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1. 发明公开

KR20180060828A 광 공진기 有权
公开(公告)号：KR20180060828A
公开(公告)日：2018-06-07
申请号：KR20160160777
申请日：2016-11-29
申请人： 주식회사 이오테크닉스
发明人： 지상민 , 구자남
IPC分类号： H01S3/034 , G02B6/255 , H01S3/067
CPC分类号： H01S3/034 , G02B6/255 , H01S3/06754
摘要： 본발명은광 공진기에관한것으로서, 일실시예에따른광 공진기는펌핑광을발생시키는펌핑부, 상기펌핑광을진행시키고상기펌핑광의에너지를흡수하여발생된레이저광을공진시키는광섬유와상기광섬유의양 단부에배치되는제1 반사단과제2 반사단을포함하는광섬유공진부및 일방향을따라연장되고, 중심부에관통홀을구비하며, 상기관통홀에상기광섬유가삽입되는중공형상의광학결합부를포함하며, 상기광학결합부는상기제1 반사단및 상기제2 반사단사이에배치되며, 상기상기제1 반사단및 상기제2 반사단중 어느하나에인접하도록배치될수 있다.

2. 发明公开

KR1020170125060A 레이저 장치 및 극자외광 생성 장치 审中-实审
标题翻译：激光装置和极紫外光发生装置
公开(公告)号：KR1020170125060A
公开(公告)日：2017-11-13
申请号：KR1020177027146
申请日：2016-04-20
申请人： 미쓰비시덴키 가부시키가이샤
发明人： 후나오카고우지 , 나루세마사시
IPC分类号： H01S3/02 , H05G2/00
CPC分类号： H01S3/03 , H01S3/0071 , H01S3/02 , H01S3/034 , H01S3/041 , H01S3/2232 , H01S3/2366 , H05G2/00 , H05G2/008 , H01S3/025 , H05G2/001
摘要： 베이스프레임상에키네마틱마운트를거쳐서증폭장치가탑재되는레이저장치와이것을사용한극자외(EUV) 장치에있어서, 키네마틱마운트의구조에열팽창·수축이생겨도, 광축이변화하지않고, 레이저의품질이악화되는일이없도록한다. 키네마틱마운트(31~33)가 0 자유도, 1 자유도, 및 2 자유도를가지는 3점(O, A, B)으로구성되고, 이들 3점으로구성되는평면에수직인방향에서보아, 레이저광(18)의증폭장치(28)로의입사광축또는증폭장치로부터의사출광축의연장선(SU, CT)이 0 자유도의점(O)을향하고있고, 1 자유도의점(A)의병진방향이 0 자유도의점(O)을향하고있고, 광축의연장선은 1 자유도의점(A)측보다상기 2 자유도의점(B)측을지난다.
摘要翻译：在激光装置和使用该放大装置是通过运动安装在相同的安装在底座上，即使有热膨胀和运动学安装的收缩结构，无需光轴被改变极紫外（EUV）设备，和的激光质量不要让事情变得更糟。运动支座（31至33）是零个自由度，一个自由度，并且由三个点（O，A，B）具有两个自由度，如从一个方向垂直于由这三个点构成的平面观看时，激光自由0自由度之一程度的光（18）和面向所述可疑宽度设备扩展（SU，CT）的28 robuteoui注射光轴入射光轴或放大器零自由度的点（O），这（a）点uibyeongjin方向并且光轴的延长线从一个自由度的点（A）侧通过两个自由度的点（B）。

