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1. 发明授权

KR101913273B1 광학장치, 투영 광학계, 노광 장치, 및 물품의 제조 방법 有权
公开(公告)号：KR101913273B1
公开(公告)日：2018-10-30
申请号：KR1020180088320
申请日：2018-07-30
申请人： 캐논 가부시끼가이샤
发明人： 아사다카쓰미
IPC分类号： G03F7/20
CPC分类号： G03F7/709 , G02B26/0825 , G02B26/0858 , G02B27/0068 , G03F7/70266 , G03F7/70308 , G03F7/706
摘要： 본발명은미러의반사면을변형시키는광학장치를제공하고, 상기광학장치는베이스플레이트와, 상기베이스플레이트와상기미러와의사이에배치되고, 상기미러에힘을가하도록구성된복수의액추에이터와, 상기베이스플레이트에생기는진동을검출하도록구성된검출부와, 상기베이스플레이트에진동이생기는것에의한상기미러의변형이허용범위내에있도록상기검출부에의한검출결과에의거하여각 액추에이터를제어하도록구성된제어부를구비한다.

2. 发明授权

KR101885524B1 광학장치, 투영 광학계, 노광 장치, 및 물품의 제조 방법 有权
公开(公告)号：KR101885524B1
公开(公告)日：2018-08-09
申请号：KR1020150060192
申请日：2015-04-29
申请人： 캐논 가부시끼가이샤
发明人： 아사다카쓰미
IPC分类号： G03F7/20
CPC分类号： G03F7/709 , G02B26/0825 , G02B26/0858 , G02B27/0068 , G03F7/70266 , G03F7/70308 , G03F7/706
摘要： 본발명은미러의반사면을변형시키는광학장치를제공하고, 상기광학장치는베이스플레이트와, 상기베이스플레이트와상기미러와의사이에배치되고, 상기미러에힘을가하도록구성된복수의액추에이터와, 상기베이스플레이트에생기는진동을검출하도록구성된검출부와, 상기베이스플레이트에진동이생기는것에의한상기미러의변형이허용범위내에있도록상기검출부에의한검출결과에의거하여각 액추에이터를제어하도록구성된제어부를구비한다.

3. 发明公开

KR1020160069517A 물리적 효과를 발생시키기 위한 마이크로 전자기계 장치 审中-实审
标题翻译：用于产生物理效应的微电子仪器
公开(公告)号：KR1020160069517A
公开(公告)日：2016-06-16
申请号：KR1020167008977
申请日：2014-09-08
申请人： 오디오 픽셀즈 리미티드
发明人： 카플란,쉐이 , 코헨,유발 , 벤시몬,메이어
IPC分类号： H04R17/00 , G02B26/08
CPC分类号： H01L41/042 , G02B26/0858 , H01L41/0805 , H01L41/0973 , H04R17/00 , H04R17/005 , H04R2201/003
摘要： 물리적효과를발생시키기위한마이크로전자기계장치는, 이동소자의어레이, 전극그룹을포함하는전기배선및 동작제한메카니즘을포함하고, 각이동소자는압전기부재에인가되는전기장에의해변형되도록동작가능한적어도하나의압전기부재와연관되는적어도하나의만곡부에의해기계적지지부에연결되어, 압전기부재가연결되는만곡부를굽히도록하고, 전극그룹중 각전극은적어도하나의압전기부재에연결되고, 전기배선이상이한압전기부재에상이한전기장시퀀스를동시에전달하도록동작가능하여, 물리적효과를생성하기위한어레이의이동소자움직임을제어가능하게유도하고, 동작제한메카니즘은상응하는만곡부및 압전기부재를통해작동될때 이동소자의각각에대한최대동작거리를유지한다.
摘要翻译：一种用于产生物理效应的微机电装置，其包括一组移动元件，每个通过至少一个挠曲件与机械支撑件联接，所述至少一个挠曲件与至少一个压电元件相关联，所述至少一个压电元件可操作地被施加到压电元件从而使压电构件连接到的挠曲部弯曲; 包括一组电极的电线，其中所述一组电极中的每个电极耦合到至少一个所述压电元件; 其中所述电线可操作以同时将不同序列的电场传递到不同的压电元件，由此可控制地引起所述阵列的移动元件的移动以产生物理效应; 以及运动限制机构，用于当通过相应的弯曲和压电构件致动时，保持每个移动元件的最大运动距离。

