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1. 发明授权

KR102406398B1 오픈 마스크 시트의 개구홀 가공장치 및 이를 이용한 오픈 마스크 시트의 개구홀 가공방법 有权
公开(公告)号：KR102406398B1
公开(公告)日：2022-06-09
申请号：KR1020220032814
申请日：2022-03-16
IPC分类号： B23K26/362 , B23K26/06 , B23K26/0622 , C23F4/00 , C23C14/04 , G02B13/22 , G02B26/08
摘要： 본발명은마스크프레임에접합된마스크시트에박막공정으로적층된입자가통과하는대면적의개구홀을가공하는오픈마스크시트의개구홀가공장치에있어서, 상부와둘레면은밀폐되고하부는개방된케이스부; 상기케이스부의일측에구비되며상기마스크시트로조사되는레이저빔을생성하여출사하는레이저부; 상기레이저부와이격되게상기케이스부의중앙에구비되어상기레이저부에서출사되는레이저빔을상기마스크시트방향으로편향시키는레이저절곡부; 상기레이저절곡부와연결되며상기레이저절곡부를회전시켜상기레이저부에서출사되는레이저빔을상기마스크시트에서직선방향으로전후로이동시키는레이저절곡부회전수단; 상기케이스부에연결되며상기케이스부를이동시키는케이스부이동수단; 상기케이스부(110)의상부에연결되며상기케이스부를회전시키는케이스부회전수단; 및상기레이저부, 상기레이저절곡부회전수단, 및상기케이스부이동수단과연결되며, 상기오픈마스크시트의개구홀의형상에따라상기레이저부와상기레이저절곡부회전수단, 상기케이스부이동수단및 상기케이스부회전수단의동작을제어하는제어부를포함하는오픈마스크시트의개구홀가공장치및 이를이용한오픈마스크시트의개구홀가공방법을제공한다.따라서, 레이저부에서출사되는레이저빔을마스크시트방향으로편향시키는레이저절곡부를회전시킴으로써개구홀의직선부를순차적으로가공할수 있고, 레이저절곡부를회전시키면서레이저절곡부와레이저부가구비되는케이스부를이동시키면서회전시킴으로써개구홀의라운드면을원활하게가공할수 있다.

2. 发明授权

KR102286360B1 에칭 처리 장치, 에칭 처리 방법 및 검출기 有权
公开(公告)号：KR102286360B1
公开(公告)日：2021-08-05
申请号：KR1020207004246
申请日：2019-02-08
IPC分类号： H01L21/67 , C23F4/00 , G01B11/06
摘要： 에칭에있어서의처리중의웨이퍼의막두께·깊이측정에서는광원의광량요동, 광이통과하는영역의공기의요동등에의해서검출광량에변동이발생하고, 막두께·깊이의측정정밀도가저하하기때문에, 에칭처리중의각 시각에측정하는분광스펙트럼으로부터임의의파장의총광량또는평균광량을산출하고, 현시각보다과거에측정한총광량또는평균광량을이용해서추정되는현시각의추정총광량또는추정평균광량을산출하고, 현시각의총광량과추정총광량의비, 또는평균광량과추정평균광량의비인변화율을산출하고, 산출한변화율을이용해서현시각의각 파장의광량을보정하고, 보정한각 파장의광량을이용해서막두께·깊이측정을실시한다.

3. 发明授权

KR102245171B1 BtoB 커넥터 핀의 부분도금방법 有权
公开(公告)号：KR102245171B1
公开(公告)日：2021-04-27
申请号：KR1020180135274
申请日：2018-11-06
申请人： 대성하이피(주)
发明人： 박용복
IPC分类号： C25D5/12 , C25D5/02 , C25D5/48 , C25D7/00 , C23F4/00 , H01R13/03
摘要： 본개시내용은 BtoB 커넥터에설치되는접속핀을도금하는방법에관한것으로, 보다상세하게는접속핀전체를도금하지않고일부만을도금하는부분도금방법에관한것이다. 본개시내용의일 실시예에의하면, BtoB 커넥터접속핀을도금하는부분도금방법에있어서, BtoB 커넥터접속핀을니켈로도금하는니켈도금단계와, 상기니켈도금후 상기접속핀이 BtoB 커넥터와결합되는제1접촉부및 제2접촉부영역에부분분사도금공정을통해금으로도금하는제1금도금단계와, 상기접속핀이보드에실장되는단자부영역을금으로도금하는제2금도금단계를포함하는것을특징으로한다.

