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1. 发明授权

KR101922700B1 가속도 센서와 지자기 센서 기반의 각속도 산출 방법 및 장치 有权
公开(公告)号：KR101922700B1
公开(公告)日：2018-11-27
申请号：KR1020170071721
申请日：2017-06-08
申请人： 주식회사 해치텍
发明人： 김동윤 , 최성민
IPC分类号： G01P3/44 , G01D21/02 , G01P15/14 , G01V3/40 , G06F17/16
CPC分类号： G01C19/5776 , G05B19/401 , G05B19/4086 , G05B2219/37024 , G05B2219/37124 , G05B2219/37388
摘要： 본발명은물리적인자이로센서를이용하지않고, 가속도센서와지자기센서의측정값을활용하여각속도를산출할수 있도록하는각속도산출방법및 장치에관한것으로, 에러쿼터니온을기반으로상태변수와상태변수의분산을도출하고, 쿼터니온기반의회전행렬을에러쿼터니온기반의회전행렬로변환하는단계; 상기에러쿼터니온기반의회전행렬을이용하여가속도센서출력과지자기센서의출력을재정의한후, 칼만필터의관측행렬및 출력행렬을산출하는단계; 이산화된전이행렬을통해상기상태변수와상기상태변수의분산을전이시킨후, 상기전이된상태변수의분산과상기칼만필터의관측행렬을기반으로상기칼만필터의이득을산출하는단계; 상기칼만필터의이득을통해상기상태변수와상기상태변수의분산을보상한후, 상기보상된상태변수와추정된쿼터니온을기반으로쿼터니온을산출하는단계; 및상기쿼터니온을기반으로각속도를산출하는단계;를포함할수 있다.

2. 发明授权

KR101873602B1 칩 다이의 피킹 및 배치를 위한 시스템 및 방법 有权
公开(公告)号：KR101873602B1
公开(公告)日：2018-07-02
申请号：KR1020127020602
申请日：2011-01-06
申请人： 네덜란제 오르가니자티에 포오르 토에게파스트-나투우르베텐샤펠리즈크 온데르조에크 테엔오
发明人： 반츠벳어윈존 , 반도렌레옹 , 베르메르아드리아누스요한네스페트루스마리아 , 모데마이예르케스
IPC分类号： B25J9/16 , B25J11/00 , G05B19/401 , H01L21/68
CPC分类号： B25J9/1697 , G05B19/401 , G05B2219/40609 , G05B2219/45029 , H01L21/681 , Y10T29/53087 , Y10T29/53091 , Y10T29/53174 , Y10T29/53178
摘要： 본발명의일 태양에따르면, 칩제조공정에서칩 다이(2)를피킹및 배치하도록배열된칩 다이(2) 조작장치가제공되며, 여기서결상시스템(11)은제2 축외위치(B)에배열되고, 배치위치(5)에대해중심설정되는아치형볼록구면거울(13); 상기볼록구면거울(13)과상기배치위치(5) 사이의광로에배열되어, 상기광로를제3 축외위치(C)로꺾는폴딩거울(14); 및상기제3 축외위치(C)에배열되고, 상기영상검지시스템(9) 상에상기배치위치(5) 및구성요소(2) 중적어도하나로부터의결상을위한곡률을갖는아치형오목구면거울(15)을포함한다. 결상시스템(11)은배치위치(5)의비스듬한영상검지를보정한다.