4. 发明授权

KR101180773B1 고속 스캔 미러를 위한 용량성 빗살 피드백 有权
标题翻译：用于高速扫描镜的电容反馈
公开(公告)号：KR101180773B1
公开(公告)日：2012-09-07
申请号：KR1020107023676
申请日：2009-03-16
申请人： 마이크로비젼, 인코퍼레이티드
发明人： 스테른,미클로스 , 야비드,드미트리
IPC分类号： G02B26/10 , H04N1/04
CPC分类号： G02B26/0841 , G02B26/0858 , H02N1/008 , H04N1/1135
摘要： 이미지 투영 시스템(100)이, 빔(103, 105, 107)을 두 개의 직교 방향(404, 406)으로 스캐닝하도록 스캔 미러 장치(130)에게 적어도 하나의 빔(103, 105, 107)을 제공하는 레이저(102, 104, 106)를 구비한다. 스캔 미러(130)는 프레임(202)에 연속하여 배치된 진동부(204)를 포함하고 또한 빔(103, 105, 107)을 반사시킬 수 있는 반사부(218)를 포함한다. 회로가 제공되어 프레임(202) 상의 인터디지테이트된 티스(212, 214)와 진동부(204) 간의 커패시턴스를 측정한다.

5. 发明公开

KR1020110071137A 광학 반사 소자 有权
标题翻译：光学反射元件
公开(公告)号：KR1020110071137A
公开(公告)日：2011-06-28
申请号：KR1020117011342
申请日：2009-11-18
申请人： 파나소닉 주식회사
发明人： 히라오카소이치로 , 데라다지로우 , 나카조노신스케 , 후루카와시게오
IPC分类号： G02B26/08 , G02B5/08
CPC分类号： G02B26/0858 , G02B26/101
摘要： An optical reflection element includes a mirror portion and an oscillator coupled to the mirror portion. The oscillator includes a base, an insulating layer, a drive element, and a monitor element. The insulating layer is formed on the base. The drive element and the monitor element are formed on the insulating layer, and are separated from each other by a separation groove. Each of the drive element and the monitor element includes a lower electrode layer, a piezoelectric layer, and an upper electrode layer formed in that order on the insulating layer. The monitor element has high detection accuracy, allowing the optical reflection element to perform self-excited driving with high accuracy.

6. 发明授权

KR100987781B1 압전 소자를 이용한 액츄에이터 및 액츄에이터 구동 방법 失效
标题翻译：使用压电元件的致动器及其驱动方法
公开(公告)号：KR100987781B1
公开(公告)日：2010-10-13
申请号：KR1020080089328
申请日：2008-09-10
申请人： 삼성전자주식회사 , 경원산업 주식회사
发明人： 정영민 , 이경우 , 권재환 , 소형종 , 김홍희
IPC分类号： G11B7/09 , G11B7/1362 , G11B7/0065
CPC分类号： H01L41/0825 , G02B26/0858 , H01L41/042
摘要： 압전 소자를 이용한 액츄에이터 및 액츄에이터 구동 방법이 개시된다.
개시된 액츄에이터는, 입력된 전압에 따라 변위를 일으키는 적어도 하나의 압전 셀과 상기 압전 셀의 변위를 알아내기 위한 적어도 하나의 압전 센서를 포함하여 마이크로 미러 구동과 센싱을 구현한다.

7. 发明授权

KR100987779B1 홀로그래피 정보 저장 장치용 액츄에이터 失效
标题翻译：全息信息存储设备执行器
公开(公告)号：KR100987779B1
公开(公告)日：2010-10-13
申请号：KR1020080062869
申请日：2008-06-30
申请人： 삼성전자주식회사 , 경원산업 주식회사
发明人： 정영민 , 이경우 , 권재환 , 소형종 , 김홍희
IPC分类号： G11B7/085 , G11B7/08 , G11B7/09 , G11B7/0065
CPC分类号： G02B26/0858
摘要： 홀로그래피 정보 저장 장치용 액츄에이터가 개시된다.
개시된 액츄에이터는, 미러를 구동하기 위한 홀로그래피 정보 저장 장치용 액츄에이터로서, 입력된 전압에 따라 변위를 일으키는 복수 개의 압전 셀; 상기 복수 개의 압전 셀에 대응되게 탑재되어 있는 지지 부재; 상기 미러의 회전축에 평행한 바와 상기 바에서부터 연장된 굴곡부를 가지는 힌지 부재; 상기 힌지 부재 위에 탑재되는 것으로 상기 미러가 지지되는 포스트;를 포함한다

