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1. 发明授权

KR100570110B1 정자기 안정화 소프트 근접층을 가진 오버레이 ＭＲ 구조 失效
标题翻译：具有磁阻稳定的软的相邻层的超结构MR结构
公开(公告)号：KR100570110B1
公开(公告)日：2006-04-12
申请号：KR1020007002994
申请日：1998-09-22
申请人： 시게이트 테크놀로지 엘엘씨
发明人： 딩,주렌 , 슈,송,셍 , 페르난데즈데카스트로,쥬안 , 돌레즈씨,제임스 , 리얀,패트릭,조셉
IPC分类号： G11B5/39
CPC分类号： B82Y25/00 , G01R33/093 , G11B5/3903 , G11B5/3932 , Y10T29/49044
摘要： 본 발명은 근접 접합 구조와 규칙적인 오버레이 구조의 이점을 조합한 자기저항(MR) 센서(100)이다. 근접 접합 설계는 소프트 근접층(SAL)을 사용하고 오버레이 구조는 MR 엘리먼트(120)를 사용한다. MR 센서(100)를 제조하는 방법은 갭층(106)의 상부에 SAL(108)을 증착하고 SAL(108)의 상부에 스페이서 물질(110)을 증착하는 단계를 포함한다. 마스크(130)는 스페이서 물질(110)과 SAL(108)의 중앙 영역 위에 위치한다. 스페이서 물질(110)과 SAL(108)은 마스크(130)로 덮히지 않은 영역에서 제거된다. 하층 물질(112)은 SAL(108)과 스페이서 물질(110)이 제거된 영역에 증착된다. 하드-바이어싱 물질(114)은 하층(112)의 상부에 증착된다. 마스크(130)는 제거되고 MR 엘리먼트(120)는 센서의 능동 영역(132)의 스페이서 물질(110)의 상부와 센서의 수동 영역(134,136)의 하드-바이어싱 물질(114)의 상부에 증착된다. 캡층(122)은 MR 센서(100)의 능동(132) 및 수동 영역(134,136)의 MR 엘리먼트(120)의 상부에 증착된다. 접촉부(124)는 센서의 수동 영역(134,136)의 캡층(122)의 상부에 위치한다. 상기 방법의 다른 실시예에서, 추가 물질이 하드-바이어싱 물질(114)을 분리하기 위해 첨가되며, 이에 따라 신호 대 잡음비가 개선된다. 저-저항 물질(116)은 제 1 하드-바이어싱 물질(114)에 첨가되고 제 2 하드-바이어싱 물질(118)은 저-저항 물질(116)의 상부에 증착된다. 추가 물질은 마스크(130)가 제거되기 전에 증착된다. 일단 마스크9130)가 제거되면, MR 센서(100)는 제 1 실시예에 따라 제조된다.

2. 发明公开

KR1020010030644A 정자기 안정화 소프트 근접층을 가진 오버레이 ＭＲ 구조 失效
标题翻译：具有静磁稳定软接近层的覆盖MR结构
公开(公告)号：KR1020010030644A
公开(公告)日：2001-04-16
申请号：KR1020007002994
申请日：1998-09-22
申请人： 시게이트 테크놀로지 엘엘씨
发明人： 딩,주렌 , 슈,송,셍 , 페르난데즈데카스트로,쥬안 , 돌레즈씨,제임스 , 리얀,패트릭,조셉
IPC分类号： G11B5/39
CPC分类号： B82Y25/00 , G01R33/093 , G11B5/3903 , G11B5/3932 , Y10T29/49044
摘要： 본발명은근접접합구조와규칙적인오버레이구조의이점을조합한자기저항(MR) 센서(100)이다. 근접접합설계는소프트근접층(SAL)을사용하고오버레이구조는 MR 엘리멘트(120)를사용한다. MR 센서(100)를제조하는방법은갭층(106)의상부에 SAL(108)을증착하고 SAL(108)의상부에스페이서물질(110)을증착하는단계를포함한다. 마스트(130)는스페이서물질(110)과 SAL(108)의중앙영역위에위치한다. 스페이서물질(110)과 SAL(108)은마스크(130)로덮히지않은영역에서제거된다. 하층물질(112)은 SAL(108)과스페이서물질(110)이제거된영역에증착된다. 하드-바이어싱물질(114)은하층(112)의상부에증착된다. 마스크(130)는제거되고 MR 엘리멘트(120)는센서의능동영역(132)의스페이서물질(110)의상부와센서의수동영역(134,136)의하드-바이어싱물질(114)의상부에증착된다. 캡층(122)은 MR 센서(100)의능동(132) 및수동영역(134,136)의 MR 엘리멘트(120)의상부에증착된다. 접촉부(124)는센서의수동영역(134,136)의캡층(122)의상부에위치한다. 상기방법의다른실시예에서, 추가물질이하드-바이어싱물질(114)을분리하기위해첨가되며, 이에따라신호대 잡음비가개선된다. 저저항물질(116)은제 1 하드-바이어싱물질(114)에첨가되고제 2 하드-바이어싱물질(118)은저저항물질(116)의상부에증착된다. 추가물질은마스크(130)가제거되기전에증착된다. 일단마스크9130)가제거되면, MR 센서(100)는제 1 실시예에따라제조된다.

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