3. 发明授权

KR101238739B1 레이저 시스템 有权
标题翻译：激光系统
公开(公告)号：KR101238739B1
公开(公告)日：2013-03-04
申请号：KR1020117014864
申请日：2006-10-20
申请人： 사이머 엘엘씨
发明人： 에르쇼프알렉산더아이. , 파틀로윌리엄엔. , 브라운다니엘제이.더블유. , 포멘코프아이고르브이. , 베르그스테츠로버트에이. , 샌드스트롬리차드엘. , 라로빅이반
IPC分类号： H01S3/22 , H01S3/03
CPC分类号： H01S3/225 , G03F7/70583 , H01S3/005 , H01S3/0057 , H01S3/03 , H01S3/034 , H01S3/08036 , H01S3/08059 , H01S3/10092 , H01S3/105 , H01S3/2251 , H01S3/2333
摘要： 제1가스방전 엑시머 또는 분자 플루오르 레이저 챔버, 및 제1오실레이터 캐비티 내의 라인 내로우잉 모듈을 포함하는 레이저 출력 광 빔 펄스를 포함하는 출력을 산출하는 시드 레이저 오실레이터; 레이저 출력 광 빔 펄스를 포함하는 레이저 시스템 출력을 형성하기 위해 시드 레이저 오실레이터의 출력을 수신하고, 시드 레이저 오실레이터의 출력을 증폭하는 제2가스방전 엑시머 또는 분자 플루오르 레이저 챔버 내에 증폭 이득 매체를 포함하는 레이저 증폭 스테이지; 및 링 파워 증폭 스테이지를 포함하는 라인 내로우드 펄스 엑시머 또는 분자 플루오르 가스방전 레이저 시스템을 포함할 수 있는 방법 및 장치가 개시된다.

4. 发明公开

KR1020160019550A 가스 레이저 장치 有权
标题翻译：气体激光器件
公开(公告)号：KR1020160019550A
公开(公告)日：2016-02-19
申请号：KR1020167000971
申请日：2013-12-27
申请人： 미쓰비시덴키 가부시키가이샤
发明人： 다니노요이치 , 니시마에쥰이치 , 야마모토다츠야
IPC分类号： H01S3/034 , H01S3/08 , H01S3/0971 , H01S3/223
CPC分类号： H01S3/038 , H01S3/034 , H01S3/076 , H01S3/0805 , H01S3/0971 , H01S3/10007 , H01S3/2232 , H01S3/2325 , H01S3/2366 , H01S2301/02
摘要： 방전여기된레이저가스를레이저광이통과함으로써광 증폭을실시하는가스레이저장치로서, 레이저광의광축을따라서종렬배치된제 1 방전전극쌍(11, 12) 및제 2 방전전극쌍(13, 14)과, 제 1 방전전극쌍(11, 12)에의해서규정되는제 1 방전영역(21) 및제 2 방전전극쌍(13, 14)에의해서규정되는제 2 방전영역(22)을사이에두도록대향배치되고, 레이저가스에의해서증폭된레이저광을반사하는적어도 2개의미러(43, 44, 45, 46)와, 제 1 방전전극쌍(11, 12)과제 2 방전전극쌍(13, 14)의사이에설치되고, 방전전극의전극면으로부터레이저광의광축을향해서돌출된차폐부재(51)를구비한다. 이러한구성에의해, 간소한구성으로, 기생발진을효율적으로억제할수 있다.
摘要翻译：一种能够执行光放大的激光装置，通过通过放电激发的激光气体的激光，包括：沿着激光的光轴纵向排列的第一和第二对放电电极; 反射由气体激光器放大的激光的至少两个反射镜，彼此相对布置的反射镜，以插入由第一对放电电极限定的第一放电区域和由第二对放电电极限定的第二放电区域; 以及位于所述第一对放电电极和所述第二对放电电极之间的屏蔽部件，所述屏蔽部件从所述放电电极的电极表面朝向所述激光的光轴突出。该结构能够以简单的结构有效地抑制寄生振荡。

