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1. 发明授权

KR101456995B1 자기 센서 제조 有权
标题翻译：磁传感器制造
公开(公告)号：KR101456995B1
公开(公告)日：2014-10-31
申请号：KR1020130026714
申请日：2013-03-13
申请人： 시게이트 테크놀로지 엘엘씨
发明人： 헤,칭 , 정,원준 , 코빙턴,윌리엄마크 , 키프,토마스마크 , 첸,용후아
IPC分类号： G01R33/09 , G01R33/00
CPC分类号： G01R33/0052 , G01R33/093 , G01R33/098 , G11B5/23 , G11B5/232 , G11B5/3133 , G11B5/3143 , G11B5/3163 , Y10T29/49043 , Y10T29/49044
摘要： 자기 센서는 제 1 실드 및 제 2 실드 및 제 1 및 제 2 실드 사이의 센서 스택을 포함하고, 센서 스택은 복수의 층들을 갖고, 여기서 적어도 하나의 층은 인-시츄 급속 열 어닐링을 사용하여 어닐링된다. 자기 센서의 일 구현에서, 시드층은 인-시츄 급속 열 어닐링을 사용하여 어닐링된다. 대안적으로, 배리어 층, AFM 층 및 캡 층 중 하나는 인-시츄 급속 열 어닐링을 사용하여 어닐링된다.

2. 发明授权

KR101036124B1 개선된 ＭＲＡＭ 터널 접합들을 위한 나노결정층들 有权
标题翻译：用于改善MRAM隧道结的纳米晶层
公开(公告)号：KR101036124B1
公开(公告)日：2011-05-23
申请号：KR1020057003506
申请日：2003-07-24
申请人： 에버스핀 테크놀러지스, 인크.
发明人： 슬레이터,존,엠. , 데이브,레누,더블유. , 썬,지준.
IPC分类号： H01F10/08 , G11B5/39 , G11C11/15 , B82Y40/00
CPC分类号： B82Y25/00 , B82Y40/00 , H01F10/3254 , H01F10/3268 , H01F10/3272 , H01F41/302 , Y10T29/49044
摘要： 개선되고 새로운 자기 소자(100)의 장치 및 제조 방법으로, 구체적으로 말하면 이후 층들의 나노결정 성장을 제공하는 결정학적으로 무질서한 시드층(120) 및/또는 템플릿층(122), 피닝층(124), 피닝된 층(125), 및 고정된 층(126)을 포함하는 자기 소자가 개시된다.
시드층, 템플릿층, 피닝, 자기 소자

3. 发明公开

KR20070093799A PERPENDICULAR MAGNETIC RECORDING HEAD AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME 审中-公开
标题翻译：全能磁记录头及其制造方法
公开(公告)号：KR20070093799A
公开(公告)日：2007-09-19
申请号：KR20070003724
申请日：2007-01-12
申请人： HITACHI GLOBAL STORAGE TECH
发明人： OKADA TOMOHIRO , NUNOKAWA ISAO , ETOH KIMITOSHI , KUSUKAWA KIKUO
IPC分类号： G11B5/127
CPC分类号： G11B5/3163 , G11B5/1278 , G11B5/3116 , G11B5/315 , Y10T29/49021 , Y10T29/49032 , Y10T29/49043 , Y10T29/49044 , Y10T29/49046 , Y10T29/49048 , Y10T29/49052
摘要： A perpendicular magnetic recording head and a manufacturing method therefor are provided to manage gap length at a trailing side of a trailing shield or a trailing side shield of the magnetic head for perpendicular record at high accuracy and record magnetization information in a magnetic recording medium at high recording density. A main pole(12) has an etching signal layer(16) in its upper part. An upper part and a side part of the main pole(12) are coated by a non-magnetic gap layer(17). The non-magnetic gap layer(17) is abraded just before the etching signal layer(16). The non-magnetic gap layer(17) is etched until a signal due to the etching signal layer(16) is detected by an etching signal detecting device. A trailing shield is formed on the non-magnetic gap layer(17) after the non-magnetic gap layer(17) is etched.
摘要翻译：提供一种垂直磁记录头及其制造方法，以高精度管理用于垂直记录的磁头的后屏蔽或后侧屏蔽的后侧的间隙长度，并将高磁记录介质中的磁化信息记录在高记录密度。主极（12）在其上部具有蚀刻信号层（16）。主极（12）的上部和侧部由非磁隙层（17）涂覆。在蚀刻信号层（16）之前，非磁隙层（17）被磨损。蚀刻非磁隙层（17），直到由蚀刻信号层（16）产生的信号被蚀刻信号检测装置检测到。在非磁隙层（17）被蚀刻之后，在非磁隙层（17）上形成尾部屏蔽。

