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1. 发明公开

KR1020080039721A 온도 측정 방법 및 그 시스템 无效
标题翻译：测量温度及其系统的方法
公开(公告)号：KR1020080039721A
公开(公告)日：2008-05-07
申请号：KR1020060107402
申请日：2006-11-01
申请人： 엘지전자 주식회사
发明人： 류호철 , 박진무
IPC分类号： G01Q60/58 , G01K7/00 , B82Y35/00
CPC分类号： G01Q60/58 , G01K7/015 , G01Q70/04
摘要： A temperature measuring method and system are provided to measure surface temperature of a nano-scale near-field storage pickup lens according to laser diode power quantitatively. A temperature measuring method comprises the steps of: measuring voltage values generated by a probe(10) of a scanning thermal microscope in advance according to predetermined temperature variation, and setting pre-measured voltage values as reference voltage values; measuring the voltage values varied according to surface temperature of a sample with the probe of the scanning thermal microscope; and deciding the temperature of the sample using the measured voltage values and the reference voltage values.
摘要翻译：提供了一种温度测量方法和系统，用于定量地测量纳米级近场存储拾取透镜的表面温度。温度测量方法包括以下步骤：根据预定的温度变化预先测量由扫描热显微镜的探头（10）产生的电压值，并将预测电压值设置为参考电压值; 使用扫描热显微镜的探头测量根据样品的表面温度而变化的电压值; 以及使用测量的电压值和参考电压值来确定样品的温度。

2. 发明授权

KR102091082B1 피코와트 열분해능 주사열현미경용 열저항탐침 제작방법 有权
公开(公告)号：KR102091082B1
公开(公告)日：2020-03-19
申请号：KR1020180058975
申请日：2018-05-24
申请人： 인천대학교 산학협력단
发明人： 김경태 , 구승희
IPC分类号： G01Q60/58 , G01Q70/12

3. 发明授权

KR101682998B1 나노 박막의 두께 방향 열전도도 측정 방법 有权
标题翻译：计算纳米级薄膜的横截面热导率的方法
公开(公告)号：KR101682998B1
公开(公告)日：2016-12-07
申请号：KR1020150106117
申请日：2015-07-27
申请人： 재단법인 파동에너지 극한제어 연구단 , 한국기계연구원
发明人： 김덕종 , 김재현 , 이학주
IPC分类号： G01N25/18 , G01K17/00 , G01K13/00 , G01Q60/58
摘要： 본발명의일 실시예는기판상에나노박막을배치하는단계; 상기나노박막을주사탐침열현미경(scanning thermal microscope, SThM)의탐침(thermoelectric probe)으로가열하는단계; 상기탐침에높이방향의변위가발생하면, 상기탐침으로부터상기나노박막으로전달된열량과, 상기탐침과접촉하고있던상기나노박막의일 면상의온도를산출하는단계; 및상기탐침으로부터상기나노박막으로전달된열량및 상기탐침과접촉하고있던상기나노박막의일 면상의온도를이용하여, 상기나노박막의두께방향열전도도를측정하는단계;를포함하는, 나노박막의두께방향열전도도측정방법을개시한다.

4. 发明授权

KR102414946B1 광원의 빔스팟을 검출하기 위한 방법 및 장치 有权
公开(公告)号：KR102414946B1
公开(公告)日：2022-07-04
申请号：KR1020200066191
申请日：2020-06-02
IPC分类号： G01Q60/58 , G01Q10/02 , G01Q90/00
摘要： 본발명은열감지탐침을이용하여특정공간의열분포를측정하기위한방법, 광원의빔스팟을검출하기위한방법및 장치를제공함에있다. 본발명의일 실시예에따른방법은, 특정공간의열분포를측정하기위한방법으로서, 온도변화를측정할수 있는열감지탐침을상기특정공간내에서선형적으로이동시키는단계; 및상기이동시키는단계동안상기열감지탐침으로부터얻어지는연속적인온도변화값을이용하여상기특정공간의열분포를산출하는단계; 를포함한다. 본발명의열감지탐침을이용하여특정공간의열분포를측정하기위한방법, 광원의빔스팟을검출하기위한방법및 장치에따르면, 열감지탐침으로작은공간내의온도분포를맵핑할수 있고, 이를이용하여빔스팟을정확히검출할수 있다.