3. 发明公开

KR1020170019407A 자동 레시피 안정성 모니터링 및 리포팅 审中-实审
标题翻译：自动稳定监测和报告
公开(公告)号：KR1020170019407A
公开(公告)日：2017-02-21
申请号：KR1020177000057
申请日：2015-06-11
申请人： 케이엘에이-텐코 코포레이션
发明人： 리후쳉 , 가오리셍 , 타따이순다람고빈다라잔
IPC分类号： G05B19/401 , G05B19/406
CPC分类号： G05B19/41875 , G05B2219/32196 , G05B2219/32222 , G05B2219/37224 , Y02P90/20 , Y02P90/22 , G05B19/401 , G05B19/406
摘要： 웨이퍼검사레시피의안정성을시간경과에따라모니터링하는시스템및 방법이제공된다. 방법은시간경과에따라검사결과를수집하는단계를포함한다. 검사결과는웨이퍼에대해웨이퍼검사레시피를다른시점에서수행하면서적어도하나의웨이퍼검사툴에의해생성된다. 또한, 방법은다른시점에서생성된상기검사결과를서로비교하는것에의해검사결과의이상변동을확인하는단계를포함한다. 추가로, 방법은상기이상변동이상기웨이퍼, 상기웨이퍼검사레시피또는상기적어도하나의웨이퍼검사툴 중하나이상의웨이퍼검사툴에기인하는지여부를결정하여상기웨이퍼검사레시피가시간경과에따라안정한지여부를결정하는단계를포함한다.
摘要翻译：提供了用于监视晶片检查配方随时间的稳定性的系统和方法。一种方法包括随时间收集检验结果。检查结果由至少一个晶片检查工具产生，同时在不同的时间点对晶片进行晶片检查配方。该方法还包括通过将在不同时间产生的检查结果相互比较来识别检查结果中的异常变化。此外，该方法包括确定异常变化是否归因于晶片，晶片检查配方或至少一个晶片检查工具中的一个或多个，从而确定晶片检查配方是否随时间稳定。

4. 发明授权

KR101688749B1 제어 장치 및 제어 방법 有权
标题翻译：控制装置和控制方法
公开(公告)号：KR101688749B1
公开(公告)日：2016-12-21
申请号：KR1020157001048
申请日：2012-07-17
申请人： 미쓰비시덴키 가부시키가이샤
发明人： 야스다요리마사 , 사노슈야 , 미야자키도모히로
IPC分类号： G05B9/02
CPC分类号： G05B19/401 , G05B9/02 , G05B2219/23098
摘要： 계측제어기기(30-1~30-N)로부터의데이터(31-1~31-N)를수신하는복수의통신부(11-1~11-N)와, 통신부(11-1~11-N)로부터의데이터(31-1~31-N)에기초하여제어대상기기(20)를제어하는조작신호를연산하여, 제어대상기기(20)에출력하는제어부(12)와, 통신부(11-1~11-N)로부터입력되는데이터(31-1~31-N)를기억하는기억부(13)와, 기억부(13)로부터소정의타이밍에서취득한데이터(31-1~31-N)에기초하여소정의연산을행하여연산값을산출하여, 연산값이조작신호를차단하는차단조건을충족하는지를판단하여, 차단조건을충족하는경우에차단신호를출력하는제1 감시부(14-1) 및제2 감시부(14-2)와, 제1 감시부(14-1)와제2 감시부(14-2) 중적어도어느한쪽으로부터출력되는차단신호를수신하여, 제어부(12)로부터제어대상기기(20)에출력되는조작신호를차단하는제1 차단부(15-1) 및제2 차단부(15-2)를구비한다.
摘要翻译：提供了一种控制装置，包括从测量控制装置接收数据的多个通信单元; 控制单元，其基于来自通信单元的数据计算用于控制受控设备的操作信号，并将该操作信号输出到受控设备; 存储单元，存储数据; 第一监视单元和第二监视单元，其基于所述数据执行计算，以计算计算值，所述计算值确定所述计算值是否满足阻挡状态，并且当所述计算值满足所述阻塞条件时，输出阻塞信号 ; 以及第一阻挡单元和第二阻断单元，其在接收到从所述第一监视单元和所述第二监视单元中的至少一个输出的阻塞信号时，将所述操作信号阻挡到所述受控设备。

