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1. 发明授权

KR101923105B1 에어 포켓 검출 방법 및 시스템 有权
公开(公告)号：KR101923105B1
公开(公告)日：2018-11-28
申请号：KR1020147020696
申请日：2012-12-17
申请人： 썬에디슨 세미컨덕터 리미티드
发明人： 발리,존에프.
IPC分类号： G06T7/00 , G06T7/60
CPC分类号： G06T7/0002 , G01N21/00 , G01N21/59 , G01N21/88 , G01N21/9505 , G01N2021/5957 , G01N2021/8477 , G06F17/10 , G06T7/0004 , G06T7/68 , G06T2207/10048 , G06T2207/30148 , H01L22/12
摘要： 단결정재료내의에어포켓의검출에사용하기위한방법및 시스템이설명된다. 일예의방법은, 복수의데이터유닛을포함하는매트릭스를제공하는단계 - 복수의데이터유닛은단결정재료의관심영역에관련된이미지데이터를포함함 -; 프로세서에의해, 매트릭스의데이터유닛과, 매트릭스의대응하는데이터유닛사이의차분을결정하는단계 - 대응하는데이터유닛은매트릭스에대한제1 연산에의해정의됨 -; 프로세서에의해, 대응하는데이터유닛들의차분들에기초하여제1 인덱스값을산출하는단계; 및제1 인덱스값 및미리정해진임계값에기초하여단결정재료내의에어포켓을식별하는단계를포함한다.

2. 发明公开

KR1020050056924A 스폿 그리드 어레이 이미징 시스템 无效
标题翻译：点阵阵列成像系统
公开(公告)号：KR1020050056924A
公开(公告)日：2005-06-16
申请号：KR1020047007009
申请日：2002-11-07
申请人： 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
发明人： 알모기,길라드 , 라체스,오렌
IPC分类号： G01N21/95
CPC分类号： G01N21/9501 , G01N21/8806 , G01N27/128 , G01N2021/5957 , G01R31/2635
摘要： A high data-rate spot-grid array imaging system is provided that compensates for stage vibrations and overcomes the severe linearity requirements of prior art systems. Embodiments include an imaging system with a two-dimensional and periodic array of lenses, each lens imaging a spot in an object plane, such as a semiconductor substrate to be inspected, upon an image plane to image a two-dimensional and periodic array of spots. A sensor is provided in a conjugate image plane with a two-dimensional and periodic array of readout elements, each collecting the signal from one of the spots. A mechanical system moves the substrate in a direction which is nearly parallel to an axis of the array of spots such that as the substrate is moved across the spot array in the scan direction (the y-direction) the spots trace a path which leaves no gaps in the mechanical cross-scan direction (the x-direction). A compensator, such as a servo or a movable mirror, compensates for mechanical inaccuracies in the moving stage, thereby increasing imaging accuracy. In other embodiments, the motion of the mechanical system provides a small overlap between coverage areas of lenses of the lens array in consecutive columns, thereby overcoming the severe linearity requirements of prior art systems and allowing the utilization of cost effective microlens arrays.
摘要翻译：提供了高数据速率点阵阵列成像系统，其补偿舞台振动并克服现有技术系统的严格线性要求。实施例包括具有二维和周期性透镜阵列的成像系统，每个透镜在像平面上成像物体平面中的点，例如待检查的半导体衬底，以成像二维和周期性阵列阵列。在共轭图像平面中提供传感器，其具有读出元件的二维和周期性阵列，每个都从一个点收集信号。机械系统使基板沿着几乎平行于点阵列的轴线的方向移动，使得当基板在扫描方向（y方向）上移动穿过光点阵列时，斑点追踪不留下的路径机械横向扫描方向（x方向）的间隙。诸如伺服或可移动镜的补偿器补偿了移动台中的机械不准确度，从而提高了成像精度。在其他实施例中，机械系统的运动在连续列中提供透镜阵列的透镜的覆盖区域之间的小重叠，从而克服现有技术系统的严格线性要求并允许利用成本有效的微透镜阵列。

