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1. 发明授权

KR101911156B1 엔드 이펙터 장치 有权
公开(公告)号：KR101911156B1
公开(公告)日：2018-10-24
申请号：KR1020167019673
申请日：2014-12-22
申请人： 가와사끼 쥬고교 가부시끼 가이샤
发明人： 후쿠시마다카유키 , 가나마루료스케 , 미야가와다이키
IPC分类号： H01L21/677 , H01L21/67 , H01L21/687
CPC分类号： H01L21/67766 , B25J19/021 , H01L21/67259 , H01L21/67265 , H01L21/67781 , H01L21/68707 , H01L21/68771
摘要： 엔드이펙터장치(1)는, 핸드(3)와, 핸드(3)에설치되고, 복수장의반도체웨이퍼(9)가수평자세이며, 상하로서로간격을두고배치되도록, 복수장의반도체웨이퍼(9)를유지하는복수의유지부(4A)(4B)와, 상하방향으로부터볼 때복수장의반도체웨이퍼(9)의외측에배치되고, 1장마다반도체웨이퍼(9)의주연부에대향한상태로반도체웨이퍼(9)의존재를검출하는것이가능하도록구성된 1개의검출기와, 이 1개의검출기가모든반도체웨이퍼(9)의주연부에대향하도록, 상기 1개의검출기를상하방향으로복수의반도체웨이퍼(9)에상대적으로이동시키는검출기이동기구(6)를구비하고있다.

2. 发明授权

KR101863474B1 엔드 이펙터 및 기판 반송 로봇 有权
公开(公告)号：KR101863474B1
公开(公告)日：2018-05-31
申请号：KR1020167020266
申请日：2014-12-19
申请人： 가와사끼 쥬고교 가부시끼 가이샤
发明人： 후쿠시마다카유키 , 미야가와다이키
IPC分类号： H01L21/677
CPC分类号： H01L21/67781 , H01L21/67766 , H01L21/68707
摘要： 이엔드이펙터(2)는, 복수의블레이드본체(5)와, 복수의블레이드본체(5)의각각의블레이드기단측에설치된기판유지수단(6)을구비한다. 기판유지수단(6)은, 기판의이면가장자리부가올려지는기판재치부와, 기판재치부의블레이드기단측으로부터상방을향해연장되고, 기판의측단부가맞닿는기판접촉부를갖는다. 하측의블레이드본체(5)의기판접촉부의상단과상측의블레이드본체(5)의이면의사이에기판이진입할수 없도록기판접촉부의높이가설정되어있다. 상하방향피치를변경가능한복수의블레이드를구비한엔드이펙터에있어서, 고밀도로탑재된기판을지장없이유지할수 있다.

3. 发明授权

KR101840578B1 기판 처리 방법 및 기판 처리 장치 有权
公开(公告)号：KR101840578B1
公开(公告)日：2018-03-20
申请号：KR1020167022571
申请日：2015-01-07
申请人： 가부시키가이샤 스크린 홀딩스
发明人： 야마모토마사히로
IPC分类号： H01L21/67 , H01L21/304 , H01L21/677
CPC分类号： H01L21/67276 , B08B1/002 , B08B3/04 , B08B9/093 , H01L21/02057 , H01L21/67051 , H01L21/67748 , H01L21/67766 , H01L21/67781 , H01L21/68707
摘要： 이상발생시에있어서의기판처리장치의스루풋저하를방지하는기술을제공한다. 어느레시피가처리유닛에서실행할수 없게되는사상이발생한경우, 발생한사상의종류에따라서는다른레시피이면상기처리유닛에서실행가능한경우가존재한다. 발생사상의종류와실행중의레시피를대체할수 있는대체레시피를미리대응시켜둔다. 이상발생시에는, 실행레시피를다른레시피로교체가능한지, 다른레시피로대체할수 있는경우에는그 레시피가미완료의작업에포함되는지를검토한다. 이들조건이만족되는경우에는, 이후는상기처리유닛에서대체레시피를실행하도록기판처리스케줄을변경한다. 조건이만족되지않은경우에는상기처리유닛에서의기판처리를중지한다. 기판처리장치에있어서의기판처리의중단을가능한한 회피할수 있다.

