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    • 2. 发明授权
    • 고발열량 연소실험 시스템
    • KR101851683B1
    • 2018-04-24
    • KR1020170168527
    • 2017-12-08
    • 한국가스안전공사
    • 문종삼엄석화최성준이재훈김광석김보경정해관
    • G01N25/28G01N33/22
    • G01N25/28G01M10/00G01N25/54G01N33/225G01N33/227
    • 본발명은, 복수개의블록이연결되어실험공간부를이루고, 상기실험공간부로작업자가출입할수 있는출입구, 및연소실험중에발생되는배기가스를상기실험공간부외부로배출시키는배출구가구비되는구조물본체; 상기실험공간부내부에배치되는실험대상물을연소시키도록화염을제공하는점화장치; 상기실험공간부에발생되는화염이확산되도록상기실험공간부에공기를공급하는송풍장치; 실험대상물이연소되어발생되는배기가스를상기실험공간부외부로배출시키는배기장치; 상기배기장치를따라배출되는배기가스의온도, 유속및 유해물질함유량을측정하여데이터를제공하는감지장치; 상기감지장치로부터제공되는데이터로부터상기실험공간부에발생되는화원의발열량을계산하는발열량측정장치; 상기배기장치를따라배출되는배기가스중에포함되는이물질을거르는집진장치; 상기집진장치를통과하여배출되는배기가스를대기중으로배출시키는굴뚝; 및상기점화장치, 상기송풍장치, 상기배기장치를제어하는컨트롤부가설치되고, 상기감지장치에의해측정되는데이터가수신되어저장되는컨트롤부가설치되는제어실을포함하고, 상기구조물본체는, 지상으로돌출되게형성되어상기실험공간부를이루고, 일측에상기출입구가형성되는본체블록; 상기본체블록의바닥면을이루도록일체로형성되고, 완충토사가충진되는홈부가구비되며, 상기송풍장치가설치되는설치공간부가형성되는베이스블록; 상기베이스블록에일측에배치되고, 상기출입구에연결되어상기제어실을이루는제어블록; 상기제어블록을지면으로부터지지하도록상기베이스블록일측에배치되는지지블록; 상기베이스블록의홈부내부에배치되도록상기완충토사에안착되고, 실험대상물이지지되는실험블록; 및상기제어블록과상기본체블록사이에개재되고, 상기지지블록과상기베이스블록사이에개재되며, 상기실험블록과상기베이스블록사이에개재되는완충부재를포함하는것을특징으로한다.
    • 6. 发明公开
    • 감압 처리 장치에 있어서의 배출 가스 방폭 방법
    • 防止排气处理装置中的排气爆炸的方法
    • KR1020150131961A
    • 2015-11-25
    • KR1020150060349
    • 2015-04-29
    • 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
    • 아미쿠라노리히코사사키노리카즈미요시리사코
    • H01L21/02H01L21/3065
    • F23N5/24F23M11/00F23M2900/11021G01N25/54H01J37/32834H01J37/32844Y02C20/30Y02P70/605Y10T137/0346
    • 본발명은, 섞이면폭발가능성이있는특정가연성가스(CH, CHF, CHF)와할로겐계의지연성가스의조합에대해서, 감압처리장치의진공펌프의출구측에서배출가스의폭발을미연에방지하기위해이용하는희석용불활성가스의사용효율을최적화하는것을목적으로한다. 이플라즈마처리장치에있어서, 주제어부(42)는, 배출가스처리부(40)에있어서의배출가스처리의상황을희석컨트롤러(45)를통해관리할수 있다. 배출가스처리부(40)는, 진공펌프(36)의출구에배기관(46)을통해접속되는제해장치(48)와, 진공펌프(36)의출구부근에서배기관(46)에희석가스공급배관(50)을통해접속되는희석가스원(52)과, 희석가스공급배관(50)의중간에설치되는 MFC(54) 및개폐밸브(55)와, 희석가스공급배관(50)의종단(노드 N)보다도하류측에서배기관(46)에부착되는가스센서(56)와, MFC(54)를제어하는희석컨트롤러(45)로구성되어있다.
    • 本发明的目的是优化用于稀释的惰性气体的使用效率,其能够防止在减压处理装置的真空泵的出口处的废气的爆炸。 气体是具有爆炸概率的阻燃气体和特定可燃气体(CH_4,CH_3F,CH_2F_2)的组合。 等离子体处理装置包括通过稀释控制器(45)管理废气处理部(40)的废气处理状况的主控制部(42)。 排气处理部(40)包括通过排气管(46)与真空泵(36)的出口连接的预处理装置(48)。 通过所述真空泵(36)的出口周围的稀释气体供给管(50)与所述排气管(46)连接的稀释气体源(52)。 MFC(54)和开启阀(55),安装在稀释气体供给管(50)的中间部分; 在所述稀释气体供给管的端部(节点N)的下方,安装在所述排气管(46)的气体传感器(56) 和稀释控制器(45)控制MFC(54)。