专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

1. 发明授权

KR100535715B1 반송시스템의 위치맞춤방법 有权
标题翻译：如何对齐回报系统
公开(公告)号：KR100535715B1
公开(公告)日：2005-12-09
申请号：KR1020017005210
申请日：1999-10-26
申请人： 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
发明人： 니시나카야마야스히코 , 이시자와시게루 , 사에키히로아키 , 가와노다카시 , 오사와데쓰
IPC分类号： H01L21/68
CPC分类号： H01L21/681 , G05B19/4015 , G05B19/402 , G05B2219/37339 , G05B2219/45031 , G05B2219/49299 , H01L21/67745 , Y10S414/136
摘要： 기준위치에 대하여 유지부(48)의 위치맞춤을 하는 반송시스템의 반송위치맞춤 방법이다. 제어부(72)에, 회전기준대(60)상의 소정위치인 오리엔터티칭 기준위치 및 용기재치대에 얹어 놓이는 카세트용기내의 소정위치인 용기티칭 기준위치에 대한 각각의 임시의 위치좌표를 미리 입력한다. 유지부(48)에 정확히 위치맞춤하여 유지시킨 피반송체(W)를 오리엔터티칭 기준위치의 임시의 위치좌표에 근거하는 제어에 의해서 회전기준대(60)까지 반송하여 옮겨싣는다. 회전기준대(60)에 재치된 피반송체(W)의 편심량과 편심방향을 위치자세검출부(62)에 의해서 검출한다. 검출된 편심량과 편심방향과 따라서 오리엔터티칭 기준위치에 대한 임시의 위치좌표를 보정하여 적정위치좌표로 한다. 다음에, 용기티칭 기준위치에 정확히 위치맞춤한 피반송체(W)를 용기티칭 기준위치의 임시의 위치좌표에 근거하는 제어에 의해서 회전기준대(60)까지 반송하여 옮겨싣는다. 회전기준대(60)에 재치된 피반송체(W)의 편심량과 편심방향을 위치자세검출부(62)에 의해서 검출한다. 검출된 편심량과 편심방향과 따라서 용기티칭 기준위치에 대한 임시의 위치좌표를 보정하여 적정위치좌표로 한다.

2. 发明公开

KR1020000031483A 내경과 외경의 중심이 일치하도록 가공하는 장치 및 그 방법 失效
标题翻译：用于加工以适应内径和外径中心的装置和方法
公开(公告)号：KR1020000031483A
公开(公告)日：2000-06-05
申请号：KR1019980047539
申请日：1998-11-06
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 김현철
IPC分类号： G01B7/12
CPC分类号： G05B19/404 , B23Q3/186 , B23Q17/20 , B23Q17/2291 , B23Q17/24 , B24B5/04 , B24B41/067 , B24B49/12 , B24B51/00 , G02B6/3833 , G05B2219/37339 , G05B2219/49177
摘要： PURPOSE: A device and a method for processing to conform a center of an inside diameter and an outside diameter are provided to widen the range of processing and to improve the accuracy. CONSTITUTION: A processing device of concentricity is equipped with a chuck(40), a servo motor(420), a spindle(425), a camera(430), a control unit(440), a monitor(450), a contact of rotating brush(460), a piezoelectric ceramic unit(470), a spring unit(475), a motor for polishing(480) and a tool for polishing(485). The piezoelectric ceramic unit(470) is a regulating unit and is equipped a piezoelectric ceramic having the elasticity according to an inputted voltage value. The piezoelectric ceramic unit(470) controls a position of the chuck(410) by expanding and contracting according to the voltage value with receiving the voltage value generated from the control unit(400) through the contact of rotating brush(460). The spring unit(475) is located in the opposite side of the piezoelectric ceramic unit(470) based on the chuck(410) and is able to control the position of the chuck(410) by reducing if the piezoelectric ceramic is expanded and by expanding if the piezoelectric ceramic is reduced.
摘要翻译：目的：提供一种用于加工以适应内径和外径的中心的装置和方法，以扩大处理范围并提高精度。构成：同心度处理装置配备有卡盘（40），伺服马达（420），主轴（425），相机（430），控制单元（440），监视器（450），触点旋转刷（460），压电陶瓷单元（470），弹簧单元（475），抛光马达（480）和抛光工具（485）。压电陶瓷单元（470）是调节单元，并且具有根据输入的电压值具有弹性的压电陶瓷。压电陶瓷单元（470）通过利用旋转刷（460）的接触接收由控制单元（400）产生的电压值，根据电压值进行伸缩收缩来控制卡盘（410）的位置。弹簧单元（475）基于卡盘（410）位于压电陶瓷单元（470）的相对侧，并且能够通过减小压电陶瓷的膨胀来控制卡盘（410）的位置，并且能够通过如果压电陶瓷被还原，则膨胀。

你已经成功收藏专利！

检索式保存成功!

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式