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    • 5. 发明公开
    • 감광성 수지 조성물, 그로부터 형성된 경화막, 및 경화막을 갖는 소자
    • 感光性树脂组合物,由其形成的固化膜,具有固化膜的装置
    • KR1020170053008A
    • 2017-05-15
    • KR1020150155244
    • 2015-11-05
    • 삼성에스디아이 주식회사
    • 주영재김태수송두리안치원유홍정이지호김우한
    • G03F7/075G03F7/022H01B3/46C09D183/04C08L83/04
    • (A) 하기화학식 1로표시되는실록산화합물; (B) 퀴논디아지드화합물, 및 (C) 용제를포함하는감광성수지조성물로서, 상기화학식 1로표시되는실록산화합물은겔투과크로마토그래피(GPC: Gel Permeation Chromatography)에의해측정한폴리스티렌표준시료환산중량평균분자량이 1,000 g/mole 이상 20,000 g/mole 이하이고, 40℃, 700 psi에서 1 mL/min의흐름속도로측정한 GPC 데이터상 추출후 약 33 분내지약 35분시점부터추출후 약 36 분내지약 38 분시점까지추출되는영역에속하는화합물의양이상기화학식 1로표시되는화합물전체중량대비약 15 중량% 내지약 40 중량%인감광성수지조성물: [화학식 1] (RRRSiO)(RRSiO)(RSiO)(OSi-Y-SiO)(SiO)상기화학식 1에서, R 내지 R, Y, M, D, T1, T2, 및 Q에대한정의는발명의상세한설명에기재된것과같다.
    • (A)由下式(1)表示的硅氧烷化合物; (B)醌二叠氮化合物和(C)溶剂,其中式(1)所示的硅氧烷化合物具有通过凝胶渗透色谱法(GPC)测量的聚苯乙烯标准样品转化重量, 在40℃和700psi下,以1mL /分钟的流速,以1,000g / mole至小于20,000g / mol的流速测量GPC数据。提取后约33分钟至约35分钟,提取后约36分钟 2.根据权利要求1所述的组合物,其中RRRSiO(RRSiO)(RSiO 上述式(1)中R到R,Y,M,D,T1,T2和Q的定义与本发明说明书中所述的相同。