4. 发明授权

KR100660539B1 자기 기억 소자 및 그 형성 방법 失效
公开(公告)号：KR100660539B1
公开(公告)日：2006-12-22
申请号：KR1020040059812
申请日：2004-07-29
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 변경래 , 조성래
IPC分类号： G11C11/15
CPC分类号： H01L43/12 , G11C11/16 , H01L27/228 , H01L43/08 , Y10T29/49043 , Y10T29/49044 , Y10T29/49046 , Y10T29/49048 , Y10T29/49052 , Y10T29/49155
摘要： 자기 기억 소자 및 그 형성 방법을 제공한다. 이 소자는 기판 상에 형성된 하부 절연막 상에 배치된 디지트 라인, 및 중간 절연막을 개재하여 디지트 라인 상에 배치된 자기 터널 접합 유닛을 포함한다. 상부 절연막을 개재하여 자기 터널 접합 유닛 상에 비트 라인이 배치된다. 비트 라인은 디지트 라인을 가로지른다. 자기 집속부는 디지트 라인 및 비트 라인 중에 선택된 적어도 하나의 양측벽에 형성된 스페이서를 포함한다. 상기 집속부는 강자성체로 이루어진다.

5. 发明授权

KR100592355B1 자기 판독 헤드 내의 스핀 밸브 센서용 확장 자유층 失效
公开(公告)号：KR100592355B1
公开(公告)日：2006-06-22
申请号：KR1020037008626
申请日：2001-12-19
申请人： 에이취지에스티 네덜란드 비.브이.
发明人： 피나바시무스타파
IPC分类号： G11B5/39
CPC分类号： B82Y25/00 , B82Y10/00 , G11B5/3903 , G11B2005/3996 , Y10T29/49021 , Y10T29/49032 , Y10T29/49036 , Y10T29/49043 , Y10T29/49044
摘要： A spin valve sensor is provided with a negative ferromagnetic coupling field -H FC for properly biasing a free layer and a spin filter layer is employed between the free layer and a capping layer for increasing the magnetoresistive coefficient dr/R of the spin valve sensor. A top portion of the free layer is oxidized for improving the negative ferromagnetic coupling field -H FC when the spin filter layer is employed for increasing the magnetoresistive coefficient dr/R.

6. 发明授权

KR100570110B1 정자기 안정화 소프트 근접층을 가진 오버레이 ＭＲ 구조 失效
标题翻译：具有磁阻稳定的软的相邻层的超结构MR结构
公开(公告)号：KR100570110B1
公开(公告)日：2006-04-12
申请号：KR1020007002994
申请日：1998-09-22
申请人： 시게이트 테크놀로지 엘엘씨
发明人： 딩,주렌 , 슈,송,셍 , 페르난데즈데카스트로,쥬안 , 돌레즈씨,제임스 , 리얀,패트릭,조셉
IPC分类号： G11B5/39
CPC分类号： B82Y25/00 , G01R33/093 , G11B5/3903 , G11B5/3932 , Y10T29/49044
摘要： 본 발명은 근접 접합 구조와 규칙적인 오버레이 구조의 이점을 조합한 자기저항(MR) 센서(100)이다. 근접 접합 설계는 소프트 근접층(SAL)을 사용하고 오버레이 구조는 MR 엘리먼트(120)를 사용한다. MR 센서(100)를 제조하는 방법은 갭층(106)의 상부에 SAL(108)을 증착하고 SAL(108)의 상부에 스페이서 물질(110)을 증착하는 단계를 포함한다. 마스크(130)는 스페이서 물질(110)과 SAL(108)의 중앙 영역 위에 위치한다. 스페이서 물질(110)과 SAL(108)은 마스크(130)로 덮히지 않은 영역에서 제거된다. 하층 물질(112)은 SAL(108)과 스페이서 물질(110)이 제거된 영역에 증착된다. 하드-바이어싱 물질(114)은 하층(112)의 상부에 증착된다. 마스크(130)는 제거되고 MR 엘리먼트(120)는 센서의 능동 영역(132)의 스페이서 물질(110)의 상부와 센서의 수동 영역(134,136)의 하드-바이어싱 물질(114)의 상부에 증착된다. 캡층(122)은 MR 센서(100)의 능동(132) 및 수동 영역(134,136)의 MR 엘리먼트(120)의 상부에 증착된다. 접촉부(124)는 센서의 수동 영역(134,136)의 캡층(122)의 상부에 위치한다. 상기 방법의 다른 실시예에서, 추가 물질이 하드-바이어싱 물질(114)을 분리하기 위해 첨가되며, 이에 따라 신호 대 잡음비가 개선된다. 저-저항 물질(116)은 제 1 하드-바이어싱 물질(114)에 첨가되고 제 2 하드-바이어싱 물질(118)은 저-저항 물질(116)의 상부에 증착된다. 추가 물질은 마스크(130)가 제거되기 전에 증착된다. 일단 마스크9130)가 제거되면, MR 센서(100)는 제 1 실시예에 따라 제조된다.

