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    • 1. 发明公开
    • MEMS 정지마찰 감소를 위한 실란 개질 유체
    • 用于MEMS静摩擦降低的硅烷重整流体
    • KR20180023916A
    • 2018-03-07
    • KR20177037869
    • 2016-06-02
    • B81B3/00B81C1/00G02B26/04G09G3/34
    • G02B26/04B81B3/0016B81C1/00952G09G3/3433
    • 본개시내용은유체-충전프로세스동안정지마찰을감소시키는디바이스들및 방법들을제공한다. 디바이스(400)는기판들중 적어도하나상에이동가능한 MEMS 컴포넌트들을갖는 2 개의기판들(404, 422)을포함할수 있다. 디바이스는 2 개의기판들사이에있고이동가능한 MEMS 컴포넌트들을둘러싸거나또는적어도부분적으로둘러싸는유체(430)를포함할수 있으며, 유체는이동가능한 MEMS 컴포넌트들에대한윤활제로서의역할을할 수있다. 유체는표면에너지개질제로도핑된액체용액일수 있으며, 표면에너지개질제는비극성작용기 R을포함한다. 일부구현들에서, 비극성작용기 R은알킬, 아릴및 나프텐계로이루어진그룹으로부터선택될수 있다.
    • 本公开提供了用于减少流体填充过程期间的静摩擦的装置和方法。 器件400可以包括具有可在至少一个衬底上移动的MEMS部件的两个衬底404,422。 该装置可以包括位于两个衬底之间并围绕或至少部分地围绕可移动MEMS部件的流体430,并且该流体可以用作可移动MEMS部件的润滑剂。 流体可以是掺有表面能改性剂的液体溶液,表面能调节剂包含非极性官能团R. 在一些实施方案中,非极性官能度R可以选自烷基,芳基和环烷系统。