会员体验
专利管家(专利管理)
工作空间(专利管理)
风险监控(情报监控)
数据分析(专利分析)
侵权分析(诉讼无效)
联系我们
交流群
官方交流:
QQ群: 891211   
微信请扫码    >>>
现在联系顾问~
热词
    • 1. 发明授权
    • 프린지 필드 스위칭 모드 액정표시장치용 어레이 기판 및 이의 제조 방법
    • KR101877448B1
    • 2018-07-12
    • KR1020110064733
    • 2011-06-30
    • 엘지디스플레이 주식회사
    • 정영기이석우오금미신동천송인혁이한석박원근
    • G02F1/1343G02F1/136
    • H01L27/088G02F2001/134372G02F2001/136236H01L27/1248H01L27/1288H01L29/66757H01L29/78633
    • 본발명은, 화소영역이정의된기판상의각 화소영역에박막트랜지스터를형성하는단계와; 상기박막트랜지스터위로제 1 보호층을형성하는단계와; 상기제 1 보호층위로공통전극을형성하는단계와; 상기공통전극위로제 2 보호층을형성하는단계와; 상기제 2 보호층위로제 1 두께의보조절연층을형성하는단계와; 상기보조절연층위로제 2 두께를갖는제 1 포토레지스트패턴과상기제 2 두께보다얇은제 3 두께의제 2 포토레지스트패턴을형성하는단계와; 상기제 1 및제 2 포토레지스트패턴외부로노출된상기보조절연층과그 하부의제 2 및제 1 보호층을순차적으로식각하여상기박막트랜지스터의드레인전극을노출시키는드레인콘택홀을형성하는단계와; 애싱을진행하여상기제 2 포토레지스트패턴을제거함으로써상기보조절연층을노출시키는단계와; 건식식각을진행하여상기제 1 포토레지스트외측에위치하는보조절연층을제거함으로써상기제 1 보호층을노출시키며상기제 1 포토레지스트하부에언더컷형태를갖는절연패턴을형성하는단계와; 상기제 1 포토레지스트패턴위로전면에상기제 1 두께보다얇은제 4 두께를갖는투명도전성물질층을형성하는단계와; 상기제 1 포토레지스트패턴과이의상부에위치하는상기투명도전성물질층을동시에제거하는리프트오프를진행함으로써상기절연패턴이형성된부분을개구로하는화소전극을각 화소영역별로형성하는단계를포함하는프린지필드스위칭모드액정표시장치용어레이기판의제조방법및 이에의해제조된프린지필드스위칭모드액정표시장치용어레이기판을제공한다.