4. 发明公开

KR1020170038105A 흡인 장치 有权
标题翻译：吸入装置
公开(公告)号：KR1020170038105A
公开(公告)日：2017-04-05
申请号：KR1020177008350
申请日：2016-02-29
申请人： 가부시키가이샤 하모테크
发明人： 이와사카히토시 , 도쿠나가히데유키 , 가사이유지
IPC分类号： H01L21/677 , G02F1/13 , B25J15/00 , B65G49/06
CPC分类号： B25J15/0683 , B65G49/061 , B65G2201/022 , B65G2249/045 , H01L21/67086 , H01L21/67092 , H01L21/67712 , H01L21/67766 , H01L21/67778 , H01L21/67781 , H01L21/6838
摘要： 흡인장치(10)에는선회류형성체(1), 방해판(2) 및선회류형성체(1)와방해판(2)을연결하는연결부재들(3)이제공된다. 방해판(2)은흡인되는부재(W)가선회류형성체(1)에제공되는오목부(12)에들어가는것을저해한다. 연결부재들(3)은단면(13)과방해판(2) 사이에, 유체가오목부(12) 밖으로흐르게하는유로를형성한다.
摘要翻译：现在抽吸装置10设置有用于连接旋流形成部件1，阻塞板2和旋流形成部件1以及溢流板2的连接部件3。阻挡板2防止部件W被吸入而进入设置于旋转部件1的凹部12。连接构件3在端面13和超速驱动板2之间形成流动路径，使得流体流出凹槽12。

5. 发明公开

KR1020160132065A 기판 각도정렬 장치, 기판 각도정렬 방법 및 기판 이송 방법 审中-实审
标题翻译：基板安装装置底板安装方法和底板输送方法
公开(公告)号：KR1020160132065A
公开(公告)日：2016-11-16
申请号：KR1020167027868
申请日：2014-03-25
申请人： 카와사키 주코교 카부시키 카이샤
发明人： 고토,히로히코
IPC分类号： H01L21/677 , H01L21/687
CPC分类号： H01L21/68 , H01L21/67766 , H01L21/67781
摘要： 각도정렬장치(3)가복수의기판(100) 각각을수평상태로상하방향으로배치되도록유지하는복수의유지부(10A~10E)와, 복수의제1 지지부(11A~11E)를포함하는제1 승강체(21A~21E)와, 복수의제2 지지부(12A~12E)를포함하는제2 승강체(22A~22E)를구비한다. 복수의유지부(10A~10E)를일체로회전시켜선택한 1장의기판(100)을각도정렬하고, 각도정렬완료된기판(100)에대응하는제1 지지부(11A~11E)를승강시켜해당기판(100)을상기제1 지지부(11A~11E)로들어올리는일련의각도정렬동작을순차적으로기판을선택하면서반복수행한다. 복수의제2 지지부(12A~12E)를일괄적으로상승시켜복수의제1 지지부(11A~11E) 각각에지지되어있는각도정렬완료된복수장의기판(100Z) 각각을복수의제2 지지부(12A~12E) 각각으로들어올린다.
摘要翻译：钓鱼装置（3）设置有多个保持单元（10A-10E），用于分别保持多个基板（100），以在水平放置的同时沿上/下方向对准基板（100），第一上升体（21A-21E），包括多个第一支撑部分（11A-11E）和包括多个第二支撑部分（12A-12E）的第二上升主体（22A-22E）。一系列的倾斜操作，包括通过使多个保持部分（10A-10E）整体旋转来倾斜一个所选择的基底（100），并且升高与成角度的基底（100）相对应的第一支撑部分（11A-11E），使得基底（100）被第一支撑部分（11A-11E）提升，在连续选择基板的同时重复执行。多个第二支撑部分（12A-12E）同时升高，并且由多个第一支撑部分（11A-11E）支撑的多个倾斜基板（100Z）分别被多个第二支撑部分（12A- 12E）。

