专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

1. 发明公开

KR1020110069742A 기체 혼합물 측정 시스템 无效
标题翻译：气体混合测量系统及其方法
公开(公告)号：KR1020110069742A
公开(公告)日：2011-06-23
申请号：KR1020100130230
申请日：2010-12-17
申请人： 제너럴 일렉트릭 캄파니
发明人： 테일러로버트워렌 , 맬리피터마틴 , 페란브라이언로버트
IPC分类号： G01N21/39 , G01N21/3504 , G01N25/54
CPC分类号： G01N21/39 , G01N21/3504 , G01N25/54 , G01N2021/3513 , G01N2021/399 , G01N5/04 , G01N9/24 , G01N9/36 , G01N21/85 , G01N23/00 , G01N23/02 , G01N23/04 , G01N23/043 , G01N23/20 , G01N23/2202 , G01N23/223
摘要： PURPOSE: A gas mixture measurement system is provided to analyze gas mixture without using a sampling method demanding the time delay. CONSTITUTION: A gas mixture measurement system comprises a laser device(104) and a measuring device(110). The laser device extends a beam(106) through an in-situ specific- limit flow path of the gas mixture(108). The laser device is one of a quantum cascade laser, a tunable diode laser, a vertical cavity surface emitting laser and an interband cascade laser. The measuring device is connected with each laser device in order to obtain the dynamics of the gas mixture.
摘要翻译：目的：提供气体混合物测量系统，用于分析气体混合物，而不使用要求时间延迟的采样方法。构成：气体混合物测量系统包括激光装置（104）和测量装置（110）。激光装置将梁（106）延伸穿过气体混合物（108）的原位特异性极限流动路径。激光装置是量子级联激光器，可调二极管激光器，垂直腔表面发射激光器和带间级联激光器之一。测量装置与每个激光装置连接，以获得气体混合物的动力学。

2. 发明授权

KR101748821B1 1개의 TEM 관찰용 그리드에 복수개의 시료를 로딩하는 방법 및 시료로딩장치 有权
公开(公告)号：KR101748821B1
公开(公告)日：2017-06-20
申请号：KR1020130136852
申请日：2013-11-12
申请人： 한국기초과학지원연구원
发明人： 천성식 , 김정균 , 정종만 , 이은지 , 김윤중
IPC分类号： G01N1/28 , G01N23/225 , H01J37/26
CPC分类号： G01N23/2202 , G01N2223/04 , G01N2223/418 , H01J2237/201 , H01J2237/204
摘要： 본발명은시료를 TEM으로관찰시 하나의그리드에복수개의시료를로딩시킴으로써 1회의 TEM 장비세팅으로복수개의시료를관찰할수 있도록하는시료를로딩하는방법및 시료로딩장치에관한것으로, 보다상세하게는, (A) 수평으로놓여진그리드의일영역수직상부의소정높이에, 상기그리드의유효부면적의 1/2미만크기의개구가하나또는복수개형성된마스크를수평으로장착하는단계; (B) 상기마스크개구의수직상부의소정높이에, 연무판이아래를향하도록초음파진동자를수평으로장착하는단계; (C) 상기초음파진동자의상면에시료액을로딩하고초음파진동자를작동시키는단계; (D) 상기그리드의일영역과겹치지않는타영역에서, 초음파진동자와마스크를교체또는세척하고, 다른시료액으로, 상기단계(A)~(C)를반복하는단계;를포함하는, 1개의 TEM 관찰용그리드에복수개의시료를로딩하는방법및 이를위한시료로딩장치에관한것이다.

3. 发明授权

KR101637332B1 집속 이온빔 디바이스 및 주사형 전자 현미경을 이용하여 반도체 구조체의 3차원 이미지를 생성하는 방법 有权
标题翻译： 3使用聚焦离子束装置和扫描电子显微镜产生半导体结构的三维图像的方法
公开(公告)号：KR101637332B1
公开(公告)日：2016-07-20
申请号：KR1020107026657
申请日：2009-05-27
申请人： 램 리써치 코포레이션
发明人： 와가너에릭
IPC分类号： H01L21/66
CPC分类号： G01N23/2202 , H01J37/28 , H01J37/3056 , H01J2237/2813 , H01J2237/3174 , H01J2237/31745 , H01J2237/31749
摘要： 개시된방법은, 피처의단면을반복적으로생성함으로써하나이상의제작된피처의이미지를생성한다. 이방법은, 밀링된표면이피처가위치하는층에실질적으로평행한하나이상의제작된피처에근접한표면을밀링하는단계를포함한다. 각각의밀링단계에서, 하나이상의제작된피처의톱-다운이미징은복수의단면이미지를생성한다. 복수의단면이미지의각각은제작된피처의표현으로재구성된다.