4. 发明授权

KR102181676B1 은 나노입자가 매립된 구리 기재 및 이의 제조 방법 有权
公开(公告)号：KR102181676B1
公开(公告)日：2020-11-24
申请号：KR20200005456
申请日：2020-01-15
申请人： JO OK RAE
发明人： KIM SUNG HOON , KIM DO YUL , JO OK RAE , KIM HONG JE , KIM TAE HYUNG
IPC分类号： H01B1/02 , C23C26/00 , C23F1/18 , C23F1/34 , C23F4/00 , H01F1/04 , H01F27/28
摘要： 본발명은은 나노입자가매립된구리기재에대한것으로, 표면상에공극이형성된구리기재; 및상기공극을통해입자의일부또는전부가상기구리기재내로매립되어있는은 나노입자;를포함하는것을특징으로한다. 상기은 나노입자가매립된구리기재는상기공극에은 나노입자의일부또는전부가매립되어있어구리기재상에은이막 형태로형성되는것과비교했을때 분리가될 수있는가능성이감소되어지속적으로전기전도도의향상및 내구성이우수한구리기재를제공할수 있다.

5. 发明授权

KR101985031B1 유도성 커플링된 플라즈마 에칭 반응기에 대한 가스 분배 샤워헤드 有权
公开(公告)号：KR101985031B1
公开(公告)日：2019-05-31
申请号：KR1020137035183
申请日：2012-05-16
申请人： 램 리써치 코포레이션
发明人： 강마이클 , 패터슨알렉스 , 켄워시이안,제이.
IPC分类号： C23C16/455 , H01L21/3065 , C23F4/00

6. 发明授权

KR101916946B1 레이저-에칭 접합 장치 및 이를 이용한 접합 방법 有权
公开(公告)号：KR101916946B1
公开(公告)日：2018-11-12
申请号：KR1020160133577
申请日：2016-10-14
申请人： 재영솔루텍 주식회사 , 에이티아이 주식회사
发明人： 최병찬 , 최용철 , 장진호 , 최호경 , 송영훈 , 안두백 , 김학권 , 박순 , 윤병휘
IPC分类号： B29C45/14 , B29C65/00 , B23K26/359 , C23F4/00 , B23K26/362
摘要： 본발명의일 실시예는레이저-에칭을이용한접합장치에관한것이다. 본발명의일 실시예에따르면, 에칭액이담길수 있는화학조; 및상기에칭액이담겨있는상기화학조에위치하는금속대상체의적어도일 표면에레이저빔을조사하여하나이상의홈부를포함하는패턴을형성하는레이저부;를포함하며, 상기패턴이형성된상기금속대상체는금형에인서트되고, 상기금속대상체가인서트된 상기금형에수지대상체가주입되고, 주입된상기수지대상체는상기패턴에주입되어, 상기금속대상체와상기수지대상체가접합되는, 레이저-에칭을이용한접합장치를제공한다.

7. 发明公开

KR20180015483A 절삭성이 향상된 소우 와이어 및 그 제조방법 审中-公开
标题翻译：具有优良机械加工性的锯线及其制造方法
公开(公告)号：KR20180015483A
公开(公告)日：2018-02-13
申请号：KR20160099060
申请日：2016-08-03
IPC分类号： B23D61/18 , B23D57/00 , B23K26/364 , B23P15/28 , C23F4/00 , C25D5/48
摘要： 본발명의절삭성이향상된소우와이어는탄소(C) 0.7 ~ 1.5 중량% 를포함하며, 선경이 0.03mm 내지 0.4mm로이루어진와이어; 상기와이어에는, 플라즈마장치또는레이저장치를통해상기와이어를표면에칭하여형성된에칭홈; 이마련되는것은특징으로하는것이며, 본발명의절삭성이향상된소우와이어제조방법은탄소(C) 0.7 ~ 1.5 중량% 를포함하며, 선경이 0.4mm 내지 0.03mm로이루어진와이어준비단계; 상기와이어를플라즈마장치또는레이저장치로표면에칭하여, 상기와이어에에칭홈을형성하는표면에칭단계;를포함하는것을특징으로하는것이다.
摘要翻译：锯线和切割性能在本发明中得到改进包括碳（C）按重量计0.7〜1.5％时，金属丝直径是由0.03毫米至0.4mm; 该金属丝具有等离子体蚀刻装置或通过激光蚀刻装置形成的槽的金属丝的表面上; 这将是相关的前额，其特征在于，切割性能被改善了本发明的锯线的制造方法包括：碳（C）按重量计0.7〜1.5％时，金属丝直径的准备阶段由为0.4mm至0.03毫米; 称为用等离子体装置或激光设备中的金属丝的表面，一个表面蚀刻以形成金属线的刻蚀沟槽;它包括：a。