8. 发明公开

KR1020100102340A 멤즈 패키지 无效
标题翻译： MEMS封装
公开(公告)号：KR1020100102340A
公开(公告)日：2010-09-24
申请号：KR1020090020671
申请日：2009-03-11
申请人： 엘지전자 주식회사
发明人： 최동준 , 이병구 , 이대성 , 임태선
IPC分类号： G02B26/08 , G02B26/10
CPC分类号： G02B26/105 , G02B26/0841 , G02B26/085 , G02B26/0858 , G02B26/12
摘要： PURPOSE: A MEMS package is provided to improve shock resistance by including a rotation limiting structure. CONSTITUTION: A micro mirror part(200) is composed of a mirror plate and a substrate. The substrate surrounds the mirror plate with a uniform distance and is connected to the mirror plate. A case(100) includes the micro mirror part and forms a structure for the limit of the rotation of the mirror plate by shielding a part of the penetrated hole after forming the penetrated hole.
摘要翻译：目的：提供MEMS封装以通过包括旋转限制结构来提高耐冲击性。构成：微镜部件（200）由镜面板和基板构成。基板围绕镜面板具有均匀的距离并且连接到镜板。壳体（100）包括微镜部分，并且在形成穿透孔之后通过屏蔽穿透孔的一部分来形成用于镜板旋转极限的结构。

9. 发明公开

KR1020090039310A 디스플레이 장치 및 빔 틸트 보상 방법 无效
标题翻译：用于补偿光束倾斜的显示装置和方法
公开(公告)号：KR1020090039310A
公开(公告)日：2009-04-22
申请号：KR1020070104871
申请日：2007-10-18
申请人： 삼성전기주식회사
发明人： 여인재
IPC分类号： G02B26/10
CPC分类号： G09G3/002 , G02B26/0841 , G02B26/0858 , G09G3/02 , G09G3/3493 , G09G2320/0242 , G02B26/106
摘要： A display apparatus and method for compensating beam tilt is provided to reduce a time for assembly by matching the position of a color to a color image. A plurality of monochromatic light sources(110) of the display device radiates light having different wavelength. A light modulator(130) receives light and modulates it according to a control signal. A controller(170) outputs a control signal corresponding to the video signal and controls the monochromatic light source. The Controller controls the modulated luminance of the pixel driving sign of the light modulator so that the pulse tilt of the scanned monochrome scan image is compensated on the display screen.
摘要翻译：提供了用于补偿光束倾斜的显示装置和方法，以通过将颜色的位置与彩色图像相匹配来减少组装的时间。显示装置的多个单色光源（110）照射具有不同波长的光。光调制器（130）根据控制信号接收光并进行调制。控制器（170）输出对应于视频信号的控制信号并控制单色光源。控制器控制光调制器的像素驱动符号的调制亮度，使得扫描的单色扫描图像的脉冲倾斜在显示屏上被补偿。

10. 发明公开

KR1020080032917A 광변조기의 픽셀 균일도 보정 방법 및 그 장치 失效
标题翻译：校正光学调制器的非均匀像素的方法及其装置
公开(公告)号：KR1020080032917A
公开(公告)日：2008-04-16
申请号：KR1020060099034
申请日：2006-10-11
申请人： 삼성전기주식회사
发明人： 여인재
IPC分类号： G02B26/08 , G02B26/00
CPC分类号： G02B26/0808 , G02B5/1828 , G02B26/001 , G02B26/0858 , G09G3/02
摘要： A method and an apparatus for correcting inhomogeneous pixels of an optical modulator are provided to suppress a vertical non-uniformity of a projected image by compensating for the non-uniformity at marginal portions of driving ranges of respective pixels. A diffraction optical modulator(320) receives an incident beam from an optical source, reflects or diffracts the incident beam, and emits a modulated beam. A detector(355) detects all of the modulated beams, measures a light intensity of the modulated beam, and outputs a measured value corresponding to the light intensity. The detector is used for all pixels in the optical modulator. An image control circuit(380) extracts marginal voltages with largest and smallest measured values, compensates for an application voltage corresponding to brightness values for respective pixels of the optical modulator, and generates an image control signal for controlling the diffraction optical modulator. A driver IC(340) receives the image control signal and outputs a driving voltage for controlling the optical modulator.
摘要翻译：提供一种用于校正光学调制器的不均匀像素的方法和装置，以通过补偿各像素的驱动范围的边缘部分处的不均匀性来抑制投影图像的垂直不均匀性。衍射光学调制器（320）从光源接收入射光束，反射或衍射入射光束，并发射调制光束。检测器（355）检测所有调制光束，测量调制光束的光强度，并输出对应于光强度的测量值。检测器用于光调制器中的所有像素。图像控制电路（380）提取具有最大和最小测量值的边缘电压，补偿对应于光调制器的各个像素的亮度值的施加电压，并且生成用于控制衍射光学调制器的图像控制信号。驱动器IC（340）接收图像控制信号并输出用于控制光调制器的驱动电压。

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