3. 发明公开

KR1020040108539A 패턴 검사 방법 및 장치 失效
标题翻译：模式检测方法和使用透射光使自动图案检测的装置
公开(公告)号：KR1020040108539A
公开(公告)日：2004-12-24
申请号：KR1020040023729
申请日：2004-04-07
申请人： 우시오덴키 가부시키가이샤
发明人： 하야시히로키 , 나가모리신이치
IPC分类号： G01N21/956
CPC分类号： G01N21/95684 , G01N21/4133 , G01N21/956 , G01N2021/5957 , H01L22/24
摘要： PURPOSE: A pattern inspection method and an apparatus thereof are provided to enable automatic pattern inspection by using transmitted light. CONSTITUTION: A pattern inspection apparatus includes a depositing unit(2), a photographing unit, an illuminating unit(1a), and a control unit(4). The pattern inspection apparatus has wiring formed thereon, is photographed by a photographing element, and is automatically detected. The depositing unit deposits liquid on the surface of a substrate. The photographing unit photographs the substrate. The illuminating unit(1a) irradiates the side opposite to the side on which the photographing unit is installed. The control unit(4) compares an image pattern of a substrate photographed by the photographing unit and a reference patter previously stored.
摘要翻译：目的：提供图案检查方法及其装置，以通过使用透射光进行自动图案检查。构成：图案检查装置包括存放单元（2），拍摄单元，照明单元（1a）和控制单元（4）。图案检查装置具有形成在其上的布线，由拍摄元件拍摄，并且被自动检测。沉积单元将液体沉积在基底的表面上。拍摄单元拍摄基板。照明单元（1a）照射与安装摄影单元的一侧相对的一侧。控制单元（4）比较由拍摄单元拍摄的基板的图像图案和预先存储的参考图案。

4. 发明公开

KR1020040071637A 가스 농도 측정 장치 및 가스 농도 측정 방법 失效
标题翻译：用于测量气体浓度以精确测量原始气体浓度的装置和方法
公开(公告)号：KR1020040071637A
公开(公告)日：2004-08-12
申请号：KR1020040007450
申请日：2004-02-05
申请人： 오므론 레이저프론트 가부시키가이샤
发明人： 모리시게유키오
IPC分类号： G01N25/02
CPC分类号： G01N25/385 , G01N21/5907 , G01N25/46 , G01N25/68 , G01N2021/5957
摘要： PURPOSE: An apparatus and a method for measuring a gas concentration are provided to precisely measure a raw gas concentration without previously preparing a table explaining a relationship between time and the raw gas concentration. CONSTITUTION: An apparatus for measuring a gas concentration includes a laser light source(7) for generating a laser light(71). A temperature adjustment unit is installed on a substrate in order to adjust the temperature of one part of the substrate. A microscope observation laser investigation unit(4) supplies a raw gas to the substrate(8), and simultaneously investigates the laser light generated from the laser light source to the temperature adjustment unit. The microscope observation laser investigation unit photographs a condensation crystal(10) of the raw gas condensed on a surface of the temperature adjustment unit.
摘要翻译：目的：提供一种用于测量气体浓度的装置和方法，用于精确测量原始气体浓度，而无需事先准备说明时间与原始气体浓度之间关系的表格。构成：用于测量气体浓度的装置包括用于产生激光（71）的激光源（7）。为了调整基板的一部分的温度，将温度调节单元安装在基板上。显微镜观察激光研究单元（4）将原料气体供给到基板（8），并且同时研究从激光光源产生的激光到温度调节单元。显微镜观察激光研究单元拍摄冷凝在温度调节单元的表面上的原料气体的缩合晶体（10）。

