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1. 发明授权

KR101828985B1 방 안의 온도를 모니터링하기 위한 시스템 및 방법 有权
公开(公告)号：KR101828985B1
公开(公告)日：2018-02-13
申请号：KR1020147018961
申请日：2011-12-21
申请人： 텔레콤 이탈리아 소시에떼 퍼 아찌오니
发明人： 안토니니로베르토 , 파라치펠리체풀비오 , 가스파르도네마르코
IPC分类号： G01K1/14 , G01K7/42 , G01J5/60
CPC分类号： G01J5/10 , G01J2005/0085 , G01J2005/0092 , G01K1/143 , G01K7/42 , G01K2213/00
摘要： 방안의조사표면의온도를모니터링하기위한방법이개시된다. 상기방법은: 상기조사표면에결합된 N개의온도센서들을제공함; 상기개수의온도센서들로부터각각의온도값들을수신함; 상기수신된온도값들에외삽모델을적용하고상기조사표면의외삽된열화상스캔을외삽함; 및상기외삽된열화상스캔에기초하여상기조사표면의온도를모니터링함을포함한다.

2. 发明授权

KR101716104B1 3-차원 핫 스팟 위치추정 有权
标题翻译： 3-三维热点定位
公开(公告)号：KR101716104B1
公开(公告)日：2017-03-14
申请号：KR1020137000443
申请日：2011-06-08
申请人： 디씨지 시스템스 인코포레이티드 , 프라운호퍼-게젤샤프트 추르 푀르데룽 데어 안제반텐 포르슝 에 파우
发明人： 알트만프랑크 , 슈미트크리슈티안 , 슐랑겐루돌프 , 데랑드에르베
IPC分类号： G01N25/72
CPC分类号： G01J5/0066 , G01J2005/0077 , G01J2005/0085 , G01N1/00 , G01N21/35 , G01N21/88 , G01N25/00 , G01N2021/8461 , G01R31/311
摘要： 락-인서모그래피 (LIT) 를이용하여전자디바이스아키텍쳐들에서매립된핫 스팟들의 3D 위치추정을위한비파괴처리법. 3D 분석은상이한재료층들을통한열 파동전파의원리들및 결과적으로초래된위상편이/열적시간지연에기초한다. 좀더복잡한다중레벨적층다이아키텍쳐들로, 정확한핫 스팟깊이위치추정을위해상이한여기주파수들에서의다중 LIT 결과을획득할필요가있다. 또한, 핫스팟위치의상부에서의최소화된시계로측정된, 다중시간-분해열 파형들의이용은, 데이터획득의속도를올리는데이용될수 있다. 검출정확도와신뢰레벨을더 증가시키기위해결과적으로초래된파형들의형상이분석될수 있다.
摘要翻译：通过使用锁定热成像（LIT）在电子设备架构中对埋藏热点的3D定位的非破坏性方法。 3D分析基于通过不同材料层的热波传播的原理以及由此产生的相移/热时间延迟。使用更复杂的多级堆叠管芯结构，需要在不同的激发频率下获取多个LIT结果，以实现精确的热点深度定位。此外，可以使用在热点位置顶部的最小视场内测量的多个时间分辨热波形来加速数据采集。可以分析所得波形的形状，以进一步提高检测精度和置信度。

3. 发明公开

KR20180055604A 군락에서 열화상 이미지를 통한 작물기관별 온도식별시스템에 사용되는 정보처리장치 有权
公开(公告)号：KR20180055604A
公开(公告)日：2018-05-25
申请号：KR20160153632
申请日：2016-11-17
申请人： 전라남도
发明人： KIM HEE GON , KIM HYO JOONG , HWANG IN TAEK , SON DONG MO , YUN BONG KI , KIM HYUN WOO
IPC分类号： A01G9/14 , A01G9/24 , A01G9/26 , G06Q50/02
CPC分类号： Y02A40/252 , Y02A40/274 , A01G9/143 , A01G9/247 , A01G9/26 , G01J5/48 , G01J2005/0085 , G06Q50/02 , G06T7/10 , G06T2207/30188
摘要： 실시예는작물영상을전송받는통신부, 상기작물생육상태정보를표시하는표시부및, 상기작물영상을사용하여작물생육수치를측정해서작물생육상태를진단하고상기표시부에표시하도록하는제어부를포함하고, 상기제어부는사용자설정정보에따라작물열화상영상촬영과작물색채평면영상촬영을개시하도록하고, 더불어촬영된작물열화상과사용중인열화상해상도에대응하는열화상픽셀별온도값을가진작물열화상의온도쉬트및 작물색채평면영상을수집해서, 상기작물열화상영상과작물색채평면영상간에화각기준점을일치시켜화각을맞추고매핑한영상을상기작물열화상의온도쉬트에매핑해서설정작물기관마다작물기관분포영역의면적픽셀별온도를검출하여작물기관별온도를식별해서, 상기작물기관별온도에따라작물의이상여부를실시간검출하는것을특징으로하는작물영상을사용한작물생육진단장치에관한것으로, 작물기관별온도에따라작물의이상여부를실시간검출함으로, 작물기관별온도를무인으로자동식별하여작물의이상징후를실시간파악해서생장관리한다.

