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    • 3. 发明授权
    • 유기 발광 다이오드 패널의 화소 검사 장치
    • KR101893820B1
    • 2018-10-04
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    • 주식회사 인스풀
    • 이성남최창식
    • H01L51/56H01L51/00H01L27/32H01L21/67
    • H01L51/56H01L21/67242H01L22/30H01L27/32H01L51/0031
    • 유기발광다이오드패널의화소검사장치가개시된다. 본발명의일 측면에따르면, 유기발광다이오드패널(Organic Light Emitting Diodes Panel)의 RGB 화소결함을검출하기위한유기발광다이오드패널의화소검사장치로서, R 서브픽셀에상응하는제1 가진파장(λ)의빛, G 서브픽셀에상응하는제2 가진파장(λ)의빛 및 B 서브픽셀에상응하는제3 가진파장(λ)의빛을포함하는가진광(excitation light)을 RGB 화소로조사하는가진광 조사부와; 가진광의조사에따라, R 서브픽셀로부터발산되는제1 발산파장(λ)의빛, G 서브픽셀로부터발산되는제2 발산파장(λ)의빛 및 B 서브픽셀로부터발산되는제3 발산파장(λ)의빛을포함하는발산광(emission light)을집광하고확대하는대물렌즈와; 상기가진광 조사부로부터조사되는상기가진광이대물렌즈를향하도록가진광을반사하고, 상기대물렌즈를통과한발산광을통과시키는제1 빔스플리터(beam splitter)와; 상기제1 빔스플리터를통과한상기발산광을통과시키는발산필터(emission filter)와; 상기발산필터를통과한상기발산광을촬영하는비젼부를포함하는, 유기발광다이오드패널의화소검사장치가제공된다.