7. 发明授权

KR100376744B1 저응력 및 저저항인 로듐(Ｒｈ)리드 제조방법 失效
标题翻译： Rh응력저저항인로듐（Rh）리드제조방법
公开(公告)号：KR100376744B1
公开(公告)日：2003-03-19
申请号：KR1020000067198
申请日：2000-11-13
申请人： 인터내셔널 비지네스 머신즈 코포레이션
发明人： 피나르바시무스타파
IPC分类号： G11B5/39
CPC分类号： B82Y10/00 , G11B5/3103 , G11B5/3109 , G11B5/3163 , G11B5/3173 , G11B5/3903 , Y10T29/49032 , Y10T29/49043 , Y10T29/49044 , Y10T29/49067
摘要： A method of making rhodium (Rh) lead layers for a read sensor comprises a first step of obliquely ion beam sputtering the rhodium (Rh) lead layer followed by a second step of annealing. This method results in rhodium (Rh) lead layers which have reduced stress and less resistance, making them highly desirable for lead layers of a sensor in a read head.
摘要翻译：一种制造用于读取传感器的铑（Rh）引线层的方法包括斜向离子束溅射铑（Rh）引线层然后进行第二步退火的第一步骤。该方法产生铑（Rh）铅层，其具有降低的应力和较小的电阻，使得它们非常适用于读取头中的传感器的铅层。

8. 发明授权

KR100376394B1 자기 헤드, 자기 헤드의 제조 방법, 자기 헤드를 포함하는영상 기록 및 재생 장치, 및 자기 헤드를 포함하는 비디오카메라 失效
标题翻译：更多信息，更多信息，更多信息，
公开(公告)号：KR100376394B1
公开(公告)日：2003-03-15
申请号：KR1020000043413
申请日：2000-07-27
申请人： 파나소닉 주식회사
发明人： 마츠카와노조무 , 히라모토마사요시 , 사카키마히로시 , 오사노코이치 , 사와이에이스케
IPC分类号： G11B5/127
CPC分类号： G11B5/1276 , G11B5/0086 , G11B5/1878 , G11B5/40 , G11B31/006 , Y10T29/49021 , Y10T29/49032 , Y10T29/49043 , Y10T29/49044 , Y10T29/49046 , Y10T29/49055
摘要： A magnetic head (100) includes a pair of magnetic core halves (MC1,MC2); and a nonmagnetic layer (N3) provided between the pair of magnetic core halves for combining the pair of magnetic core halves. The pair of magnetic core halves each includes an oxide magnetic base F3A,F3B), at least one underlying layer (UL1) provided on the oxide magnetic base, and a metal magnetic thin film (FM3) provided between the underlying film and the nonmagnetic layer. The metal magnetic thin film includes a magnetic film containing, as a major material, magnetic crystalline particles having an average volume Va and an average surface area Sa fulfilling the relationship of Sa > about 4.84 Va 2/3 . At least one (MC1) of the pair of magnetic core halves has a winding window (21A) therein. The metal magnetic thin film is provided in such a manner as to prevent the oxide magnetic base from cracking due to an internal stress generated in the metal magnetic thin film.
摘要翻译：磁头（100）包括一对半磁芯（MC1，MC2）; 以及设置在该对半磁芯之间用于组合该对半磁芯的非磁性层（N3）。一对磁芯半部分别具有氧化物磁性基体F3A，F3B），设置在氧化物磁性基体上的至少一个基底层（UL1），以及设置在基底膜与非磁性层之间的金属磁性薄膜（FM3）。该金属磁性薄膜包括含有平均体积Va和平均表面积Sa满足关系Sa＆amp; 约4.84 Va 2/3。一对半磁芯中的至少一个（MC1）在其中具有绕组窗口（21A）。提供金属磁性薄膜以防止氧化物磁性基底由于在金属磁性薄膜中产生的内部应力而破裂。