5. 发明公开

KR1020150135195A 유리 기판 생산 관리 시스템 및 유리 기판 생산 관리 방법 审中-实审
标题翻译：用于管理玻璃基板的生产的系统和用于管理玻璃基板的生产的方法
公开(公告)号：KR1020150135195A
公开(公告)日：2015-12-02
申请号：KR1020157012655
申请日：2014-03-20
申请人： 니폰 덴키 가라스 가부시키가이샤
发明人： 오히가시신지
IPC分类号： C03B33/033 , C03B33/037 , G02F1/13 , G05B19/418
CPC分类号： G06Q10/0637 , C03B33/037 , G05B19/401 , G05B2219/35162 , Y02P40/57
摘要： 상류측공정에서 10매이상의 1로트의다면형성유리기판(1)으로부터 10매이상을선택해서검사된결함데이터에의거하여로트평균결함밀도를산출하는제 1 검사수단과, 상류측공정의처리자가받는이익과하류측공정의처리자가받는손실을결함이존재하고있는가상단면의개수를다르게해서복수회에걸쳐시산하고, 그것들의시산결과에의거하여이익이손실을상회하고있을경우에있어서의결함이존재하고있는가상단면의허용면수를산출하는시산수단과, 1로트의다면형성유리기판의전체수를검사해서결함이존재하고있는가상단면의개수를계수하는제 2 검사수단과, 다면형성유리기판의양부를판정하는양부판정수단을구비한다.

6. 发明授权

KR101548299B1 Apparatus and methode for setting origin machine coordinates 有权
标题翻译：用于设定原始机器坐标的装置和方法
公开(公告)号：KR101548299B1
公开(公告)日：2015-09-07
申请号：KR20150049458
申请日：2015-04-08
申请人： BAE JONG OE
发明人： BAE JONG OE
IPC分类号： B23Q17/24 , B23Q15/22 , B23Q17/20 , G05B19/401
CPC分类号： B23Q15/22 , B23Q17/20 , B23Q17/24 , G05B19/401
摘要： 본 발명에 의한 공작기계 좌표설정장치는, 좌우 및 전후방향으로 이송 가능하도록 구성되어 모재가 안착되는 안착베드; 상기 안착베드의 상측에 장착되어 상기 모재를 촬영하는 카메라; 상기 카메라에 의해 촬영된 모재의 평면 형상을 출력하되 출력된 화상에 가상기준선을 추가로 출력하는 모니터; 상기 모재의 기준면이 상기 모니터에 출력된 가상기준선에 일치되도록 상기 안착베드를 이송시킨 후, 상기 모재의 기준면이 상기 가상기준선에 일치되면 상기 가상기준선의 중심을 영점좌표로 설정하는 제어부; 상기 모재의 형상 정보 및 상기 각 부의 동작신호를 입력하는 입력부;를 포함한다. 본 발명에 의한 공작기계 좌표설정장치 및 방법을 이용하면, 보다 빠르고 간편하게 모재의 기준좌표를 설정할 수 있고, 모재를 직접 터치하지 아니하고서도 모재의 기준좌표를 설정할 수 있어 모재의 손상이나 장비의 손상을 방지할 수 있으며, 모재의 형상에 관계없이 모재의 기준좌표를 설정할 수 있다는 장점이 있다.
摘要翻译：根据本发明的用于设定机床坐标的装置包括：可沿左右方向和前后方向传送的安装床，其上安装有基本材料; 照相机，其安装在安装台的上侧，并且拍摄基本材料; 输出由照相机拍摄的基本材料的平面形状的监视器，并且还在输出图像上输出虚拟参考线; 传送安装台的控制单元，使得基本材料的基准表面能够与输出到监视器的虚拟参考线匹配，并且如果基本材料的基准表面与虚拟参考线匹配，则设置中心虚拟参考线作为零点坐标; 以及输入单元，其输入每个单元的基本材料和操作信号的形状信息。当使用根据本发明的用于设置机床坐标的装置和方法时，可以更快速和容易地设置基本材料的参考坐标; 可以通过在不直接接触基材的情况下设定基材的基准坐标来防止基本材料或设备的损坏; 并且可以设置基本材料的基准坐标，而与基本材料的形状无关。

