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1. 发明授权

KR102414946B1 광원의 빔스팟을 검출하기 위한 방법 및 장치 有权
公开(公告)号：KR102414946B1
公开(公告)日：2022-07-04
申请号：KR1020200066191
申请日：2020-06-02
IPC分类号： G01Q60/58 , G01Q10/02 , G01Q90/00
摘要： 본발명은열감지탐침을이용하여특정공간의열분포를측정하기위한방법, 광원의빔스팟을검출하기위한방법및 장치를제공함에있다. 본발명의일 실시예에따른방법은, 특정공간의열분포를측정하기위한방법으로서, 온도변화를측정할수 있는열감지탐침을상기특정공간내에서선형적으로이동시키는단계; 및상기이동시키는단계동안상기열감지탐침으로부터얻어지는연속적인온도변화값을이용하여상기특정공간의열분포를산출하는단계; 를포함한다. 본발명의열감지탐침을이용하여특정공간의열분포를측정하기위한방법, 광원의빔스팟을검출하기위한방법및 장치에따르면, 열감지탐침으로작은공간내의온도분포를맵핑할수 있고, 이를이용하여빔스팟을정확히검출할수 있다.

2. 发明授权

KR102473562B1 자동 주사 탐침 현미경 시스템에서의 정밀 프로브 위치 有权
公开(公告)号：KR102473562B1
公开(公告)日：2022-12-06
申请号：KR1020167026636
申请日：2015-02-24
IPC分类号： G01Q10/02 , G01Q10/06 , G01Q30/06
摘要： 주사탐침현미경(SPM) 시스템및 관련방법에관한것으로, 주사탐침현미경시스템은, 상기샘플의나노스케일피쳐들과상호작용하고타겟영역을스캐닝하여상기타겟영역의 3차원영상을구현하기위하여적용된프로브를포함하고, 상기스템은샘플-특정좌표계에따라상기샘플의이격된영역에서복수의관심피쳐들각각에대한위치정보를유지하고, 여기서, 상기 SPM 시스템은, SPM 좌표계에따라샘플에대한프로브의포지셔닝을조절하기위하여구비되며, 상기 SPM 시스템은샘플-특정좌표계및 SPM 좌표계사이의일련의정렬에러를결정하여상기 SPM 좌표계에보정을가하여상기정렬에러를상쇄시키도록구비됨으로서샘플-특정좌표계및 상기 SPM 좌표계사이의동적관계를조절한다.

3. 发明授权

KR101722007B1 계측 프로브 및 계측 프로브를 구성하는 방법 有权
标题翻译：如何配置度量衡探针和度量衡探针
公开(公告)号：KR101722007B1
公开(公告)日：2017-03-31
申请号：KR1020117029876
申请日：2010-05-28
申请人： 더 리서치 파운데이션 오브 더 스테이트 유니버시티 오브 뉴욕
发明人： 초프라하르쉬딥 , 암스트롱제이슨엔 , 후아종루
IPC分类号： G01Q10/02 , B82Y35/00 , G01Q10/04 , G01Q70/02
CPC分类号： G01Q10/02 , G01Q10/04 , G01Q70/02
摘要： 나노또는서브나노미터치수의각 샘플의광범위한물리적특성을측정할수 있는계측프로브가제공된다. 프로브는프로브본체, 프로브본체에연결된기판, 및기판에근접한팁을포함한다. 프로브는전기적입력을갖는코어스압전엑추에이터를더 포함한다. 코어스피에조는제 1 전기신호가전기적입력에제공되었을때 팁및/또는기판이서로상대이동되도록구성된다. 프로브는코어스피에조의전기적입력과전기통신하는저역통과필터를더 포함한다. 상기프로브는제 2 전기신호가전기적입력에제공되었을때 팁및/또는기판이상대이동되게하도록구성된전기적입력을갖는미세압전액추에이터를더 포함한다.
摘要翻译：提供量测探针以测量纳米或亚纳米尺寸的每个样品的各种物理性质。探针包括探针主体，耦合到探针主体的衬底以及靠近衬底的顶端。探针还包括具有电输入的粗糙压电致动器。粗压电元件被构造成使得当第一电信号被提供给电输入端时尖端和/或基底相对于彼此移动。探针还包括与聚结压电器的电输入端电通信的低通滤波器。探针还包括微型压电致动器，该微型压电致动器具有被配置为当第二电信号被提供给电输入时引起尖端和/或基底异常的电输入。

