专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

1. 发明公开

KR1020160085823A 고온계 배경 제거 审中-实审
标题翻译：染色体背景消除
公开(公告)号：KR1020160085823A
公开(公告)日：2016-07-18
申请号：KR1020167015223
申请日：2014-10-23
申请人： 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
发明人： 아더홀드,울프강알.
IPC分类号： G01J5/06 , G01J5/00
CPC分类号： G01J5/06 , G01J5/0007 , G01J2005/0085 , G01J2005/065 , H01L21/67115
摘要： 본명세서에개시된실시예들은기판을처리하기위한 RTP 시스템을제공한다. RTP 챔버는처리용적내에배치된기판에복사를전달하도록구성된복사소스를갖는다. 하나이상의고온계가복사소스에대향하여챔버바디에연결된다. 일례에서, 복사소스는기판아래에배치되고, 고온계들은기판위에배치된다. 다른예에서, 복사소스는기판위에배치되고, 고온계들은기판아래에배치된다. 기판은기판지지체와기판사이의물리적접촉을감소시키도록구성된다양한방식으로지지될수 있다. 에지링 및쉴드가처리용적내에배치되고, 배경복사가고온계들과간섭하는것을감소시키거나제거하도록구성된다. 부가적으로, 배경복사간섭을추가로감소시키기위해흡수성표면이챔버바디에연결될수 있다.

2. 发明公开

KR1020050014877A 열처리 챔버에서 온도 측정 장치를 캘리브레이팅하기 위한 시스템 및 프로세스 有权
标题翻译：用于在热处理室中校准温度测量装置的系统和过程
公开(公告)号：KR1020050014877A
公开(公告)日：2005-02-07
申请号：KR1020047020951
申请日：2003-06-03
申请人： 맷슨 테크놀로지, 인크.
发明人： 티만스,폴,자니스
IPC分类号： H01L21/66
CPC分类号： G01J5/0896 , G01J5/0003 , G01J5/0007 , G01J5/0285 , G01J5/06 , G01J5/08 , G01J5/0803 , G01J5/0821 , G01J5/0831 , G01J5/0846 , G01J5/089 , G01J5/522 , G01J5/58 , G01J2005/0048 , G01J2005/065 , H01L21/324 , H01L21/67115 , H01L21/67248
摘要： 열처리 챔버에서 고온계와 같은 온도 측정 장치(10)를 캘리브레이팅하기 위한 방법 및 시스템이 개시된다. 본 발명에 따르면, 시스템은 열처리 챔버(14)에 포함된 기판에 광 에너지(23)를 방출하는 캘리브레이팅 광원을 포함한다. 그리고나서, 광 검출기는 기판을 통해 투과되고 있는 광량을 검출한다(42). 그리고나서, 검출된 광 에너지의 양은 시스템에 이용되는 온도 측정 장치(27)를 캘리브레이팅하는데 이용된다.

3. 发明公开

KR1020170131986A 터보차저의 터빈휠 온도 측정 장치, 및 그 온도 측정 장치를 이용한 엔진 제어방법 有权
标题翻译：涡轮增压器的涡轮温度测量装置以及使用该温度测量装置控制发动机的方法
公开(公告)号：KR1020170131986A
公开(公告)日：2017-12-01
申请号：KR1020160062894
申请日：2016-05-23
申请人： 현대자동차주식회사
发明人： 김한상
IPC分类号： G01J5/08 , F02D41/00 , F02D23/00
CPC分类号： F02D41/22 , F02B37/00 , F02D41/0007 , F02D41/10 , F02D41/1447 , F02D41/1475 , F02D41/26 , F02D41/3005 , F02D2041/228 , F02D2200/0404 , F02D2200/602 , G01J5/0088 , G01J5/06 , G01J5/0818 , G01J5/10 , G01J2005/065 , G01K11/00 , Y02T10/144 , G01J5/0853 , F02D23/005
摘要： 터보차저의터빈휠온도측정장치는가이드(guide), 보호부, 및시그널(singal) 처리부를포함한다. 가이드(guide)는터빈휠에서발생되는적외선을통과시키고냉각수통로를포함한다. 보호부는적외선을감지(sensing)하는옵티컬헤드(optical head)를보호한다. 시그널(singal) 처리부는상기감지된적외선의신호를처리하여터빈휠의온도를측정한다.
摘要翻译：涡轮增压器的涡轮叶轮温度测量装置包括引导件，保护部分和信号处理部分。导向件传递由涡轮机叶轮产生的红外线并且包括冷却剂通道。保护单元保护感测红外线的光学头。信号处理单元处理检测到的红外信号以测量涡轮叶轮的温度。