5. 发明授权

KR101540459B1 광학접촉 접합을 이용한 레이저용 모노 블록 모듈 및 그 제조방법 有权
标题翻译：使用光学接触的激光单块模块及其制造方法
公开(公告)号：KR101540459B1
公开(公告)日：2015-07-31
申请号：KR1020140055908
申请日：2014-05-09
申请人： 한국광기술원
发明人： 김종섭 , 임정운 , 김정호 , 한수욱 , 이영우 , 김회영
IPC分类号： H01S3/08
CPC分类号： H01S3/0813 , H01L29/7847 , H01S3/034 , H01S3/1317
摘要： 본발명은광학접촉접합을이용한레이저용모노블록모듈에관한것으로서, 표면이평탄한베이스플레이트와, 하우징내에서발생한광을하우징의양측면에노출되게형성된레이저매질을통해출사하며베이스플레이트위에안착된레이저광소스블록과, 레이저광소스블록의레이저매질의일측과대향되는방향에베이스플레이트에안착되어레이저광소스블록에서출사된광을레이저광소스블록을향해다시반사시키는제1미러블록과, 레이저광소스블록의레이저매질의타측과대향되는방향에베이스플레이트에안착되어레이저광소스블록에서출사되는광을일부투과시키는제2미러블록을구비하고, 표면을통해상호밀착되는레이저광소스블록, 베이스플레이트, 제1 및제2미러블록의표면들은접착제없이상호광학접촉에의해접합될수 있게평탄도첨두차및 제곱평균거칠기가설정된조건을갖도록표면처리되고, 열팽창계수가낮은물질로형성되어있다. 이러한광학접촉접합을이용한레이저용모노블록모듈및 그제조방법에의하면, 열팽창계수가낮은소재로광학접촉접합이이루어질수 있게표면처리된광학부품들을단위블록형태로베이스플레이트에일체화할 수있어열적인특성이우수하며, 장시간에걸친레이저광의출력안정성을제공할수 있다.
摘要翻译：本发明涉及一种使用光学接触连接的激光器的单块模块。本发明的单块模块包括：具有平坦表面的基板; 激光光源块，用于通过形成在壳体的两侧的激光介质发射在壳体中产生的光，以暴露并沉降在基板上; 第一反射镜块，其朝向与激光光源块的激光介质的一侧相对的方向沉积在基板中，用于将由激光光源块发射的光朝向激光光源块反射; 以及第二反射镜块，其在与激光光源块的激光介质的另一侧相对的方向上设置在基板上，用于使激光光源块发射的一部分光透射。通过表面彼此靠近的激光光源块，基板，第一镜块和第二镜块的表面被处理为具有设定的平坦度峰值差和设定的平方的条件与没有粘合剂的光学接触件连接的平均粗糙度并且由具有低热膨胀系数的材料制成。根据本发明的使用光学接触连接的激光单块模块及其制造方法，其光表面被处理以进行光接触连接的光学部件与热膨胀系数低的材料可以与基板以单元块的形状一体化，热特性优异，并且可以提供激光输出的延长的稳定性。