5. 发明公开

KR1020060050193A 가스 중의 불순물 정량 방법 및 장치 失效
标题翻译：用于确定气体中的污染物量的方法和装置
公开(公告)号：KR1020060050193A
公开(公告)日：2006-05-19
申请号：KR1020050064012
申请日：2005-07-15
申请人： 오츠카 일렉트로닉스 가부시키가이샤
发明人： 오까고오이찌 , 닛따사또시
IPC分类号： G01N21/31
CPC分类号： G01N21/3504 , G01N21/45 , G01N2021/5957
摘要： Impurity is removed from gas, the resultant gas is introduced into a cell 15 , and the intensity of light transmitted through the cell 15 is measured as a reference. Gas containing impurity of which concentration is known, is introduced into the cell 15 , and the intensity of light transmitted through the cell 15 is measured with the temperature and pressure maintained at those used at the measurement of the reference light intensity. Then, the absorbance of the impurity is obtained according to the ratio of the two light intensity data obtained by the two measurements above-mentioned. The impurity absorbance thus obtained is stored, in a memory 20 a, as a function of an impurity concentration. Gas containing impurity of which concentration is unknown, is introduced into the cell 15 , and the intensity of light transmitted through the cell 15 is measured with the temperature and pressure maintained at those used at the measurements above-mentioned. The absorbance of the impurity is obtained according to the last-measured light intensity and the reference light intensity. The absorbance thus obtained is applied to the function, thereby to obtain the impurity concentration.

6. 发明公开

KR1020050104032A 유전자 칩 스캐너 无效
标题翻译： DNA芯片扫描仪
公开(公告)号：KR1020050104032A
公开(公告)日：2005-11-02
申请号：KR1020040029191
申请日：2004-04-27
申请人： 한화테크윈 주식회사
发明人： 금정주
IPC分类号： G01N21/64
CPC分类号： G01N21/6404 , G01N2021/5957 , G01N2021/646
摘要： 본 발명은 광원에서 입사되는 빛이 바코드 라벨로는 조사되지 않는 구조를 가진 유전자 칩 스캐너를 제공하는 것을 목적으로 하며, 이와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 형광 물질이 표식된 적어도 하나 이상의 목적 DNA를 구비한 유전자 칩을 촬영영역으로 이송하는 이송장치와, 광원을 구비하여 촬영영역에 배치된 목적 DNA 상으로 특정 파장의 빛을 주사하는 광원 주사부와, 광원 주사부로부터 입사된 빛과 목적 DNA 상에 도포된 형광물질이 반응하여 발산되는 반사광을 파장별로 필터링하는 반사광 필터부와, 필터링된 특정 파장의 이미지를 획득하는 검출기 및 이미지를 분석하여 목적 DNA의 유전자 특성을 검출, 및 판독하는 화상 판독부를 구비한 유전자 칩 스캐너에 있어서, 광원 주사부와 촬영영역 사이에는, 광원 주사부로부터 주사된 빛이 바코드 라벨(barcode label)로 도달되는 것을 차단하는 광차단판이 배치된 것을 특징으로 하는 유전자 칩 스캐너를 제공한다.

7. 发明公开

KR1020040080961A 방사선 검사장치 失效
标题翻译：辐射检测装置通过使用不合规定的装置来排除污染物
公开(公告)号：KR1020040080961A
公开(公告)日：2004-09-20
申请号：KR1020040009895
申请日：2004-02-16
申请人： 가부시키가이샤 시마쓰세사쿠쇼
发明人： 사와다료이치 , 마사키도시미치
IPC分类号： G01N23/04
CPC分类号： G01N23/043 , G01N2021/5957 , G01N2223/652
摘要： PURPOSE: A radiation detecting apparatus is provided to exactly exclude impurities by using a bad article excluding unit. CONSTITUTION: A radiation detecting apparatus includes a radiation generating unit, a radiation detecting unit, a transportation unit, an image processing unit(5), and a bad article excluding unit(71). The radiation detecting unit is formed in one dimension or two dimensions. The radiation detecting unit includes a plurality of elements. The radiation detecting unit is arranged in opposition to the radiation generating unit. The transportation unit transports an article to be measured between the radiation generating unit and the radiation detecting unit. The image processing unit performs certification determination through image processing by means of an output of the radiation detecting unit.
摘要翻译：目的：提供放射线检测装置，通过使用不良物品排除单元来精确地排除杂质。构成：辐射检测装置包括辐射发生单元，辐射检测单元，运送单元，图像处理单元（5）和不良物品排除单元（71）。放射线检测单元形成为一维或二维。辐射检测单元包括多个元件。辐射检测单元与辐射发生单元相对地布置。运输单元在辐射发生单元和放射线检测单元之间输送要测量的物品。图像处理单元通过图像处理通过放射线检测单元的输出执行认证确定。