4. 发明授权

KR101057853B1 열처리 챔버에서 온도 측정 장치를 캘리브레이팅하기 위한 시스템 및 프로세스 有权
标题翻译：用于在热处理室中校准温度测量装置的系统和过程
公开(公告)号：KR101057853B1
公开(公告)日：2011-08-19
申请号：KR1020047020951
申请日：2003-06-03
申请人： 맷슨 테크놀로지, 인크.
发明人： 티만스,폴,자니스
IPC分类号： H01L21/66
CPC分类号： G01J5/0896 , G01J5/0003 , G01J5/0007 , G01J5/0285 , G01J5/06 , G01J5/08 , G01J5/0803 , G01J5/0821 , G01J5/0831 , G01J5/0846 , G01J5/089 , G01J5/522 , G01J5/58 , G01J2005/0048 , G01J2005/065 , H01L21/324 , H01L21/67115 , H01L21/67248
摘要： 열처리 챔버에서 고온계와 같은 온도 측정 장치(10)를 캘리브레이팅하기 위한 방법 및 시스템이 개시된다. 본 발명에 따르면, 시스템은 열처리 챔버(14)에 포함된 기판에 광 에너지(23)를 방출하는 캘리브레이팅 광원을 포함한다. 그리고나서, 광 검출기는 기판을 통해 투과되고 있는 광량을 검출한다(42). 그리고나서, 검출된 광 에너지의 양은 시스템에 이용되는 온도 측정 장치(27)를 캘리브레이팅하는데 이용된다.
반도체 장치, 캘리브레이션 웨이퍼, 열처리 챔버, 온도 측정 장치
摘要翻译：公开了一种用于在热处理室中校准诸如高温计的温度测量装置（10）的方法和系统。根据本发明，该系统包括将光能（23）发射到包含在热处理室（14）中的衬底的校准光源。光检测器然后检测穿过基板（42）的光量。然后使用检测到的光能量来校准系统中使用的温度测量装置27。

5. 发明授权

KR101510267B1 냉각용 쿨러 제어 장치 및 그 동작 방법 有权
标题翻译：用于控制冷却器的装置及其操作方法
公开(公告)号：KR101510267B1
公开(公告)日：2015-04-08
申请号：KR1020140060326
申请日：2014-05-20
申请人： 한화시스템 주식회사
发明人： 임재현
IPC分类号： G01J5/00
CPC分类号： G01J5/061 , G01J5/48 , G01J2005/065 , H04N5/33
摘要： 본발명은냉각용쿨러제어장치및 냉각제어방법으로서, 적외선검출기와같은냉각대상체의냉각을수행하는냉각용쿨러의제어장치및 냉각제어방법에관한것이다. 본발명의실시형태는냉각대상체의냉각을수행하는냉각용쿨러; 상기냉각대상체의온도를측정하여측정온도로서생성하는온도검출센서; 각온도구간별로제어신호정보를다르게할당하여저장한구간별제어신호메모리; 상기측정온도에서미리설정한냉각목표온도를차감한온도차이값을산출하여, 상기구간별제어신호메모리에서상기온도차이값이속하는온도구간에할당된제어신호정보를추출하여, 상기제어신호정보에따른제어신호를생성하여냉각용쿨러에제공하는제어부;를포함한다.
摘要翻译：本发明涉及一种用于控制冷却器的装置及其操作方法，更具体地说，涉及用于冷却目标物体如红外探测器的冷却器控制装置及其操作方法。根据本发明的实施例的用于控制冷却器的装置包括：执行冷却的冷却器; 测量目标物体温度的温度传感器; 分配控制信号存储器，其中不同的控制信号信息被分配并存储到每个温度段; 计算测量温度和预定目标温度之间的差的控制单元，从分段控制信号存储器中提取分配给与温度差对应的温度段的控制信号信息，并根据控制信号信息产生控制信号并将其提供给冷却器。