5. 发明公开

KR1020170123410A 토포그래피 신호 및 옵션 신호 획득 방법, 장치 및 이를 구비하는 원자 현미경 审中-实审
标题翻译：获取地形信号和可选信号的方法和设备以及原子传感器
公开(公告)号：KR1020170123410A
公开(公告)日：2017-11-08
申请号：KR1020160052471
申请日：2016-04-28
申请人： 파크시스템스 주식회사
发明人： 안정훈 , 노한얼 , 조용성
IPC分类号： G01Q10/04 , G01Q20/02 , G01Q60/58 , G01Q60/60 , G01Q60/30
摘要： 본발명은매 지점마다정지된상태에서토포그래피신호및 옵션신호를얻음으로써신호들로부터얻어지는이미지의신뢰성을높일수 있는토포그래피신호및 옵션신호획득방법, 장치및 이를구비하는원자현미경에관한것이다. 본발명의일 실시예에따른측정대상표면에대한토포그래피신호및 옵션신호획득방법은, 팁을가진캔틸레버를사용하여측정대상의표면에대한토포그래피신호 (topography signal) 및옵션신호 (option signal) 를얻기위한방법이다. 상기방법은, 상기측정대상을일정위치에정지시킨상태로상기캔틸레버를사용하여특정지점의토포그래피신호를얻는, 토포그래피신호획득단계; 상기토포그래피신호획득단계후 상기캔틸레버와상기측정대상간을 Z 방향으로떨어뜨리는, 리프팅단계; 상기리프팅단계후 옵션신호를얻는, 옵션신호획득단계; 및상기측정대상및 상기캔틸레버중 적어도하나를 XY 방향으로이동시키는, 이동단계; 를포함하며, 상기토포그래피신호획득단계, 상기리프팅단계, 상기옵션신호획득단계및 상기이동단계가연속하여적어도 2회반복된다.
摘要翻译：本发明涉及到的原子力显微镜，其包括依次在每个拓扑的每个点处，有利于通过获得地形信号和在一个固定的我们的信号和任选的信号采集的方法，装置和该任选的信号从所述信号获得的图像的可靠性。示例性地形信号和用于测量根据示例对象表面的可选信号采集方法中，所述对象的表面的形貌信号以使用悬臂具有尖端（地形信号），并且在本发明的可选信号（选项信号）来测量这是一种方式来获得。地形信号获取步骤，在测量目标停止在预定位置的同时，使用悬臂在特定点处获得地形信号; 在地形信号采集步骤之后，将悬臂和测量对象在Z方向上下降的提升步骤; 在提升步骤之后获得选项信号; 并且在X方向和Y方向上移动待测量物体和悬臂中的至少一个; 其中地形信号采集步骤，提升步骤，选择信号采集步骤和移动步骤连续重复至少两次。

6. 发明公开

KR1020120132771A 주사탐침열현미경 및 이를 이용한 온도 프로파일링 방법 有权
标题翻译：扫描热显微镜和温度分析方法使用相同
公开(公告)号：KR1020120132771A
公开(公告)日：2012-12-10
申请号：KR1020110051103
申请日：2011-05-30
申请人： 고려대학교 산학협력단
发明人： 권오명 , 정재훈 , 김경태 , 황광석
IPC分类号： G01Q60/58 , G01K13/12
CPC分类号： G01Q60/58
摘要： PURPOSE: A scanning probe heat microscope and a temperature method of profiling using the same are provided to consecutively measure temperature distribution in case of changing heat transfer performance of a surface. CONSTITUTION: A driving mechanism unit controls scanning height location in order to drive a probe in a contact mode and a non-contact mode. The contact mode is a state where the edge of the probe is contacted with a sample. The non-contact mode is a state where the edge of the probe is isolated from the sample. A control unit controls a driving power unit(10) and the driving mechanism unit in the contact mode and the non-contact mode. A sample temperature measuring unit(20) measures the temperature of the sample from a thermal voltage generated from the sample.
摘要翻译：目的：提供扫描探针热显微镜和使用该扫描探针热显微镜的温度分析方法，以在表面改变传热性能的情况下连续测量温度分布。构成：驱动机构单元控制扫描高度位置，以便以接触模式和非接触模式驱动探头。接触模式是探针的边缘与样品接触的状态。非接触模式是探针的边缘与样品隔离的状态。控制单元在接触模式和非接触模式下控制驱动力单元（10）和驱动机构单元。样品温度测量单元（20）根据从样品产生的热电压来测量样品的温度。

7. 发明授权

KR101130223B1 주사탐침열현미경을 이용한 정량적 온도 및 열전도도 계측방법 有权
标题翻译：使用扫描热显微镜的定量温度和热导率测量方法
公开(公告)号：KR101130223B1
公开(公告)日：2012-04-12
申请号：KR1020090058290
申请日：2009-06-29
申请人： 고려대학교 산학협력단
发明人： 권오명 , 김경태
IPC分类号： G01Q60/58 , G01N25/18
CPC分类号： G01Q60/58 , G01N25/18
摘要： 본 발명은 나노스케일(nano scale)의 해상력을 가지고 시편을 주사(scanning)하여 시편의 열적 특성 등을 이미지로 나타내는 주사탐침열현미경 및 이를 이용한 정량적 온도 및 열전도도 계측방법에 관한 것이다. 특히 본 발명은 주사탐침열현미경의 탐침이 시편에 접촉된 상태에서 상기 시편을 주사하여 상기 시편의 온도(즉, 접촉모드 온도)을 계측하는 단계와; 상기 주사탐침열현미경의 탐침이 상기 시편으로부터 유격된 높이에 따라서 복수 회 상기 시편을 주사하여 상기 시편의 온도(즉, 리프트모드 온도)를 계측하는 단계와; 상기 복수 회의 리프트모드 온도으로부터 외삽법에 의해, 상기 유격된 높이가 '0'인 보간 온도를 산출하는 단계와; 상기 접촉모드 온도과 상기 보간 온도의 비교에 의해, 국부 정량적 온도 및 열전도도를 획득하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 주사탐침열현미경 및 이를 이용한 정량적 온도 및 열전도도 계측방법을 제시한다.
주사탐침열현미경, 탐침, 온도