8. 发明公开

KR1020040067908A 기판 검사 장치 无效
标题翻译：用于在一个设备中实现外观检查的基板检查装置
公开(公告)号：KR1020040067908A
公开(公告)日：2004-07-30
申请号：KR1020040002860
申请日：2004-01-15
申请人： 오에누 덴시 가부시키가이샤
发明人： 다나카히로후미 , 후나이와케이
IPC分类号： G01N23/04
CPC分类号： G01N23/043 , G01G13/08 , G01N35/1011 , G01N2021/5957 , G01N2223/6113 , G03F1/42 , G06T7/0004 , H01L21/67703
摘要： PURPOSE: A substrate inspection apparatus is provided to enable appearance inspection by using only one apparatus. CONSTITUTION: A work(71) on a work stage(42) is imaged by an area camera(26) in an appearance inspection part(2) and is processed through image processing, thereby determining quality of a connection part. The work(71) is transferred from the work stage(42) of the appearance inspection part(2) to a work stage(43) of an X-ray inspection part(3) by an alignment camera(39). An X-ray is irradiated from an X-ray source(37). An X-ray image is photographed by a camera(38). The photographed out is subjected to image processing, thereby determining the quality of a part unseen from the appearance of the connection part.
摘要翻译：目的：提供一种基板检查装置，仅使用一种设备来进行外观检查。构成：在工作台（42）上的工件（71）通过外观检查部件（2）中的区域照相机（26）成像，并通过图像处理进行处理，从而确定连接部件的质量。通过对准摄像机（39）将工件（71）从外观检查部（2）的工作台（42）传送到X射线检查部（3）的工作台（43）。从X射线源（37）照射X射线。通过照相机拍摄X射线图像（38）。拍摄出来的图像被处理，从而确定从连接部分的外观看不见的部分的质量。