9. 发明公开

KR1020020087640A 자기 터널 접합 소자의 열처리 방법과 그 방법으로 제조된자기 터널 접합 소자 有权
标题翻译：用于磁性隧道连接装置的热绝缘方法和由该方法制造的磁性隧道连接装置
公开(公告)号：KR1020020087640A
公开(公告)日：2002-11-23
申请号：KR1020010026486
申请日：2001-05-15
申请人： 한국과학기술연구원
发明人： 신경호 , 이우영 , 박영준 , 이경일 , 하재근
IPC分类号： G11B5/39
CPC分类号： B82Y25/00 , B82Y40/00 , H01F41/307 , H01L43/12 , Y10T29/49044
摘要： PURPOSE: A magnetic tunnel junction device and a thermal anneal method thereof are provided to improve the TMR(Tunneling Magnetoresistance) rate and optimize the characteristics of the device in a shorter time more effectively by reducing the bent of an oxide layer(Tunnel Barrier Layer). CONSTITUTION: A magnetic tunnel junction device includes an anti-ferromagnetic layer formed of anti-ferromagnetic material, a fixed layer formed on the anti-ferromagnetic layer with a ferromagnetic material, a tunnel barrier layer(16) formed on the fixing layer with an electrically insulating material, and a free layer formed on the tunnel barrier layer with a ferromagnetic material, wherein the magnetic tunnel junction device is subject to rapid thermal anneal by heating at a temperature of 200-400°C for 10sec or less and cooled for 6min or less.
摘要翻译：目的：提供磁隧道结器件及其热退火方法，以通过减少氧化层（隧道屏障层）的弯曲来更有效地提高TMR（隧道磁阻）速率并在更短的时间内优化器件的特性，。构造：磁性隧道结装置包括由反铁磁材料形成的反铁磁层，在具有铁磁材料的反铁磁层上形成的固定层，在电气上形成在固定层上的隧道势垒层（16）绝缘材料和形成在隧道势垒层上的铁磁材料的自由层，其中磁性隧道结装置通过在200-400℃的温度下加热10秒以上并冷却6分钟进行快速热退火，或减。

10. 发明公开

KR1020010030480A 자기 헤드, 그 제조 방법 및 수직 자기 기록 장치 失效
标题翻译：磁头，其制造和垂直磁记录仪
公开(公告)号：KR1020010030480A
公开(公告)日：2001-04-16
申请号：KR1020000055971
申请日：2000-09-23
申请人： 가부시끼가이샤 도시바
发明人： 요다히로아끼 , 다떼야마고오이찌 , 오오이나따유우스께
IPC分类号： G11B5/31
CPC分类号： G11B5/1278 , G11B5/00 , G11B5/012 , G11B5/3106 , G11B2005/0029 , Y10T29/49032 , Y10T29/49043 , Y10T29/49044 , Y10T29/49046 , Y10T29/49048 , Y10T29/49815
摘要： PURPOSE: To provide a magnetic head, the manufacturing method and a magnetic recorder capable of stably doubling a generation magnetic field by accurately controlling the recess amount from a medium opposing surface of a main magnetic pole, an auxiliary magnetic pole, a coil and a return yoke by a fine amount with excellent reproducibility. CONSTITUTION: A magnetic element in a thin film shape is laminated on a thin film provided parallelly to the medium opposing surface and this magnetic head is constituted. Further, the thin film is provided with an opening and formation is performed so as to provide a tip part extended to the opening on a part of the main magnetic pole. In such a manner, the recess amount from the medium opposing surface of the magnetic element in the thin film shape is highly accurately controlled and the projection amount of the main magnetic pole tip part is also extremely finely and precisely controlled by the film thickness of the thin film simultaneously. As a result, recording magnetic field strength at the main magnetic pole tip part is increased to an ultimate value and the head capable of performing recording to the medium of high holding power coping with high density is provided.
摘要翻译：目的：提供一种磁头，制造方法和磁记录器，其能够通过从主磁极，辅助磁极，线圈和回路的介质相对表面精确地控制凹陷量来稳定地加倍发电磁场轭具有极好的重现性。构成：将薄膜状的磁性元件层叠在与介质相对面平行设置的薄膜上，构成该磁头。此外，薄膜设置有开口，并且进行结构以提供延伸到主磁极的一部分上的开口的尖端部分。以这种方式，从薄膜形状的磁性元件的介质相对表面的凹陷量被高度精确地控制，并且主磁极尖端部分的突出量也被非常精细和精确地控制，薄膜同时。结果，将主磁极尖端部分的磁场强度提高到最终值，并且提供能够以高密度对高保持力的介质进行记录的头部。

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