6. 发明公开

KR1020140060525A 진공 챔버에서 기판의 온도를 측정하기 위한 방법 无效
标题翻译：基板在真空室中的温度测量方法
公开(公告)号：KR1020140060525A
公开(公告)日：2014-05-20
申请号：KR1020147006495
申请日：2012-09-07
申请人： 오를리콘 서피스 솔루션스 아크티엔게젤샤프트, 페피콘
发明人： 크라스니트저,시그프리드 , 에셀바흐,마르쿠스
IPC分类号： G01J5/06 , G01J5/00
CPC分类号： G01K7/10 , G01J5/0003 , G01J5/0007 , G01J5/061 , G01J2005/0048 , G01J2005/065 , G01J2005/068 , G01K7/04
摘要： 본 발명은 온도 센서와 기준 바디를 포함하는 온도 측정 시스템에 관한 것으로, 상기 시스템에서 기준 바디의 온도 변화를 검출하기 위한 및/또는 기준 바디의 온도를 조절하기 위한 수단이 제공되고, 이 경우 기준 바디는, 온도 측정 시스템이 진공에서 사용되는 경우에 온도 센서에 대해 실질적으로 재료 열교를 형성하지 않고, 기준 바디는, 기준 바디의 표면으로부터 방사하고 온도가 검출되어야 하는 표면으로부터 방사하는 복사만이 온도 센서의 표면에 도달하도록 온도 센서를 주변에 대해 차폐한다.

7. 发明授权

KR101903510B1 개선된 광학 시스템을 갖는 의료용 방사선 체온계 有权
公开(公告)号：KR101903510B1
公开(公告)日：2018-10-04
申请号：KR1020157016312
申请日：2013-11-18
申请人： 카즈 유럽 에스에이
发明人： 일디잔,알렉산 , 고르식,제임스크리스토퍼
IPC分类号： G01J5/08 , G01J5/00 , G01J5/06
CPC分类号： G01J5/0806 , G01J5/0011 , G01J5/0809 , G01J5/0831 , G01J2005/065
摘要： 곡면거울및 방사선센서를포함하는의료용체온계가개시된다. 방사선센서는일 구성에서거울에대해배치되며, 거울은, 방사선입구를통과하고거울에대한각도범위외부로방위설정된방사선을센서로부터벗어나게반사시키고, 방사선입구를통과하고거울에대한각도범위내로방위설정된방사선을센서를향해반사시킨다.

8. 发明授权

KR101807143B1 터보차저의 터빈휠 온도 측정 장치, 및 그 온도 측정 장치를 이용한 엔진 제어방법 有权
公开(公告)号：KR101807143B1
公开(公告)日：2017-12-07
申请号：KR1020160062894
申请日：2016-05-23
申请人： 현대자동차주식회사
发明人： 김한상
IPC分类号： G01J5/08 , F02D41/00 , F02D23/00
CPC分类号： F02D41/22 , F02B37/00 , F02D41/0007 , F02D41/10 , F02D41/1447 , F02D41/1475 , F02D41/26 , F02D41/3005 , F02D2041/228 , F02D2200/0404 , F02D2200/602 , G01J5/0088 , G01J5/06 , G01J5/0818 , G01J5/10 , G01J2005/065 , G01K11/00 , Y02T10/144
摘要： 터보차저의터빈휠온도측정장치는가이드(guide), 보호부, 및시그널(singal) 처리부를포함한다. 가이드(guide)는터빈휠에서발생되는적외선을통과시키고냉각수통로를포함한다. 보호부는적외선을감지(sensing)하는옵티컬헤드(optical head)를보호한다. 시그널(singal) 처리부는상기감지된적외선의신호를처리하여터빈휠의온도를측정한다.