8. 发明授权

KR102102637B1 토포그래피 신호 및 옵션 신호 획득 방법, 장치 및 이를 구비하는 원자 현미경 有权
公开(公告)号：KR102102637B1
公开(公告)日：2020-04-22
申请号：KR1020160052471
申请日：2016-04-28
申请人： 파크시스템스 주식회사
发明人： 안정훈 , 노한얼 , 조용성
IPC分类号： G01Q10/04 , G01Q20/02 , G01Q60/58 , G01Q60/60 , G01Q60/30

9. 发明公开

KR20180030684A 서멀 맵을 생성하기 위한 방법 및 근접장 서멀 현미경용 서멀 프로브 审中-公开
标题翻译：用于生成近场热显微镜的热图和热探针的方法
公开(公告)号：KR20180030684A
公开(公告)日：2018-03-23
申请号：KR20187004880
申请日：2016-07-15
申请人： NEDERLANDSE ORGANISATIE VOOR TOEGEPAST NATUURWETENSCHAPPELIJK ONDERZOEK TNO
发明人： SADEGHIAN MARNANI HAMED , BIJSTER ROY JACOBUS FRANCISCUS
IPC分类号： G01K17/20 , G01N25/18 , G01Q60/58
CPC分类号： G01Q60/58 , G01K17/00 , G01K2213/00 , G01N25/18 , G01Q70/06
摘要： 샘플인터페이스(1)의서멀맵(M)를생성하기위한방법및 서멀프로브. 적어도하나이상의프로브팁(11, 12)을갖는스캐닝서멀현미경(100)이제공된다. 프로브팁들(11, 12)은상기샘플인터페이스(1)에대해근접장거리(D1)에서스캐닝된다. 열플럭스(heat flux) 데이터(H)는상기샘플인터페이스(1)에대한프로브팁(11)의상대적인위치(X, Y)의함수로기록된다. 상기서멀맵(M)은상기샘플인터페이스(1)에서의상기프로브팁(11)의공간적으로분해된열 플럭스프로파일(P)에기반하여기록된열 플럭스데이터(H)로부터계산된다. 상기열 플럭스프로파일(P)은상기프로브팁(11)의정점(11a)에대한상기샘플인터페이스(1)를가로지르는측면거리(R)에서의국부최대를갖는다.
摘要翻译：一种用于生成样本界面（1）的热图（M）的方法和热探针。现在提供具有至少一个探针尖端（11,12）的扫描热显微镜（100）。探针尖端11和12在相对于样本前接口1的近距离D1处被扫描。热通量数据H被记录为探针尖端11相对于样本界面1的位置（X，Y）的函数。根据在上采样接口1中针对探针尖端11的空间分辨热通量分布P写入的热通量数据H来计算热图M。热通量分布P在横跨样品接口1到错误探针尖端11的真实点11a的横向距离R处具有局部最大值。

10. 发明授权

KR101240399B1 주사탐침열현미경 및 이를 이용한 온도 프로파일링 방법 有权
标题翻译：扫描热显微镜和温度分析方法使用相同
公开(公告)号：KR101240399B1
公开(公告)日：2013-03-11
申请号：KR1020110051103
申请日：2011-05-30
申请人： 고려대학교 산학협력단
发明人： 권오명 , 정재훈 , 김경태 , 황광석
IPC分类号： G01Q60/58 , G01K13/12
CPC分类号： G01Q60/58
摘要： 본 발명은 시편을 주사(scanning)하여 시편의 정량적 온도, 열적 특성 등을 프로파일링할 수 있는 주사탐침열현미경 및 이를 이용한 온도 프로파일링 방법에 관한 것이다. 특히, 본 발명은 시편을 주사할 수 있는 첨단을 갖는 탐침; 상기 탐침 첨단이 활성모드로 구동될 수 있도록 상기 탐침 첨단을 가열하는 구동 전원부; 상기 탐침 첨단이 상기 시편에 접촉된 상태인 접촉모드 및 상기 시편으로부터 유격된 상태인 비접촉모드로 각각 구동될 수 있도록 상기 탐침 첨단 높이 위치를 제어하는 구동 기구부; 상기 탐침 첨단이 활성모드 또는 비 활성모드로 구동되어 접촉모드, 비접촉모드에서 각각 시편을 주사할 수 있도록 상기 구동 전원부 및 상기 구동 기구부를 제어하는 제어부; 상기 시편의 주사로 인해 상기 탐침 첨단에 생성된 열전전압으로부터 상기 시편의 온도를 계측하는 시편 온도 계측부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 주사탐침열현미경 및 이를 이용한 온도 프로파일링 방법을 제시할 수 있다.

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