4. 发明公开

KR1020130087487A 3-차원 핫 스팟 위치추정 有权
标题翻译：三维热点定位
公开(公告)号：KR1020130087487A
公开(公告)日：2013-08-06
申请号：KR1020137000443
申请日：2011-06-08
申请人： 디씨지 시스템스 인코포레이티드 , 프라운호퍼-게젤샤프트 추르 푀르데룽 데어 안제반텐 포르슝 에 파우
发明人： 알트만프랑크 , 슈미트크리슈티안 , 슐랑겐루돌프 , 데랑드에르베
IPC分类号： G01N25/72
CPC分类号： G01J5/0066 , G01J2005/0077 , G01J2005/0085 , G01N1/00 , G01N21/35 , G01N21/88 , G01N25/00 , G01N2021/8461 , G01R31/311 , G01N25/72
摘要： 락-인 서모그래피 (LIT) 를 이용하여 전자 디바이스 아키텍쳐들에서 매립된 핫 스팟들의 3D 위치추정을 위한 비파괴 처리법. 3D 분석은 상이한 재료층들을 통한 열 파동 전파의 원리들 및 결과적으로 초래된 위상 편이/열적 시간 지연에 기초한다. 좀더 복잡한 다중 레벨 적층 다이 아키텍쳐들로, 정확한 핫 스팟 깊이 위치추정을 위해 상이한 여기 주파수들에서의 다중 LIT 결과을 획득할 필요가 있다. 또한, 핫 스팟 위치의 상부에서의 최소화된 시계로 측정된, 다중 시간-분해 열 파형들의 이용은, 데이터 획득의 속도를 올리는데 이용될 수 있다. 검출 정확도와 신뢰 레벨을 더 증가시키기 위해 결과적으로 초래된 파형들의 형상이 분석될 수 있다.
摘要翻译：通过使用锁定热成像（LIT）在电子设备架构中对埋藏热点的3D定位的非破坏性方法。 3D分析基于通过不同材料层的热波传播的原理以及由此产生的相移/热时间延迟。使用更复杂的多级堆叠管芯结构，需要在不同的激发频率下获取多个LIT结果，以实现精确的热点深度定位。此外，可以使用在热点位置顶部的最小视场内测量的多个时间分辨热波形来加速数据采集。可以分析所得波形的形状，以进一步提高检测精度和置信度。

5. 发明授权

KR101769243B1 복합재료 결함 검출을 위한 비접촉 비파괴 검사시스템 및 검사방법 有权
标题翻译：用于复合缺陷检测的非接触式无损检测系统和检测方法
公开(公告)号：KR101769243B1
公开(公告)日：2017-08-21
申请号：KR1020160036716
申请日：2016-03-28
申请人： 사단법인 한국스마트구조시스템 연구원
发明人： 박희상 , 최만용 , 박정학 , 권구안
IPC分类号： G01N21/88 , G01J3/02 , G01J5/00 , G01J5/08
CPC分类号： G01N21/8803 , G01J3/0248 , G01J5/08 , G01J2005/0085
摘要： 본발명은복합재료결함검출을위한비접촉비파괴검사시스템및 검사방법에대한것이다. 보다상세하게는, 비접촉비파괴검사시스템에있어서, 음파를발진시키는음파발진부와, 상기음파발진부에서발진된음파를집속시키는음집속부를구비하여, 검사대상이되는복합재료에음파를가진하여상기복합재료를진동시키는음향장치; 상기복합재료의적외선열화상을촬상하는적외선열화상카메라; 및상기적외선열화상카메라에서촬상된열화상을분석하여상기복합재료의결함을분석하는분석수단을포함하는것을특징으로하는복합재료결함검출을위한비접촉비파괴검사시스템에관한것이다.
摘要翻译：本发明涉及用于复合缺陷检测的非接触式无损检测系统和方法。更具体地说，在非接触的非破坏性的检查系统，以及它聚焦通过具有复合材料制成的部件，并具有一个声波作为测试目标，其振荡出声波的声波振荡单元的复合材料，着眼于振荡声波从声波振荡用于振动扬声器的声音装置; 用于捕获复合材料的红外图像的红外线照相机; 以及分析装置，用于通过分析由红外热成像摄像机拾取的热图像来分析复合材料的缺陷，涉及用于复合缺陷检测的非接触式无损检测系统。