9. 发明公开

KR1020170105534A 적외선 기준 화소를 위한 장치 및 방법 审中-实审
标题翻译：用于红外参考像素的设备和方法
公开(公告)号：KR1020170105534A
公开(公告)日：2017-09-19
申请号：KR1020177020969
申请日：2016-01-08
申请人： 플리어 시스템즈, 인크.
发明人： 커스에릭에이. , 챈크리스 , 피터스케빈 , 프랭클린패트릭 , 칸나타로버트에프. , 데일제임스엘. , 막스토미 , 하워드데이비드 , 로즈제퍼슨 , 디바마이클
IPC分类号： G01J5/04 , G01J5/06 , G01J5/02 , G01J5/08 , G01J5/20 , H01L27/146
CPC分类号： G01J5/20 , G01J5/0225 , G01J5/024 , G01J5/0245 , G01J5/045 , G01J5/061 , G01J5/0846 , G01J2005/063 , G01J2005/065 , H01L27/14623 , H01L27/14669
摘要： 기판과플로팅차단형적외선검출기및/또는션트차단형적외선검출기를포함하는장치가개시된다. 플로팅차단형적외선검출기는기판으로부터열적으로격리되어접속된적외선검출기; 및적외선검출기위에배치되어적외선검출기가외부의열 방사선을받는것을차단하는차단구조체를포함할수 있으며, 차단구조체는복수의개구를포함한다. 션트차단형적외선검출기는기판에접속된추가의적외선검출기; 적외선검출기위에배치되어추가의적외선검출기가외부의열 방사선을받는것을차단하는추가의차단구조체; 및추가의적외선검출기를기판및 추가의차단구조체에열적으로접속하는재료를포함할수 있다. 상기장치를사용하고형성하는방법이또한개시된다.
摘要翻译：公开了一种包括衬底和浮动阻挡红外探测器和/或分路阻挡红外探测器的设备。浮动阻挡红外探测器包括与衬底热隔离的红外探测器; 并且阻挡结构设置在红外检测器上方以阻挡红外检测器接收外部热辐射，阻挡结构包括多个开口。分流保护红外探测器包括连接到基板的附加红外探测器; 设置在红外探测器上方的另外的阻挡结构，以阻挡其他红外探测器接收外部热辐射; 另外还有一种材料可将附加的红外探测器与衬底热连接，并进一步屏蔽结构。还公开了使用和形成该设备的方法。

10. 发明公开

KR1020160031995A 개선된 광학 시스템을 갖는 의료용 방사선 체온계 审中-实审
标题翻译：具有改进的光学系统的医疗辐射温度计
公开(公告)号：KR1020160031995A
公开(公告)日：2016-03-23
申请号：KR1020157016312
申请日：2013-11-18
申请人： 카즈 유럽 에스에이
发明人： 일디잔,알렉산 , 고르식,제임스크리스토퍼
IPC分类号： G01J5/08 , G01J5/00 , G01J5/06
CPC分类号： G01J5/0806 , G01J5/0011 , G01J5/0809 , G01J5/0831 , G01J2005/065
摘要： 곡면거울및 방사선센서를포함하는의료용체온계가개시된다. 방사선센서는일 구성에서거울에대해배치되며, 거울은, 방사선입구를통과하고거울에대한각도범위외부로방위설정된방사선을센서로부터벗어나게반사시키고, 방사선입구를통과하고거울에대한각도범위내로방위설정된방사선을센서를향해반사시킨다.
摘要翻译：公开了一种包括曲面镜和辐射传感器的医用温度计。辐射传感器以相对于反射镜布置的结构设置，由此镜子远离透过辐射入口的传感器辐射反射并且被定向在相对于反射镜的角度范围之外，并朝向穿过的传感器辐射反射辐射入口并且在相对于镜子的角度范围内定向。

你已经成功收藏专利！

检索式保存成功!

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式