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1. 发明公开

KR1020170141943A 반도체의 고속 광학 검사방법 审中-实审
标题翻译：半导体的高速光学检测方法
公开(公告)号：KR1020170141943A
公开(公告)日：2017-12-27
申请号：KR1020160075008
申请日：2016-06-16
申请人： 한국과학기술원
发明人： 조용훈 , 임승혁 , 송현규
IPC分类号： G01N21/88 , G01J1/44
CPC分类号： G01N21/8806 , G01J1/44 , G01J2001/448 , G01N2201/1042
摘要： 본발명은, 반도체의고속광학검사방법에관한것으로, 보다구체적으로, 시편을여기시키는단계; 상기시편에서발광된빛을스캔하여측정광을획득하는단계; 상기측정광을분광기로전달하는단계; 상기전달된측정광을분광기를이용하여선측정하거나또는면측정하여광학정보를획득하는단계; 및상기광학정보를 CCD(전자결합소자)를이용하여 CCD 이미지를획득하여광학정보를처리하는단계; 를포함하는, 반도체의고속광학검사방법에관한것이다. 본발명은, 기존의반도체소자의광학검사방법에비하여, 검사시간을대폭줄일 수있다.
摘要翻译：本发明涉及一种半导体的高速光学检查方法，更具体地说，扫描试样发出的光线以获得测量光; 将测量光传输至分光镜; 通过使用分光镜对透射的测量光进行线或平面测量来获取光学信息; 并且通过使用CCD（电子耦合装置）获取CCD图像来处理光学信息以处理光学信息; 用于半导体的高速光学检测方法。产业上的可利用性本发明与现有的半导体装置用光学检查方法相比，能够大幅缩短检查时间。

2. 发明公开

KR1020160083765A 곡면 소재 검사 장치 无效
标题翻译：用于检查具有弯曲表面的玻璃的装置
公开(公告)号：KR1020160083765A
公开(公告)日：2016-07-12
申请号：KR1020150000302
申请日：2015-01-02
申请人： 안성룡
发明人： 안성룡
IPC分类号： G01N21/958 , G01N21/952 , G01N21/88
CPC分类号： G01N21/958 , G01N21/952 , G01N2201/0635 , G01N2201/102 , G01N2201/1042 , G01N2201/1047
摘要： 본발명은곡면형상을가지는소재에대하여평면부분과곡면부분을모두정확하게검사할수 있는곡면소재검사장치에관한것으로서, 본발명에따른곡면소재검사장치는, 피검사대상곡면소재(1)를장착하는장착지그(110); 상기장착지그(110)를회동및 상하구동시키는지그구동부(120); 상기장착지그(110)의상측에설치되며, 상기장착지그(110)에장착된피검사대상곡면소재(1)를검사하는검사카메라(130); 상기장착지그(130)의주변에설치되며, 상기곡면소재(1)에조명을조사하는조명부(150); 상기장착지그(110)를상기곡면소재(1)의검사위치에따라상하구동및 회동시키면서상기검사카메라(130)를이용하여검사하는제어부(도면에미도시);를포함한다.
摘要翻译：本发明涉及一种能够精确检查具有弯曲表面的材料的平坦部分和弯曲部分的弯曲表面材料的装置。根据本发明的实施例的检查曲面材料的装置包括：保持检查对象弯曲材料（1）的安装夹具（110）; 夹具驱动单元，用于使安装夹具旋转或升高; 安装在安装夹具（110）的上侧的检查照相机（130），用于检查安装在安装夹具（110）中的检查对象弯曲材料（1）。安装在所述安装夹具（130）附近以照射所述弯曲表面材料（1）的照明单元（150）; 以及控制单元（未示出），以通过根据检查位置升高或旋转安装夹具（110）来检查使用检查照相机（130）的弯曲表面材料（1）。

3. 发明授权

KR101658123B1 검사 전처리 정렬 유닛을 구비한 패널 검사 장치 有权
标题翻译：面板测试装置具有面板测试的预对准单元
公开(公告)号：KR101658123B1
公开(公告)日：2016-10-04
申请号：KR1020160086561
申请日：2016-07-08
申请人： 주식회사 엠오티
发明人： 박호식 , 박찬선 , 김태윤 , 박희철 , 송기훈
IPC分类号： G01N21/88 , H01L21/677
CPC分类号： G01N21/8806 , G01N2201/1042 , G01N2201/1056 , H01L21/677
摘要： 본발명은광소자어레이패널의검사를위해미리광소자어레이패널을워크테이블에정확하게정렬하는기술로서, 광소자어레이패널의불량을검사할때 그검사가정확하게이루어지도록검사직전에해당패널을워크테이블에정확하면서도쉽게정렬할수 있도록하는기술이다. 특히, 워크테이블의하부에슬라이드정렬부를구비하여다양한규격을갖는광소자어레이패널에대응하여손쉽게정렬작업을수행하도록하는기술에관한것이다. 본발명에따르면, 프로브블록에프로브가압블록을구비함으로써광소자어레이패널표면의미세한굴절에도불구하고필름타입의브로브와광소자어레이패널의패턴부와의접촉을에러없이정확하게수행하도록하는장점이있다.