4. 发明公开

KR1020150040768A 엑스선 장치 및 엑스선 디텍터 审中-实审
标题翻译： X RAY设备和X射线探测器
公开(公告)号：KR1020150040768A
公开(公告)日：2015-04-15
申请号：KR1020140135121
申请日：2014-10-07
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 곽호성 , 구익모
IPC分类号： G01N23/04 , A61B6/00 , A61B6/08
CPC分类号： A61B6/548 , A61B6/08 , A61B6/4233 , A61B6/4266 , A61B6/4283 , A61B6/4405 , A61B6/4494 , A61B6/461 , A61B6/465 , A61B6/467 , A61B6/54 , A61B6/547 , A61B6/587 , G01N23/04 , G01T1/175 , G06F19/34 , H05G1/30 , H05G1/56 , G01N9/24 , A61B6/00 , G01N5/00 , G01N5/04 , G01N23/00 , G01N23/043 , G01N23/2202 , G01N23/223 , G01T1/16 , G01T7/00
摘要： 일실시예에따르면엑스선을발생시켜대상체에조사하는엑스선조사부; 및상기엑스선조사부의위치정보와엑스선디텍터의위치정보를획득하고, 상기획득된엑스선조사부의위치정보및 상기획득된엑스선디텍터의위치정보에기초하여, 상기엑스선디텍터를선택하는메인제어부를포함하는, 엑스선장치를개시한다.
摘要翻译：根据实施例的X射线装置包括被配置为产生X射线并向对象辐射X射线的X射线辐射单元; 以及主控制单元，被配置为获取X射线单元的取向信息和X射线检测器的取向信息，并且基于X射线单元的取向信息和X射线检测器的取向信息来选择X射线检测器 X光检测器。

5. 发明公开

KR1020130082086A 복합재 재료를 검사하기 위한 알에프 반사 审中-实审
标题翻译： RF反射检查复合材料
公开(公告)号：KR1020130082086A
公开(公告)日：2013-07-18
申请号：KR1020127032162
申请日：2011-05-16
申请人： 파라마타 리미티드
发明人： 로에,크리스토퍼,로빈 , 제인,카르쉬마 , 스티븐슨,애드리안,컬
IPC分类号： G01N22/02 , G01N33/44
CPC分类号： G01N22/02 , G01N33/442 , G01N5/00 , G01N5/04 , G01N5/045 , G01N9/24 , G01N23/00 , G01N23/04 , G01N23/043 , G01N23/20 , G01N23/2202 , G01N23/223
摘要： 매트릭스 내에서 실질적으로 동등하게 공간지워져 재료가 적어도 하나의 차원에서 코히어런트 전기적 주기성을 갖는 매트릭스임과 더불어 다수의 비-절연 입자(40)로 형성된 재료(30)와; 소스 RF 신호 및 되돌아온 RF 신호를 수신하도록 배열된, 소스 RF 신호가 되돌아온 RF 신호를 발생시키도록 비-절연 입자에 의해 반사되는, 수신기(10);를 구비하여 구성되는 감지 시스템. 비-절연 입자 중 하나 이상의 위치에서의 변화가 변화에 대해 되돌아온 RF 신호를 야기시켜, 재료의 특성에서의 변화가 되돌아온 RF 신호로부터 결정될 수 있다.
摘要翻译：一种感测系统，其包括由矩阵形成的材料（30）和在所述基体内基本等间隔的多个非绝缘颗粒（40），使得所述材料在至少一个维度上具有相干的电周期性; 和接收器（10），所述接收器被布置为接收源RF信号和返回的RF信号，所述源RF信号被所述非绝缘粒子反射以产生返回的RF信号。一个或多个非绝缘颗粒的位置变化导致返回的RF信号改变，从而可以从返回的RF信号确定材料的性质的变化。