6. 发明公开

KR1020110091788A 레이저 시스템 有权
标题翻译：激光系统
公开(公告)号：KR1020110091788A
公开(公告)日：2011-08-12
申请号：KR1020117014864
申请日：2006-10-20
申请人： 사이머 엘엘씨
发明人： 에르쇼프알렉산더아이. , 파틀로윌리엄엔. , 브라운다니엘제이.더블유. , 포멘코프아이고르브이. , 베르그스테츠로버트에이. , 샌드스트롬리차드엘. , 라로빅이반
IPC分类号： H01S3/22 , H01S3/03
CPC分类号： H01S3/225 , G03F7/70583 , H01S3/005 , H01S3/0057 , H01S3/03 , H01S3/034 , H01S3/08036 , H01S3/08059 , H01S3/10092 , H01S3/105 , H01S3/2251 , H01S3/2333
摘要： 제1가스방전 엑시머 또는 분자 플루오르 레이저 챔버, 및 제1오실레이터 캐비티 내의 라인 내로우잉 모듈을 포함하는 레이저 출력 광 빔 펄스를 포함하는 출력을 산출하는 시드 레이저 오실레이터; 레이저 출력 광 빔 펄스를 포함하는 레이저 시스템 출력을 형성하기 위해 시드 레이저 오실레이터의 출력을 수신하고, 시드 레이저 오실레이터의 출력을 증폭하는 제2가스방전 엑시머 또는 분자 플루오르 레이저 챔버 내에 증폭 이득 매체를 포함하는 레이저 증폭 스테이지; 및 링 파워 증폭 스테이지를 포함하는 라인 내로우드 펄스 엑시머 또는 분자 플루오르 가스방전 레이저 시스템을 포함할 수 있는 방법 및 장치가 개시된다.
摘要翻译：种子激光振荡器，用于在第一振荡器腔中产生包括激光输出光束脉冲的输出，所述激光输出光束脉冲包括第一气体放电准分子或分子氟激光腔室和机翼模块; 其中以形成一个激光系统输出，其包括一个光束脉冲接收种子激光振荡器的激光腔中的输出和第二气体排出准分子或分子氟放大增益介质，用于放大种子激光器振荡器的输出激光输出的激光放大阶段; 公开了一种方法和设备，其可以将木材脉冲准分子或分子氟气体放电激光系统包括到包括环形功率放大级的线路中。

7. 发明授权

KR100247314B1 불화물 결정, 광학 제품, 및 불화물 결정의 제조 방법 失效
标题翻译：氟化物晶体，光学文章和生产方法
公开(公告)号：KR100247314B1
公开(公告)日：2000-03-15
申请号：KR1019980011015
申请日：1998-03-30
申请人： 캐논 가부시끼가이샤
发明人： 오바,도모루 , 이찌자끼,도시오
IPC分类号： C01B9/08
CPC分类号： H01S3/034 , C30B11/00 , C30B29/12 , G02B1/02 , G03F7/70958 , H01S3/0979 , H01S3/225
摘要： An object of the present invention is to provide a fluoride crystal having a high transmittance with respect to an excimer laser and an excellent resistance with respect to a high output laser, and a production method thereof. The fluoride crystal of the present invention contains at least one kind of atom selected from the group consisting of Zn, Cd, Pb, Li, Bi and Na with a content of 10 ppm or less, and having an internal transmittance of 70% or more with respect to a 135 nm wavelength light. The method of the present invention of producing a fluoride crystal comprises conducting a refining step of adding a scavenger to a calcium fluoride raw material and refining the raw material at least once, and a crystal growth step of further adding the scavenger to the refined raw material and growing a crystal by using a crucible lowering method, wherein the amount of the scavenger to be added in the first refining step is 0.04 to 0.1 mol % based on the raw material, and the total amount of the scavenger to be added in the subsequent refining steps and the crystal growth step is 10% to 50% based on the amount of the scavenger to be added in the first refining step.

8. 发明授权

KR101404652B1 광섬유 레이저 출력 장치 有权
标题翻译：光纤激光输出装置
公开(公告)号：KR101404652B1
公开(公告)日：2014-06-09
申请号：KR1020130001731
申请日：2013-01-07
申请人： 국방과학연구소
发明人： 조민식 , 유봉안 , 신우진 , 노영철 , 박영호
IPC分类号： H01S3/067
CPC分类号： H01S3/0627 , G02B6/4298 , H01S3/034
摘要： The present invention includes an optical fiber which transmits an optical fiber laser by the total internal reflection, an end cap which is mounted on the output terminal of the optical fiber and has a larger diameter than the optical fiber to reduce the output of the optical fiber laser per unit area, and a ferrule which covers and supports the optical fiber and is made of a metallic material. The ferrule includes a hollow part which receives the optical fiber, an end part which has a larger diameter than the hollow part to place the end cap therein. Provided is an optical fiber laser output apparatus which includes a receiving groove which is interlinked with the hollow part.
摘要翻译：本发明包括通过全内反射传输光纤激光器的光纤，安装在光纤的输出端上并具有比光纤更大的直径的端盖，以减少光纤的输出单位面积的激光，以及覆盖并支撑光纤并由金属材料制成的套圈。套圈包括容纳光纤的中空部分，具有比中空部分更大的直径以将端盖放置在其中的端部。提供了一种光纤激光输出装置，其包括与中空部分相互连接的接收槽。