4. 发明授权

KR100974111B1 표면들을 광학적으로 조사하기 위한 광학 센서 및 상기조사를 위한 방법 失效
标题翻译：光学传感器和光学检测表面的方法
公开(公告)号：KR100974111B1
公开(公告)日：2010-08-04
申请号：KR1020070038190
申请日：2007-04-19
申请人： 지멘스 악티엔게젤샤프트
发明人： 하이네,볼프강 , 스피리에겔,디이터 , 스토크만,미하엘 , 베버,마틴
IPC分类号： G01J1/02
CPC分类号： G01N21/896 , G01N21/8901 , G01N21/958 , G01N33/386 , G01N2021/4716 , G01N2021/4735 , G01N2021/8905 , G01N2201/0642 , G01N2201/1042
摘要： 유리와 같은 평탄한 표면들 상에 나타날 수 있는 점형태(punctiform), 선형(linear) 또는 층형(laminar) 결함들을 검출하기 위하여 광학 센서가 사용된다.
상기 광학 센서는 a) 텔레센트릭 레이저 스캐너(12); 및 b) 검출 유닛(11)을 포함하고,
상기 텔레센트릭 레이저 스캐너(12)는 평탄한 표면(5)에 거의 수직하는 조명을 위한 레이저(1), 스캐닝 미러(2), 및 조명 및 검출 빔들을 안내하기 위한 텔레센트릭 광학 시스템(4)을 구비하고,
상기 검출 유닛(11)은 광학 검출기 시스템(8), 텔레센트릭 레이저 스캐너(4)를 향해서 광학 검출기 시스템 부근에 동심적으로(concentrically) 위치되는 중앙 조리개(9), 평탄한 표면들(5) 상의 결함들로부터 나오는 스캐터링된 광을 검출하기 위한 고감도 광전자증배기(6), 및 상기 광전자증배기(6)의 업스트림에 배치되는 슬릿 조리개(9)를 구비한다.
응용/제품 : 표면들의 광학 조사를 위한 조사 시스템

5. 发明公开

KR1020180007194A 양단지지보 구조의 초고속 리뷰 검사장치 有权
标题翻译：两端支撑梁结构的高速审查检查系统
公开(公告)号：KR1020180007194A
公开(公告)日：2018-01-22
申请号：KR1020160088106
申请日：2016-07-12
申请人： 주식회사 에이치비테크놀러지
发明人： 안덕상
IPC分类号： G01N21/88 , G01B11/00 , H04N5/225
CPC分类号： G01N21/8851 , G01B11/00 , G01N2021/887 , G01N2201/1042 , H04N5/225
摘要： 본발명은갠트리형태로형성된초고속리뷰검사장치에있어서, X축방향으로이동하는 X축리니어스테이지와 Y축방향으로이동하는 Y축리니어스테이지및 상기 X축리니어스테이지의이동구간보다작은구간으로이동하는스몰 X축리니어스테이지각각에리니어가이드또는구동부가배치된프레임이나바를구비하고, 상기스몰 X축리니어스테이지에스몰바에배치된구동부에는측정프로브가장착되어구동함으로써측정대상물의측정이가능한검사장치이다.
摘要翻译：本发明涉及方法，移动一小部分比所述Y轴的线性台的移动范围，并在X轴线性平台和Y轴方向上的机架型的形成在高速审查测试装置在X轴方向上移动X轴线性平台具有设置在每个线性台架或杆和所述小的驱动装置上的线性导向件或驱动装置小型X轴在X轴线性台条小配备了测量探头扫描测量物体通过驱动被测量可用的设备。

6. 发明授权

KR101018207B1 빔 스캐너 및 표면 측정 장치 失效
标题翻译：光束扫描仪和表面测量装置
公开(公告)号：KR101018207B1
公开(公告)日：2011-02-28
申请号：KR1020090009747
申请日：2009-02-06
申请人： 삼성전기주식회사
发明人： 김택겸 , 김배균
IPC分类号： H01L21/66 , G01N21/88
CPC分类号： G01B11/24 , G01N21/94 , G01N21/9501 , G01N2201/1042 , G02B26/12
摘要： 본 발명은 빔 스캐너 및 표면 측정 장치에 관한 것으로서, 본 발명의 일 측면은, 상부 및 하부 반사면과 상기 상부 및 하부 반사면 사이에 위치한 복수의 측 반사면을 구비하며, 상기 상부 및 하부 반사면을 관통하는 회전축을 중심으로 회전하여 상기 측 반사면에 입사된 빔을 일 방향으로 주사하는 회전미러와, 제1 빔을 상기 측 반사면에 조사하는 제1 광원과, 제2 빔을 상기 상부 및 하부 반사면 중 적어도 하나의 면에 조사하는 제2 광원 및 상기 제2 빔 중 상기 회전미러에 의해 반사된 빔을 수광하는 검출부를 포함하며, 상기 검출부는 상기 회전미러의 상하 움직임에 따른 상기 제1 빔의 주사 위치를 보정하는 보정부인 빔 스캐너를 제공한다.
본 발명에 따르면, 빔 스캔용 회전 미러의 움직임에 따른 오차를 최소화함으로써 고속·고분해능의 표면 측정이 가능한 빔 스캐너 및 표면 측정 장치를 얻을 수 있다.
표면 측정, 표면 검사, 빔 스캐너, 회전미러, 폴리곤 미러, 흔들림