6. 发明公开

KR1020130072248A 액체의 표면을 부유하는 시료의 주사 전자 현미경 관찰 방법 无效
标题翻译：用扫描电子显微镜检测液体表面浮标的方法
公开(公告)号：KR1020130072248A
公开(公告)日：2013-07-01
申请号：KR1020137008741
申请日：2011-09-16
申请人： 가부시키가이샤 히다치 하이테크놀로지즈
发明人： 시오노,마사미찌 , 니시무라,마사꼬 , 고노미,마미 , 구와바따,스스무
IPC分类号： G01N1/28 , G01N23/225 , H01J37/20
CPC分类号： G01N23/2202 , G01N1/2813 , G01N23/2251 , H01J37/20 , H01J37/28 , H01J2237/2002 , H01J2237/2605
摘要： 이온 액체의 표면을 부유하는 미세 시료를, 이온 액체에 덮이는 일 없이 주사 전자 현미경으로 관찰한다. 부유성 혹은 소수성의 시료를 친수성의 이온 액체 수용액의 표면에 떠오르게 함으로써, 미세 시료가 이온 액체에 덮이는 것을 방지한다. 친수성의 시료인 경우에는, 소수성의 이온 액체를 사용한다. 점성이 낮고, 유동성이 큰 이온 액체 수용액을 이용함으로써 미세 시료가 이온 액체의 표면에서 자유롭게 응집, 분산, 정렬할 수 있도록 하고, 나아가서는 이온 액체 중에 침강한 미세 시료의 재부상을 가능하게 한다. 미세 시료의 형태가 안정된 후, 주사 전자 현미경하에서의 관찰을 용이하게 하기 위해서, 전자 현미경 관찰 전에 이온 액체 수용액을 건조시킴으로써, 이온 액체 수용액의 유동성을 저하시킨다.

7. 发明公开

KR1020150054428A 1개의 TEM 관찰용 그리드에 복수개의 시료를 로딩하는 방법 및 시료로딩장치 有权
标题翻译：用于在一个网格上加载多个样本的方法用于观察TEM和样本装载装置
公开(公告)号：KR1020150054428A
公开(公告)日：2015-05-20
申请号：KR1020130136852
申请日：2013-11-12
申请人： 한국기초과학지원연구원
发明人： 천성식 , 김정균 , 정종만 , 이은지 , 김윤중
IPC分类号： G01N1/28 , G01N23/225 , H01J37/26
CPC分类号： G01N23/2202 , G01N2223/04 , G01N2223/418 , H01J2237/201 , H01J2237/204
摘要： 본발명은시료를 TEM으로관찰시 하나의그리드에복수개의시료를로딩시킴으로써 1회의 TEM 장비세팅으로복수개의시료를관찰할수 있도록하는시료를로딩하는방법및 시료로딩장치에관한것으로, 보다상세하게는, (A) 수평으로놓여진그리드의일영역수직상부의소정높이에, 상기그리드의유효부면적의 1/2미만크기의개구가하나또는복수개형성된마스크를수평으로장착하는단계; (B) 상기마스크개구의수직상부의소정높이에, 연무판이아래를향하도록초음파진동자를수평으로장착하는단계; (C) 상기초음파진동자의상면에시료액을로딩하고초음파진동자를작동시키는단계; (D) 상기그리드의일영역과겹치지않는타영역에서, 초음파진동자와마스크를교체또는세척하고, 다른시료액으로, 상기단계(A)~(C)를반복하는단계;를포함하는, 1개의 TEM 관찰용그리드에복수개의시료를로딩하는방법및 이를위한시료로딩장치에관한것이다.
摘要翻译：提供一种用于在一个格子上装载多个样品用TEM观察和样品装载装置的方法，以便在用TEM观察样品的同时将多个样品加载到一个网格上，并且只用一次TEM设备观察多个样品设置。本发明的方法包括以下步骤：（A）将一个或多个开口水平安装在一个或多个开口上，所述开口的尺寸是一个或多个有效单位面积的一半或更小的垂直顶部的一个高度水平放置的网格区域; （B）将雾化板的面罩开口的垂直顶部的一定高度水平地安装在超声波振动器的下方; （C）将试样溶液装载在超声波振子的顶面上并操作超声波振动器; 和（D）在不与网格的一个区域重叠的另一区域中更换或清洁超声波振动器并且掩模，并且用另一个样品溶液重复步骤（A）至（C）。