6. 发明公开

KR1020160118247A 엔드 이펙터 및 기판 반송 로봇 审中-实审
标题翻译：终端效应器和底板输送机器人
公开(公告)号：KR1020160118247A
公开(公告)日：2016-10-11
申请号：KR1020167020266
申请日：2014-12-19
申请人： 가와사끼 쥬고교 가부시끼 가이샤
发明人： 후쿠시마다카유키 , 미야가와다이키
IPC分类号： H01L21/677
CPC分类号： H01L21/67781 , H01L21/67766 , H01L21/68707 , H01L21/6773 , H01L21/67742
摘要： 이엔드이펙터(2)는, 복수의블레이드본체(5)와, 복수의블레이드본체(5)의각각의블레이드기단측에설치된기판유지수단(6)을구비한다. 기판유지수단(6)은, 기판의이면가장자리부가올려지는기판재치부와, 기판재치부의블레이드기단측으로부터상방을향해연장되고, 기판의측단부가맞닿는기판접촉부를갖는다. 하측의블레이드본체(5)의기판접촉부의상단과상측의블레이드본체(5)의이면의사이에기판이진입할수 없도록기판접촉부의높이가설정되어있다. 상하방향피치를변경가능한복수의블레이드를구비한엔드이펙터에있어서, 고밀도로탑재된기판을지장없이유지할수 있다.
摘要翻译：末端执行器（2）具有多个叶片体（5）和设置在多个叶片体（5）中的每一个叶片近端侧上的基片保持单元（6）。基板保持单元（6）包括基板放置部，基板的底面边缘部分放置在基板放置部分上，基板抵接部分从基板放置部分的刀片基端侧向上延伸，侧基端部的基板抵接。基板抵接部的高度被设定为保持基板不会进入下侧的叶片本体（5）的基板抵接部的上端与叶片本体（5）的底面之间，上方在包括能够在垂直方向上变化的多个叶片的端部执行器中，可以保持高密度地安装的基板而没有问题。

7. 发明公开

KR1020160118244A 엔드 이펙터 및 기판 반송 로봇 审中-实审
标题翻译：终端效应器和底板传送机器人
公开(公告)号：KR1020160118244A
公开(公告)日：2016-10-11
申请号：KR1020167020146
申请日：2014-06-27
申请人： 가와사끼 쥬고교 가부시끼 가이샤
发明人： 하시모토야스히코 , 후쿠시마다카유키 , 가나마루료스케 , 기노시타신야 , 미야가와다이키
IPC分类号： H01L21/677 , H01L21/67 , H01L21/687
CPC分类号： H01L21/67766 , H01L21/67207 , H01L21/67265 , H01L21/67781 , H01L21/68707
摘要： 본엔드이펙터(700)는기판수용부에수용된복수의기판중 최하단기판의하방또는최상단의기판의상방에적어도일부가진입하는핸드기부(701)와, 핸드기부(701)에설치되고, 최하단의기판또는최상단의기판을포함하는 2장이상의기판을지지하기위한기판유지수단(702)과, 최하단의기판또는최상단의기판에대향하는핸드기부(701)의표면을포함하는기준면으로부터의기판유지수단(702)의돌출량을변경하기위한돌출량변경수단(703)을구비한다. 돌출량변경수단(703)은, 기판유지수단(702)의전체에대하여구동력을부여하는단일구동원(706)을갖는다.
摘要翻译：端部执行器（700）具有手基部（701），其至少一部分在最下面的基板之下或在存储在基板存储部分中的多个基板的最上面的基板之上进行，提供基板保持单元（702）（701），以便保持包括最下面的基底或最上面的基底的两个或多个基底，以及用于将基底保持单元（702）的突出量从参考表面包括与最底层或最上层基板相对的手基部（701）的表面。突出量变更部（703）具有向整个基板保持部（702）施加驱动力的单个驱动源（706）。