4. 发明公开

KR850700273A 정밀 주사형 전자 현미경 측정을 위한 방법 및 장치 失效
公开(公告)号：KR850700273A
公开(公告)日：1985-12-26
申请号：KR850700317
申请日：1985-11-20
IPC分类号： G01B11/02 , G01B15/00 , G01B21/02 , G01D18/00 , G01N23/00 , G01N23/203 , G01N23/225 , G01Q10/02 , G01Q10/06 , G01Q30/02 , H01J37/28 , H01L21/66
摘要： 내용없음

5. 发明公开

KR1020160146679A 자동 주사 탐침 현미경 시스템에서의 정밀 프로브 위치 审中-实审
标题翻译：自动扫描探针显微系统中的精密探针放置
公开(公告)号：KR1020160146679A
公开(公告)日：2016-12-21
申请号：KR1020167026636
申请日：2015-02-24
申请人： 브루커 나노, 인코퍼레이션.
发明人： 오스본제이슨 , 밀리건에릭 , 로페즈엔드류 , 우로버트 , 핸드션 , 포노버로브,블라디미르
IPC分类号： G01Q10/02 , G01Q10/06 , G01Q30/06
CPC分类号： G01Q10/02 , G01Q10/065 , G01Q30/06
摘要： 주사탐침현미경(SPM) 시스템및 관련방법에관한것으로, 주사탐침현미경시스템은, 상기샘플의나노스케일피쳐들과상호작용하고타겟영역을스캐닝하여상기타겟영역의 3차원영상을구현하기위하여적용된프로브를포함하고, 상기스템은샘플-특정좌표계에따라상기샘플의이격된영역에서복수의관심피쳐들각각에대한위치정보를유지하고, 여기서, 상기 SPM 시스템은, SPM 좌표계에따라샘플에대한프로브의포지셔닝을조절하기위하여구비되며, 상기 SPM 시스템은샘플-특정좌표계및 SPM 좌표계사이의일련의정렬에러를결정하여상기 SPM 좌표계에보정을가하여상기정렬에러를상쇄시키도록구비됨으로서샘플-특정좌표계및 상기 SPM 좌표계사이의동적관계를조절한다.
摘要翻译：扫描探针显微镜（SPM）系统及相关方法。所述SPM系统具有适于与样本的纳米尺度特征相互作用以及在目标区域内扫描以产生所述目标区域的三维图像的探针，所述系统根据所述样本维持所述样本感兴趣的多个特征的位置信息特定于样本的坐标系，其中所述SPM系统被配置为根据SPM坐标系来调整所述探针相对于所述样本的定位，所述SPM系统还被配置为管理所述样本特定坐标系和所述SPM之间的动态关系通过确定样本特定坐标系和SPM坐标系之间的一组对准误差来对坐标系进行校正，并对SPM坐标系进行校正以偏移所确定的对准误差。

