층으로서 포함한다. 상기 캐소드 층 (5) 의 측방향 에지와 상기 베이스 층 (6) 사이의 접합에서의 저항이 감소되는 저항 감소 층 (10, 10´, 10˝) 은 제 1 층 (61) 과, 캐소드 측 (11) 의 캐소드 층 사이에 배치되며, 캐소드 층 (5) 의 측방향 에지를 커버하며, 저항 감소 층 (10, 10´, 10˝) 은 제 2 도전형 (10´) 으로 이루어지고 제 1 층 (61) 보다 높은 도핑 농도를 갖거나 제 1 도전형 (10˝) 으로 이루어지고 캐소드 층 (5) 보다 낮은 도핑 농도를 갖지만 드리프트 층 (7) 보다 높은 도핑 농도를 갖는다.
    • 9. 发明授权
    • 사이리스터 및 그 제조방법
    • 사이리스터및그제조방법
    • KR100934829B1
    • 2009-12-31
    • KR1020080014100
    • 2008-02-15
    • 에스케이하이닉스 주식회사
    • 장명식
    • H01L29/74
    • A thyristor and a manufacturing method thereof are provided to reduce a dimension of a semiconductor device and to simplify a manufacturing process by using a thyristor manufactured by a P+ poly gate DRAM cell process. A plurality of isolation films(106) is formed on a top part of a P-type sub substrate(102), and defines an N-type well(104), an anode region, and a cathode region. A P-type polysilicon(114) and a gate material layer are successively deposited and etched on a whole surface of the cathode region. A gate(120) in which one side of the P-type polysilicon is exposed is formed. An ion layer is formed on a top part of the anode region. A spacer film(122) is deposited and etched on a whole surface of the ion layer and the gate of the cathode region. An N-type polysilicon(130) is connected to the exposed P-type polysilicon and the exposed gate material layer.
    • 提供晶闸管及其制造方法,以通过使用由P +多晶硅栅DRAM单元工艺制造的晶闸管来减小半导体器件的尺寸并且简化制造工艺。 多个隔离膜(106)形成在P型子衬底(102)的顶部上,并且限定N型阱(104),阳极区域和阴极区域。 P型多晶硅(114)和栅极材料层被连续沉积并蚀刻在阴极区域的整个表面上。 形成其中暴露P型多晶硅的一侧的栅极(120)。 离子层形成在阳极区域的顶部。 在离子层的整个表面和阴极区域的栅极上沉积并蚀刻隔离膜(122)。 N型多晶硅(130)连接到暴露的P型多晶硅和暴露的栅极材料层。