8. 发明授权

KR101601005B1 오버헤드 이송 시스템용 운송 장치 有权
标题翻译：用于输送系统的传送装置
公开(公告)号：KR101601005B1
公开(公告)日：2016-03-08
申请号：KR1020097013063
申请日：2007-11-27
申请人： 테크-셈 아크티엔게젤샤프트
发明人： 브래트너,자코브 , 페데리시,로돌포
IPC分类号： B65G49/06 , H01L21/677 , H01L21/00 , H01L21/68
CPC分类号： H01L21/67772 , B65H29/003 , B65H2301/31 , B65H2301/323 , B65H2301/44712 , B65H2405/552 , H01L21/67155 , H01L21/67781 , B65H2220/02 , B65H2220/01
摘要： 전자부품또는디스플레이를제조하기위해이용된기판용운송장치(5)가공개된다. 상기운송장치(5)는기판을공정스테이션(4)으로이송하기위해이용되며, 기판운송박스(2)에대해오버헤드이송시스템(1)으로의제 1 공급/배출인터페이스(7) 및공정스테이션(4)에대한제 2 공급/배출인터페이스(26)를포함한다. 제 1 인터페이스(7)는수직방향에대해제 2 인터페이스(26) 위에위치된다. 이송된기판들이운송박스(2) 내에서기판을이송하기위해상호연결된제조플랜트내에서공정스테이션(4)으로이송되도록상대적으로큰 유연성을가진운송장치(5)를제공하기위하여상기운송장치(5)는운송장치(5) 내에배열되는핸들링메커니즘(12)의도움으로운송박스(2) 없이한 인터페이스(7)로부터그 외의다른인터페이스(26)로기판이이송될수 있는수단(24, 25, 27)을포함한다.

9. 发明授权

KR101572300B1 온도 제어 방법, 그 온도 제어 방법을 실행시키기 위한 프로그램을 기록한 기록 매체, 온도 제어 장치 및 열처리 장치 有权
标题翻译：温度控制方法存储介质储存温度控制装置和热处理装置的程序
公开(公告)号：KR101572300B1
公开(公告)日：2015-11-26
申请号：KR1020120087474
申请日：2012-08-09
申请人： 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
发明人： 요시이고지 , 야마구치다츠야 , 왕웬링 , 사이토다카노리
IPC分类号： G05D23/19 , H01L21/324
CPC分类号： H01L21/67781 , H01L21/67248
摘要： 온도제어용의온도검출소자가고장나도, 피가열물의온도를거의변동시키지않고, 계속해서온도제어가능한온도제어방법을제공한다. 각각이서로다른위치에설치된복수의온도검출소자(Ai1 내지 Ai10)가온도를검출한검출값에기초하여, 각각이서로다른위치에설치된복수의발열소자(63-1 내지 63-10)를포함하고, 피가열물을가열하는가열부(63)에있어서의발열소자(63-1 내지 63-10)의발열량을제어함으로써, 피가열물의온도를제어하는온도제어방법으로서, 복수의온도검출소자(Ai1 내지 Ai10)의어느하나가고장났을때에, 고장난온도검출소자이외의온도검출소자가검출한검출값에기초하여, 복수의온도검출소자(Ai1 내지 Ai10)의각각의온도를추정하는제1 추정알고리즘에의해, 복수의온도검출소자(Ai1 내지 Ai10)의각각의온도를추정하고, 추정한온도에기초하여, 피가열물의온도를제어한다.

10. 发明授权

KR101503120B1 반송 시스템 有权
公开(公告)号：KR101503120B1
公开(公告)日：2015-03-16
申请号：KR1020120118063
申请日：2012-10-23
申请人： 가부시키가이샤 야스카와덴키
发明人： 안도류지 , 히노가즈노리 , 가츠다신이치
IPC分类号： H01L21/677 , B25J9/16 , B65G49/07
CPC分类号： B25J9/043 , B25J13/087 , H01L21/67766 , H01L21/67781 , H01L21/68707
摘要： 실시형태에 따른 반송 시스템은 로봇 및 결정 유닛을 구비한다. 로봇은 박판 형상의 워크를 유지하고 서로 상이한 높이에 위치된 로봇 핸드를 구비한다. 결정 유닛은, 로봇 핸드 각각에 의해 유지될 워크의 온도의 조합에 근거하여 워크를 유지하는 로봇 핸드를 결정한다.

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