8. 发明公开

KR1020170128439A 제어 가능한 비-휘발성 금속 제거를 위한 시스템 및 방법 审中-实审
标题翻译：用于可控非挥发性金属去除的系统和方法
公开(公告)号：KR1020170128439A
公开(公告)日：2017-11-22
申请号：KR1020177028768
申请日：2016-03-01
申请人： 베리안 세미콘덕터 이큅먼트 어소시에이츠, 인크.
发明人： 첸,성-리앙 , 슈미그,벤자민 , 앤트히스,제프리더블유. , 길크리스트,글렌
IPC分类号： C23F1/12 , C23F4/00 , C23F1/08
CPC分类号： C23F1/12 , B05B12/02 , B05B15/00 , B05B17/00 , C23C16/0236 , C23C18/1295 , C23F4/00 , H01J37/32449 , H01J37/32834 , H01L21/67248 , H01L21/67253
摘要： 제어되는방식으로기판으로부터금속을제거하기위한시스템및 방법이개시된다. 시스템은, 챔버내로의가스들의흐름을가능하게하기위한하나이상의가스주입구들이구비된챔버, 챔버로부터가스들을배출하기위한적어도하나의배출펌프, 및챔버의온도를수정할수 있는가열기를포함한다. 일부실시예들에있어서, 하나이상의가스들이제 1 온도에서챔버내로도입된다. 이러한가스들의원자들이제거가능화합물을형성하기위하여기판의표면상의금속과화학적으로반응한다. 그런다음, 가스들은, 기판의표면상에제거가능화합물을남기고챔버로부터배출된다. 그런다음, 챔버의온도는제거가능화합물의승화온도보다더 큰제 2 온도까지상승된다. 이러한증가된온도는제거가능화합물이가스상이되어챔버로부터배출되는것을가능하게한다.
摘要翻译：公开了一种以受控方式从衬底去除金属的系统和方法。系统中，存在将可以修改至少一个排放泵，并且提供用于使气体的流动到含有开口的腔室中的腔室的用于排出，所述一个或多个气体入口室，气体从腔室的温度。在一些实施例中，现在将一种或多种气体在一个温度下引入腔室中。这些气体的原子与基底表面上的金属发生化学反应，形成可去除的化合物。然后将气体从腔室排出，在基底表面留下可除去的化合物。然后将腔室的温度升高至大于可除去化合物的升华温度的第二温度。该增加的温度使得可移除化合物成为气态从腔室排出成为可能。

9. 发明授权

KR101733574B1 패턴이 형성된 금속기판 제조방법 및 이를 이용해 제조된 패턴이 형성된 금속기판 有权
标题翻译：制造具有图案和金属基板的金属基板的方法和使用的图案
公开(公告)号：KR101733574B1
公开(公告)日：2017-05-24
申请号：KR1020160135899
申请日：2016-10-19
申请人： 한국조폐공사
发明人： 김명용 , 변경준
IPC分类号： C23C10/04 , C23F4/00 , C23C4/01 , C25D5/02 , C23C18/16 , C23C24/02 , B21D17/02 , B22F3/02
CPC分类号： B21D17/02 , B22F3/02 , C23C4/01 , C23C10/04 , C23C18/16 , C23C24/02 , C23F4/00 , C25D5/02
摘要： 본발명은종래도금방식또는기계적인결합을이용하는방법에비해외력에의한균열, 마모및 박리를방지할수 있는패턴이형성된금속기판제조방법에관한것으로, 금속기판(100)의상부에패턴을형성하는패턴형성단계, 상기금속기판(100)에형성된상기패턴을따라패턴층(200)을형성하는패턴층형성단계및 상기패턴층형성단계를거친금속기판(100)을열처리하는열처리단계를포함하되, 상기패턴층(200)을형성하는금속의확산계수는상기금속기판(100)을형성하는금속의확산계수보다큰 것을특징으로한다.
摘要翻译：本发明涉及一种制造金属基板的方法，与传统的电镀方法或使用机械结合的方法相比，其上形成有图案以防止由外力引起的破裂，磨损和剥落。沿着在金属基板100上形成的图案形成图案层200的图案形成步骤和对经过图案层形成步骤的金属基板100进行热处理的热处理步骤，形成图案层200的金属的扩散系数大于形成金属基板100的金属的扩散系数。

10. 发明授权

KR101726768B1 빛의 투과를 이용하는 표시물 제조방법 有权
标题翻译：一种使用光传输制造显示器的方法
公开(公告)号：KR101726768B1
公开(公告)日：2017-04-13
申请号：KR1020170002306
申请日：2017-01-06
申请人： 안일섭
发明人： 안일섭
IPC分类号： C23F1/02 , C23F4/00 , G03F7/20 , B23K26/00
摘要： 본발명은, 금속판(10)의겉면전체에마스크(20)를형성하는제1 공정; 상기금속판(10)의상면마스크(20) 및상기금속판(10)의하면마스크(20)를선택적으로제거하여상기금속판(10)의상면마스크(20) 및상기금속판(10)의하면마스크(20)가해당모양에따라패터닝되도록하는제2 공정; 및식각공정을수행하여상기마스크(20)가제거된부분의금속판(10)이식각되도록해서패터닝에의한해당모양에대응하는다수의구멍(30)을형성하는제3 공정; 을포함하는것을특징으로한다.
摘要翻译：根据本发明，提供了一种制造金属板的方法，包括：在金属板（10）的整个表面上形成掩模（20）的第一步骤; 选择性地去除金属板10的上面罩20和金属板10的掩模20，使得金属板10的上面罩20和金属板10的掩模20 根据糖的形状进行图案化的第二步骤; 第三步骤，通过执行蚀刻工艺，通过图案化形成与该形状对应的多个孔30，从而注入去除了掩模20的部分的金属板10; 和一个控制单元。

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