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1. 发明授权

KR100535715B1 반송시스템의 위치맞춤방법 有权
标题翻译：如何对齐回报系统
公开(公告)号：KR100535715B1
公开(公告)日：2005-12-09
申请号：KR1020017005210
申请日：1999-10-26
申请人： 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
发明人： 니시나카야마야스히코 , 이시자와시게루 , 사에키히로아키 , 가와노다카시 , 오사와데쓰
IPC分类号： H01L21/68
CPC分类号： H01L21/681 , G05B19/4015 , G05B19/402 , G05B2219/37339 , G05B2219/45031 , G05B2219/49299 , H01L21/67745 , Y10S414/136
摘要： 기준위치에 대하여 유지부(48)의 위치맞춤을 하는 반송시스템의 반송위치맞춤 방법이다. 제어부(72)에, 회전기준대(60)상의 소정위치인 오리엔터티칭 기준위치 및 용기재치대에 얹어 놓이는 카세트용기내의 소정위치인 용기티칭 기준위치에 대한 각각의 임시의 위치좌표를 미리 입력한다. 유지부(48)에 정확히 위치맞춤하여 유지시킨 피반송체(W)를 오리엔터티칭 기준위치의 임시의 위치좌표에 근거하는 제어에 의해서 회전기준대(60)까지 반송하여 옮겨싣는다. 회전기준대(60)에 재치된 피반송체(W)의 편심량과 편심방향을 위치자세검출부(62)에 의해서 검출한다. 검출된 편심량과 편심방향과 따라서 오리엔터티칭 기준위치에 대한 임시의 위치좌표를 보정하여 적정위치좌표로 한다. 다음에, 용기티칭 기준위치에 정확히 위치맞춤한 피반송체(W)를 용기티칭 기준위치의 임시의 위치좌표에 근거하는 제어에 의해서 회전기준대(60)까지 반송하여 옮겨싣는다. 회전기준대(60)에 재치된 피반송체(W)의 편심량과 편심방향을 위치자세검출부(62)에 의해서 검출한다. 검출된 편심량과 편심방향과 따라서 용기티칭 기준위치에 대한 임시의 위치좌표를 보정하여 적정위치좌표로 한다.

2. 发明公开

KR1020010075662A 반송시스템의 위치맞춤방법 有权
公开(公告)号：KR1020010075662A
公开(公告)日：2001-08-09
申请号：KR1020017005210
申请日：1999-10-26
申请人： 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
发明人： 니시나카야마야스히코 , 이시자와시게루 , 사에키히로아키 , 가와노다카시 , 오사와데쓰
IPC分类号： H01L21/68
摘要： 기준위치에 대하여 유지부(48)의 위치맞춤을 하는 반송시스템의 반송위치맞춤 방법이다. 제어부(72)에, 회전기준대(60)상의 소정위치인 오리엔터티칭 기준위치 및 용기재치대에 얹어 놓이는 카세트용기내의 소정위치인 용기티칭 기준위치에 대한 각각의 임시의 위치좌표를 미리 입력한다. 유지부(48)에 정확히 위치맞춤하여 유지시킨 피반송체(W)를 오리엔터티칭 기준위치의 임시의 위치좌표에 근거하는 제어에 의해서 회전기준대(60)까지 반송하여 이재한다. 회전기준대(60)에 재치된 피반송체(W)의 편심량과 편심방향을 위치자세검출부(62)에 의해서 검출한다. 검출된 편심량과 편심방향과 따라서 오리엔터티칭 기준위치에 대한 임시의 위치좌표를 보정하여 적정위치좌표로 한다. 다음에, 용기티칭 기준위치에 정확히 위치맞춤한 피반송체(W)를 용기티칭 기준위치의 임시의 위치좌표에 근거하는 제어에 의해서 회전기준대(60)까지 반송하여 이재한다. 회전기준대(60)에 재치된 피반송체(W)의 편심량과 편심방향을 위치자세검출부(62)에 의해서 검출한다. 검출된 편심량과 편심방향과 따라서 용기티칭 기준위치에 대한 임시의 위치좌표를 보정하여 적정위치좌표로 한다.

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