8. 发明公开

KR1020140059012A 비파괴 검사 장치 无效
标题翻译：非结构测试系统
公开(公告)号：KR1020140059012A
公开(公告)日：2014-05-15
申请号：KR1020120125584
申请日：2012-11-07
申请人： 고려대학교 산학협력단
发明人： 이원호
IPC分类号： G01N23/04
CPC分类号： G01N23/043 , G01N5/00 , G01N5/04 , G01N5/045 , G01N7/00 , G01N7/18 , G01N9/24 , G01N23/00 , G01N23/04 , G01N23/20 , G01N23/2202 , G01N23/223 , G01N2223/1016 , G01N2223/423
摘要： The present invention relates to a non-destructive inspection device: which irradiates radiation to an object to be inspected through a radiation source and then detects radiation penetrating the object in order to collect image information; which detects a unique energy spectrum of a material emitted from the object through mutual reaction with radiation in order to collect substance information; which combines the image information with the substance information in order to obtain material analysis information where the substance information of the object is indicated as a three-dimensional (3D) shape on the image information; and by calculating the material analysis information of the object in time-changing states, the non-destructive inspection device provides five different dimensional information including the 3D image information, substance information, and time-changing states of the object.
摘要翻译：本发明涉及一种非破坏性检查装置，其通过辐射源将辐射照射到被检查物体，然后检测穿透物体的辐射以收集图像信息; 其通过与辐射的相互反应来检测从物体发射的材料的独特能谱，以便收集物质信息; 其将图像信息与物质信息组合，以获得物体分析信息，其中物体的物质信息在图像信息上被指示为三维（3D）形状; 通过计算时变状态下的物体的材料分析信息，非破坏性检查装置提供包括3D图像信息，物质信息以及对象的时变状态的五种不同的尺寸信息。

9. 发明公开

KR1020110021822A 집속 이온빔 디바이스 및 주사형 전자 현미경을 이용하여 반도체 구조체의 3차원 이미지를 생성하는 방법 有权
标题翻译：使用聚焦离子束装置和扫描电子显微镜产生半导体结构的三维图像的方法
公开(公告)号：KR1020110021822A
公开(公告)日：2011-03-04
申请号：KR1020107026657
申请日：2009-05-27
申请人： 램 리써치 코포레이션
发明人： 와가너에릭
IPC分类号： H01L21/66
CPC分类号： G01N23/2202 , H01J37/28 , H01J37/3056 , H01J2237/2813 , H01J2237/3174 , H01J2237/31745 , H01J2237/31749 , H01L22/10
摘要： 개시된 방법은, 피처의 단면을 반복적으로 생성함으로써 하나 이상의 제작된 피처의 이미지를 생성한다. 이 방법은, 밀링된 표면이 피처가 위치하는 층에 실질적으로 평행한 하나 이상의 제작된 피처에 근접한 표면을 밀링하는 단계를 포함한다. 각각의 밀링 단계에서, 하나 이상의 제작된 피처의 톱-다운 이미징은 복수의 단면 이미지를 생성한다. 복수의 단면 이미지의 각각은 제작된 피처의 표현으로 재구성된다.

10. 发明授权

KR100253145B1 표본 분리방법과, 표본 분리방법으로 분리된 표본의 분석방법 失效
标题翻译：分离样品的样品分离方法和分析方法
公开(公告)号：KR100253145B1
公开(公告)日：2000-04-15
申请号：KR1019920014262
申请日：1992-08-08
申请人： 가부시끼가이샤 히다치 세이사꾸쇼
发明人： 오오니시쯔요시 , 이시따니도오루
IPC分类号： H01J27/00
CPC分类号： H01J37/3056 , G01N23/2202 , H01J37/20 , H01J37/31 , H01J2237/2007 , H01J2237/20264
摘要： 원하는 부분이 집적회로 칩 또는 반도체 웨이퍼로부터 분리될 때, 부분은 칩 또는 웨이퍼의 분할없이 분리되어, 분리된 표본은 원하는 위치로 이동될 수 있고 분리된 표면은 원하는 자세로 설정될 수 있다. 따라서, TEM, SEM, SIMS 등을 통해 표면에 다양한 분석이 실행될 수 있다. 표본의 미소 조각은 세개의 이 형상 미소 공정 기술과 극미-조작 기술의 사용으로 표본의 기판으로 부터 잘라져 분리된다. 표본의 표면은 최소한 두 종류의 각으로 부터 FIB 공정에 종속되고, 분석되는 부분을 포함한 표본의 부분을 분리하는 단계에서 분리된 표면을 외부탐침에 기계적으로 연결한다. 이동되는 분리된 표본은 탐침으로 지지된다. 분리된 표본은 TEM, SEM, SIMS 등으로 통해 분석에 종속된다.

你已经成功收藏专利！

检索式保存成功!

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式