7. 发明公开

KR1020150024677A 공구 경로 생성 방법 및 장치 审中-实审
标题翻译：用于产生工具路径的方法和装置
公开(公告)号：KR1020150024677A
公开(公告)日：2015-03-09
申请号：KR1020130101898
申请日：2013-08-27
申请人： 두산공작기계 주식회사
发明人： 장계봉
IPC分类号： B23Q15/013 , B23Q15/06 , G05B19/404
CPC分类号： G05B19/19 , B23Q17/2409 , G05B19/401
摘要： 본 발명은 공구 경로 생성 방법 및 장치에 관한 것으로서, 공구 이미지 및 가공물 이미지를 촬영하는 촬영부; 가공 도면 정보를 입력받는 입력부; 및 상기 촬영부를 통해 촬영된 공구 이미지 및 가공물 이미지를 분석하여 공구 형상 정보 및 가공물 형상 정보를 각각 산출하고, 산출된 가공물 형상 정보 및 상기 입력부를 통해 입력된 가공 도면 정보를 바탕으로 외경 선삭 가공 및 홈 가공의 1회 절삭 동력을 계산하며, 두 가공 각각에 대한 공구 경로를 생성하는 제어부를 포함한다.
摘要翻译：本发明涉及一种用于产生刀具路径的方法和装置，其特征在于包括：摄影单元，其拍摄刀具和工件的图像; 接收加工图纸信息的输入的输入单元; 以及控制单元，其通过分析由拍摄单元拍摄的工具和工件的图像来计算工具形状信息和工件形状信息，基于计算出的工件形状信息计算外径车削加工和槽加工的一次切削力，由输入单元输入的加工图形信息，并分别生成用于两次加工的刀具路径。

8. 发明授权

KR101493188B1 다중화된 아날로그 터미널/보터 모듈 교정 방법 및 이를 적용한 다중화 제어 시스템 有权
标题翻译：用于校准多路复用模拟终端/扩展模块的方法和多路复用控制系统
公开(公告)号：KR101493188B1
公开(公告)日：2015-02-13
申请号：KR1020140006067
申请日：2014-01-17
申请人： 두산중공업 주식회사
发明人： 박정호 , 남정한 , 이승철 , 장민영 , 황재필
IPC分类号： G05B19/418
CPC分类号： Y02P90/02 , G05B19/401 , G05B9/03 , G05B2219/2231
摘要： 본 발명은 다중화된 아날로그 터미널/보터 모듈 교정 방법 및 이를 적용한 다중화 제어 시스템을 제시한다. 본 발명의 다중화 제어 시스템은 다수의 입출력 모듈들, 및 다수의 아날로그 터미널/보터 모듈들을 포함하는 터미널/보터 모듈을 포함한다. 다수의 입출력 모듈들 각각은, 상기 터미널/보터 모듈과의 접속을 인에이블하고, 상기 다수의 아날로그 터미널/보터 모듈들 중 마스터 아날로그 터미널/보터 모듈을 식별하고, 상기 마스터 아날로그 터미널/보터 모듈에 대응하는 교정 파일을 획득하고, 획득된 교정 파일을 상기 입출력 모듈을 통한 입출력 신호에 적용하도록 구성된다. 본 발명을 통해, 다중화된 아날로그 터미널/보터 모듈들을 다중화 제어 시스템에 적용하는 경우에, 마스터로 선택된 아날로그 터미널/보터 모듈에 대응하는 교정 파일을 획득하고 입출력 모듈을 통한 입출력 신호에 적용할 수 있도록 함으로써, 다수의 아날로그 터미널/보터 모듈들 중 임의의 모듈이 선택 또는 변경되더라도 이에 적합한 교정 파일을 효율적으로 제공하여 오차가 보상된 정확한 입출력 신호들을 처리할 수 있다.
摘要翻译：本发明提出了一种用于校准多路复用模拟终端/选择器模块的方法和采用它的多路复用控制系统。复用控制系统包括I / O模块和包括模拟终端/选举模块的终端/选举模块。每个I / O模块被配置为启用与模拟终端/选择器模块的连接，以在模拟终端/选择器模块之间识别主模拟终端/选举模块，以获得对应于主模拟终端/ 选择器模块，并通过I / O模块将获得的校准文件应用于I / O信号。在将多路复用的模拟终端/选举模块应用于多路复用控制系统的情况下，获得对应于作为主机选择的模拟终端/选举模块的校准文件，并且获得的校准文件通过I / O模块。因此，即使选择或改变任何模拟终端/选择器模块，也可以有效地提供适合于此的校准文件，由此精确地处理纠错的I / O信号。