7. 发明公开

KR1020100090460A 빔 스캐너 및 표면 측정 장치 失效
标题翻译：光束扫描仪和表面测量装置
公开(公告)号：KR1020100090460A
公开(公告)日：2010-08-16
申请号：KR1020090009747
申请日：2009-02-06
申请人： 삼성전기주식회사
发明人： 김택겸 , 김배균
IPC分类号： H01L21/66 , G01N21/88
CPC分类号： G01B11/24 , G01N21/94 , G01N21/9501 , G01N2201/1042 , G02B26/12
摘要： PURPOSE: A beam scanner and an apparatus for measuring a surface are provided to improve the precision of a surface measurement by minimizing errors according to the movement of a rotary mirror. CONSTITUTION: A rotary mirror(102) includes an upper and a lower reflecting surface and a plurality of lateral reflecting surfaces. The rotary mirror rotates around a rotary shaft and scans beam, which is radiated on the lateral reflecting surfaces, to one direction. The rotary shaft passes through the upper and the lower reflecting surface. First light source(101) radiates first beam toward the lateral reflecting surfaces. Second light source radiates second beam toward either of the upper reflecting surface and the lower reflecting surface. A detector(104) receives reflected second beam from a rotary mirror.
摘要翻译：目的：提供一种光束扫描器和用于测量表面的装置，以通过根据旋转镜的运动使误差最小化来提高表面测量的精度。构成：旋转镜（102）包括上反射面和下反射面以及多个侧面反射面。旋转镜绕旋转轴旋转，将辐射在侧面反射面上的光束扫描到一个方向。旋转轴通过上反射面和下反射面。第一光源（101）朝向侧面反射面辐射第一光束。第二光源将第二光束照射到上反射面和下反射面中的任一个。检测器（104）从旋转镜接收反射的第二光束。

8. 发明公开

KR1020070105854A 표면들을 광학적으로 조사하기 위한 광학 센서 및 상기조사를 위한 방법 失效
标题翻译：光学传感器和光学检测表面的方法
公开(公告)号：KR1020070105854A
公开(公告)日：2007-10-31
申请号：KR1020070038190
申请日：2007-04-19
申请人： 지멘스 악티엔게젤샤프트
发明人： 하이네,볼프강 , 스피리에겔,디이터 , 스토크만,미하엘 , 베버,마틴
IPC分类号： G01J1/02
CPC分类号： G01N21/896 , G01N21/8901 , G01N21/958 , G01N33/386 , G01N2021/4716 , G01N2021/4735 , G01N2021/8905 , G01N2201/0642 , G01N2201/1042
摘要： An optical sensor and a method for optically inspecting surfaces are provided to perform a perfect optical inspection for planar surfaces relative to punctiform, linear or laminar defects within the range of a few micrometers. An optical sensor for optically inspecting surfaces comprises a telecentric laser scanner(12) and a detection unit(11). The telecentric laser scanner(12) comprises a laser(1) for irradiating a beam onto a planar surface(5), a scanning mirror(2) and a telecentric optical system(4) for inducing beams. The detection unit(11) comprises an optical detection system(8), a central diaphragm(9), a high sensitive photomultiplier(6) and a slit diaphragm(7). The central diaphragm(9) is concentrically located around the optical detection system(8) toward the telecentric optical system(4). The high sensitive photomultiplier(6) detects scattered light output from defects on the planar surface(5).
摘要翻译：提供光学传感器和用于光学检查表面的方法，以对于在几微米范围内的点状，线性或层状缺陷的平面表面进行完美的光学检查。用于光学检查表面的光学传感器包括远心激光扫描仪（12）和检测单元（11）。远心激光扫描器（12）包括用于将光束照射到平面（5）上的激光（1），用于感应光束的扫描镜（2）和远心光学系统（4）。检测单元（11）包括光学检测系统（8），中央隔膜（9），高灵敏度光电倍增管（6）和狭缝隔膜（7）。中心隔膜（9）同心地位于光学检测系统（8）周围朝向远心光学系统（4）。高灵敏度光电倍增管（6）检测从平面（5）上的缺陷输出的散射光。

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