9. 发明公开

KR1020170140927A 다기능 이미지 측정분석시스템을 이용한 측정분석방법 审中-实审
标题翻译：使用多功能图像测量分析系统的测量分析方法
公开(公告)号：KR1020170140927A
公开(公告)日：2017-12-22
申请号：KR1020160073682
申请日：2016-06-14
申请人： 바이오뱅크 주식회사
发明人： 박성식 , 임성렬 , 최환순
IPC分类号： G01N21/88 , G01N33/483 , G01N15/14 , G01N21/59
CPC分类号： G01N21/8851 , G01N15/1463 , G01N33/4833 , G01N2021/5957
摘要： 본발명은다기능이미지측정분석시스템을이용한측정분석방법에관한것으로서, (S1) 광원부, 카메라부, 측정대상장착프레임, 매칭컨트롤러, 디스플레이부, 제어부로구성되는다기능이미지측정분석시스템을준비하는단계; (S2) 상기다기능이미지측정분석시스템을이용하여측정분석할다수개의측정대상의플레이트를준비하는단계; (S3) 준비된상기플레이트를상기측정대상장착프레임에안착시키는단계; (S4) 상기측정대상장착프레임을상기다기능이미지측정분석시스템내의제1 트레이에안착시키고슬라이딩으로이동시켜장착하는단계; (S5) 선택적으로제2 광원부를상기다기능이미지측정분석시스템의제2 트레이에안착시키고슬라이딩으로이동시켜장착하는단계; 및 (S6) 상기광원부또는제2 광원부와카메라부를작동시키고제어모듈을조작하여기기를작동시키는단계;를포함하여구성된다. 본발명의다기능이미지측정분석시스템은 DNA농도를산출하기위해전기영동한 DNA겔이미지, 카운팅해야할 배양접시의배지에서배양한콜로니이미지, 감수성을판독해야할 항생제디스크이미지및 마이크로플레이트내의응집반응을일으킨이미지를하나의기기에서통합적으로측정, 판독및 분석할수 있는효과가있다.
摘要翻译：本发明包括以下步骤：利用测量分析系统的多功能图像相关的测量分析方法，制备由（S1）的光源，照相机部分，测量对象的安装框架，所述匹配控制器，显示单元，控制单元的测量分析系统的多功能图像; （S2）使用多功能图像测量和分析系统制备多个待测量和分析的板; （S3）将准备好的板放置在测量对象安装框架上; （S4）将测量目标安装框架放置在多功能图像测量和分析系统中的第一托盘上，并将测量目标安装框架移动并安装在第一托盘上; （S5）将第二光源选择性地安装在多功能图像测量和分析系统的第二托盘上，并将第二光源移动并安装在第二托盘上; 并且（S6）激活光源单元或第二光源单元和相机单元并操作控制模块以操作该设备。多功能图像测量和本发明的分析系统是在DNA凝胶图像的凝胶电泳引起凝集的图像时，在陪替氏培养皿来执行计数菌落图像的培养基的培养，抗生素会阅读的灵敏度磁盘映像和所述微板以产生一个DNA浓度可以整体测量，读取和分析在一个设备。

10. 发明公开

KR1020050107011A 마이크로 유체소자의 채널 내부에 수용되는 유체의 농도장및 속도장 동시 측정장치 및 방법 失效
标题翻译：用于同时测量浓度场和速度的装置和方法微流控
公开(公告)号：KR1020050107011A
公开(公告)日：2005-11-11
申请号：KR1020040032139
申请日：2004-05-07
申请人： 부산대학교 산학협력단
发明人： 김경천 , 윤상열 , 김재민
IPC分类号： G01N21/64
CPC分类号： G01N21/6404 , G01N15/1404 , G01N2021/5957
摘要： 본 발명은 마이크로 유체소자의 채널 내부로 레이저광에 여기된 후 서로 다른 형광 파장특성을 가지는 형광염료와 입자를 주입하여 레이저 평면빔을 조사한 다음, 상기 형광염료와 입자 이미지를 각각 선택적으로 획득하여 이를 처리하도록 함으로써 마이크로 유체소자 내부의 농도장 및 속도장을 동시에 측정이 가능하도록 하는 마이크로 유체소자의 채널 내부에 수용되는 유체의 농도장 및 속도장 동시 측정장치 및 방법에 관한 것이다.
이를 위하여 본 발명은 마이크로 유체소자의 채널 내부로 형광염료와 입자를 주입하거나 채널 내부의 유동에 변화를 주기 위한 구동부와; 레이저 광원으로부터 상기 마이크로 유체소자의 채널 내부로 평면빔을 조사하기 위한 마이크로 라인 발생기와; 확대부를 통하여 상기 마이크로 유체소자 내부의 유체 농도분포를 측정하기 위한 농도장 측정기와, 상기 확대부와 일체형으로 형성되어 상기 마이크로 유체소자 내부 유체의 속도분포를 측정하기 위한 속도장 측정기로 이루어진 이미지 획득부와; 상기 이미지 획득부의 각 측정기에 이미지 획득을 위한 제어신호를 발생시키고, 획득된 이미지를 전송받아 이를 분석하는 제어부; 및 상기 제어부로부터 발생되는 구동 제어신호의 입력에 따라 상기 측정기와 마이크로 라인 발생기의 동작을 동기화시키는 동기부;를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.

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