9. 发明授权

KR101360380B1 이동 방사선 설비의 포지션 조절 有权
标题翻译：调整移动放射设备的位置
公开(公告)号：KR101360380B1
公开(公告)日：2014-02-07
申请号：KR1020087024913
申请日：2007-04-03
申请人： 트랜챈트 삐에르 , 세라피니 세르지오
发明人： 트랜챈트삐에르 , 세라피니세르지오
IPC分类号： G05B19/401 , A61B6/00
CPC分类号： A61B6/145 , G05B19/401
摘要： 본 발명은 제 1 요소와 제 2 요소 사이의 오류있는 포지셔닝을 검출하기 위한 디바이스에 관한 것으로, 상기 제 1 요소에 고정되도록 디자인된 전자기파 방출 유닛(130, 120)과, 제 2 요소에 고정되도록 디자인된 전자기파 수신(23, 230) 및 프로세싱 유닛을 포함한다. 후자의 유닛은 전자기파 방출 유닛과 협동하여 제 2 요소에 대한 제 1 요소의 오류있는 포지셔닝을 검출한다. 이동 방사선 설비에 적용되는 경우, 상기 제 1 요소는 예컨대 X-레이 생성기가 될 수 있으며, 상기 제 2 요소는 예컨대 방사선 이미지 센서가 될 수 있다.
치과용 방사선 설비, 엑스-레이, 방출 유닛, 수신 유닛

10. 发明公开

KR1020100049484A 시각적 피드백 제공 시스템 및 방법 无效
标题翻译：用于飞机抛光的视觉反馈
公开(公告)号：KR1020100049484A
公开(公告)日：2010-05-12
申请号：KR1020090100535
申请日：2009-10-22
申请人： 제너럴 일렉트릭 캄파니
发明人： 호퍼더글라스칼
IPC分类号： B24B49/00 , B23Q15/00
CPC分类号： B24B19/14 , B24B21/16 , B24B49/12 , G05B19/401 , G05B2219/31048 , G05B2219/45147 , G05B2219/45199
摘要： PURPOSE: A system and a method for providing a visual feedback are provided to highlight a bucket by visible rays in real time during polishing. CONSTITUTION: A system(100) for providing a visual feedback comprises a model(135), a scanning system(125), a comparator, and an illumination system(140). The model has a desired representation of a workpiece(115). The scanning system generates a current representation of the in-process workpiece. The comparator compares the current shape of the workpiece with a desired shape. The illumination system highlights the workpiece using visible rays during polishing.
摘要翻译：目的：提供一种用于提供视觉反馈的系统和方法，用于在抛光期间实时地通过可见光强调一个桶。构成：用于提供视觉反馈的系统（100）包括模型（135），扫描系统（125），比较器和照明系统（140）。该模型具有工件（115）的所需表示。扫描系统产生工艺中工件的当前表示。比较器将工件的当前形状与所需的形状进行比较。照明系统在抛光过程中使用可见光强调工件。

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