9. 发明公开

KR1020130111409A 레이저 빔 증폭 장치 有权
标题翻译：用于放大激光束的装置
公开(公告)号：KR1020130111409A
公开(公告)日：2013-10-10
申请号：KR1020130033596
申请日：2013-03-28
申请人： 트룸프 레이저-운트 시스템테크닉 게엠베하
发明人： 요아힘슐츠 , 올리버뮐러
IPC分类号： H01S3/10
CPC分类号： H01S3/10038 , H01S3/034 , H01S3/076 , H01S3/10015 , H01S3/2232
摘要： PURPOSE: A device for amplifying a laser beam is provided to use a transmitting optical member, thereby being simply configured and reducing the quantity of used elements. CONSTITUTION: A device (21) for amplifying a laser beam comprises at least one amplification chamber (22), at least one transmitting optical member (23), and a detection unit (24). The amplification chamber contains a laser-active material in the inside. The transmitting optical member determines the boundary of the amplification chamber and is arranged at a tilt angle with a respect to a plane which is aligned to be perpendicular to the optical axis (26) of a laser beam (10). The detection unit is arranged to detect a laser beam (27) back reflected at the transmitting optical member.
摘要翻译：目的：提供一种用于放大激光束的装置以使用透射光学构件，从而简单地构造并减少了所使用的元件的量。构成：用于放大激光束的装置（21）包括至少一个放大室（22），至少一个透射光学构件（23）和检测单元（24）。放大室内部含有激光活性物质。透射光学部件确定放大室的边界并且相对于垂直于激光束（10）的光轴（26）对准的平面倾斜地布置。检测单元被布置成检测在透射光学构件处反射的反射的激光束（27）。

10. 发明公开

KR1020100116205A 레이저 크리스탈 장치 有权
标题翻译：激光水晶装置
公开(公告)号：KR1020100116205A
公开(公告)日：2010-10-29
申请号：KR1020107019517
申请日：2009-02-18
申请人： 펨토레이저스 프로덕션스 게엠베하
发明人： 아씨온,안드레아스 , 슈팅글,안드레아스 , 토마쉬,알프레드 , 바르무트,크리스티앙
IPC分类号： H01S3/02 , H01S3/10
CPC分类号： H01S3/025 , H01S3/027 , H01S3/034
摘要： 본 발명은, 내부가 환경에 대하여 밀봉되고 기술적으로 순수한 기체를 동작시 레이저 크리스탈(6)을 통과하는 레이저 방사(16)의 통과를 위하여 측벽(12, 13) 내에서 윈도우(12, 13)를 가지면서 기술적으로 순수한 기체를 포함하는 용기(4)를 포함하는 단펄스 레이저를 위한 레이저 크리스탈 장치(1)에 관한 것으로, 윈도우(12, 13)는 레이저 방사(16)의 빔 경로에 대하여 브루스터 각의 경사를 가지며, 레이저 크리스탈(6)을 위한 마운팅부(5)가 용기(4) 내에 제공되며, 윈도우(12, 13)는 브루스터 각의 두 배만큼 서로 경사지며, 레이저 빔의 특성에 따라 레이저 크리스탈(6) 위치로부터 적당한 거리로 배치되며, 윈도우(12, 13)에서의 열화 과정을 방지를 위하여 레이저 크리스탈(6)에서 레이저 빔(16)의 피크 세기에 대하여 충분히 감소된 윈도우에서의 피크 세기를 보장하도록, 윈도우(12, 13)에서의 빔 단면은 충분히 크다.

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