6. 发明公开

KR1020120106337A 염기서열분석을 위한 시스템 및 분석 방법 无效
标题翻译： DNA测序系统及方法
公开(公告)号：KR1020120106337A
公开(公告)日：2012-09-26
申请号：KR1020110024395
申请日：2011-03-18
申请人： 나노칩스 (주)
发明人： 이종진 , 최민정
IPC分类号： G06F19/22 , G06F19/24 , G01Q10/02
CPC分类号： G06F19/22 , G01Q10/02 , G06F17/30539 , G06F17/30575 , G06F19/10 , G06F19/12 , G06F19/14 , G06F19/24 , G06F19/34 , G06F19/707 , G16H50/50 , G16H50/70
摘要： PURPOSE: A system and a method for analyzing a DNA which uses STM are provided to analyze a base sequence of DNA by using STM(Scanning Tunneling Microscope) or SET(Single Electron Transistor). CONSTITUTION: A DNA(Deoxyribo-Nucleic Acid) is arranged on a flat plate. A location of a probe is initialized. One end of the DNA approaches the probe by using a positioner. A signal is obtained by scanning one end of the DNA to a wide area. A scanning area is determined from a signal of a corresponding location. The signal is obtained by scanning the determined minute area. [Reference numerals] (AA) Locating DNA on a flat plate in a straight line type; (BB) Initialization a location of a probe; (CC) Accessing one end of DNA by using a positioner; (DD) Obtaining scanning-signal obtaining; (EE) Determining DNA type analysis and minute scanning area; (FF) Obtaining minute scanning-signal; (GG) Analyzing a base sequence and DNA type; (HH) Completing analysis of the entire part; (II) Storing the base sequence; (JJ) End; (KK) Storing the base sequence and determining the next minute scanning area; (LL) Scanning available area?; (MM) Initializing a probe location; (NN) Accessing the last scanning area to the probe by using the positioner; (OO) Scanning a macro area-obtaining a signal; (PP) Analyzing the base sequence and the DNA type; (QQ) Comparing the stored base sequence and the base sequence of a macro area and recognizing the last scanning area; (RR) Determining the next scanning area
摘要翻译：目的：提供一种用于分析使用STM的DNA的系统和方法，以通过使用STM（扫描隧道显微镜）或SET（单电子晶体管）分析DNA的碱基序列。构成：将DNA（脱氧核糖核酸）设置在平板上。探测器的位置被初始化。 DNA的一端通过使用定位器接近探针。通过将DNA的一端扫描到广泛的区域来获得信号。根据相应位置的信号确定扫描区域。通过扫描确定的微小区域获得信号。（附图标记）（AA）在直线型平板上定位DNA; （BB）初始化探针的位置; （CC）通过使用定位器来访问DNA的一端; （DD）获取扫描信号; （EE）确定DNA类型分析和微扫描区域; （FF）获取分钟扫描信号; （GG）分析碱基序列和DNA类型; （HH）整个部分的完成分析; （二）存储基序列; （JJ）结束; （KK）存储基本序列并确定下一分钟扫描区域; （LL）扫描可用区域？（MM）初始化探针位置; （NN）使用定位器访问探头的最后一个扫描区域; （OO）扫描宏区域 - 获取信号; （PP）分析碱基序列和DNA类型; （QQ）比较存储的基本序列和宏区域的基本序列并识别最后的扫描区域; （RR）确定下一个扫描区域

7. 发明公开

KR1020120037395A 계측 프로브 및 계측 프로브를 구성하는 방법 有权
标题翻译：计量探针和配置计量探针的方法
公开(公告)号：KR1020120037395A
公开(公告)日：2012-04-19
申请号：KR1020117029876
申请日：2010-05-28
申请人： 더 리서치 파운데이션 오브 더 스테이트 유니버시티 오브 뉴욕
发明人： 초프라하르쉬딥 , 암스트롱제이슨엔 , 후아종루
IPC分类号： G01Q10/02 , B82Y35/00 , G01Q10/04 , G01Q70/02
CPC分类号： G01Q10/02 , G01Q10/04 , G01Q70/02 , B82Y35/00
摘要： 나노 또는 서브나노미터 치수의 각 샘플의 광범위한 물리적 특성을 측정할 수 있는 계측 프로브가 제공된다. 프로브는 프로브 본체, 프로브 본체에 연결된 기판, 및 기판에 근접한 팁을 포함한다. 프로브는 전기적 입력을 갖는 코어스 압전 엑추에이터를 더 포함한다. 코어스 피에조는 제 1 전기 신호가 전기적 입력에 제공되었을 때 팁 및/또는 기판이 서로 상대 이동되도록 구성된다. 프로브는 코어스 피에조의 전기적 입력과 전기 통신하는 저역 통과 필터를 더 포함한다. 상기 프로브는 제 2 전기 신호가 전기적 입력에 제공되었을 때 팁 및/또는 기판이 상대 이동되게 하도록 구성된 전기적 입력을 갖는 미세 압전 액추에이터를 더 포함한다.

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