6. 发明授权

KR101489556B1 온도 측정 장치, 온도 측정 방법, 기억 매체 및 열처리 장치 有权
标题翻译：用于测量温度，储存介质和热处理设备的方法和装置
公开(公告)号：KR101489556B1
公开(公告)日：2015-02-03
申请号：KR1020120056046
申请日：2012-05-25
申请人： 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
发明人： 모로이마사유끼 , 기꾸찌히또시
IPC分类号： H01L21/205
CPC分类号： C23C16/45525 , C23C16/4584 , C23C16/4585 , C23C16/46 , C23C16/52 , G01J5/0007 , G01J5/0022 , G01J5/025 , G01J5/0255 , G01J5/026 , G01J5/0809 , G01J5/0831 , G01J5/089 , G01J5/0893 , G01J2005/0085
摘要： 기판이 적재된 회전 테이블이 내부에 설치된 처리 용기와, 당해 처리 용기를 가열하는 가열부를 포함하는 열처리 장치에 사용되는 온도 측정 장치는 상기 회전 테이블을 소정의 회전수로 회전시킨 상태에서, 상기 회전 테이블의 일면측을 당해 회전 테이블의 직경 방향으로 주사함으로써, 당해 직경 방향에 따른 복수의 온도 측정 영역의 온도를 측정 가능하게 설치된 방사 온도 측정부와, 상기 방사 온도 측정부가 상기 회전 테이블의 직경 방향으로 주사하는 1주사마다의 상기 온도 측정 영역의 수 및 상기 회전 테이블의 상기 소정의 회전수에 기초하여, 상기 방사 온도 측정부가 온도를 측정한 상기 온도 측정 영역의 어드레스를 특정하고, 당해 온도와 당해 어드레스를 대응시켜 기억부에 기억시키는 온도 맵 작성부와, 상기 온도 맵 작성부가 상기 기억부에 기억시킨 상기 온도와 상기 어드레스에 기초하여, 상기 기판의 온도 분포를 표시하는 온도 데이터 표시 처리부를 포함한다.

7. 发明公开

KR1020120132417A 온도 측정 장치, 온도 측정 방법, 기억 매체 및 열처리 장치 有权
标题翻译：用于测量温度，储存介质和热处理设备的方法和装置
公开(公告)号：KR1020120132417A
公开(公告)日：2012-12-05
申请号：KR1020120056046
申请日：2012-05-25
申请人： 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
发明人： 모로이마사유끼 , 기꾸찌히또시
IPC分类号： H01L21/205
CPC分类号： C23C16/45525 , C23C16/4584 , C23C16/4585 , C23C16/46 , C23C16/52 , G01J5/0007 , G01J5/0022 , G01J5/025 , G01J5/0255 , G01J5/026 , G01J5/0809 , G01J5/0831 , G01J5/089 , G01J5/0893 , G01J2005/0085
摘要： PURPOSE: A temperature measuring apparatus, a temperature measuring method, a storage medium, and a heat treatment apparatus are provided to indicate the temperature distribution of a substrate loaded on a spinning table based on data obtained by filling a measuring temperature value for an address of the spinning table after measuring the temperatures of a plurality of temperature measuring regions. CONSTITUTION: A rotary driving tool(12a) circumferentially rotates a spinning table(12). A vacuum container(11) is installed in an atmospheric environment and closely maintains the inside. The vacuum container comprises a ceiling panel(13) and a container body(14). Five concave parts(16) for loading a wafer(W) are formed on the surface of the spinning table. A heater(20) is installed at the lower side of the spinning table. A radiation temperature measuring part(3) measures the temperature distribution of the wafer. [Reference numerals] (5) Control unit; (AA) N2 gas
摘要翻译：目的：提供温度测量装置，温度测量方法，存储介质和热处理装置，以基于通过填充用于地址的测量温度值而获得的数据来指示装载在旋转台上的基板的温度分布在测量多个温度测量区域的温度之后的纺丝台。构成：旋转驱动工具（12a）沿旋转台（12）周向旋转。真空容器（11）安装在大气环境中并密切保持内部。真空容器包括顶板（13）和容器主体（14）。在纺丝台的表面上形成五个用于装载晶片（W）的凹部（16）。加热器（20）安装在纺纱台的下侧。辐射温度测量部件（3）测量晶片的温度分布。（附图标记）（5）控制单元; （AA）N2气

8. 发明公开

KR1020160085823A 고온계 배경 제거 审中-实审
标题翻译：染色体背景消除
公开(公告)号：KR1020160085823A
公开(公告)日：2016-07-18
申请号：KR1020167015223
申请日：2014-10-23
申请人： 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
发明人： 아더홀드,울프강알.
IPC分类号： G01J5/06 , G01J5/00
CPC分类号： G01J5/06 , G01J5/0007 , G01J2005/0085 , G01J2005/065 , H01L21/67115
摘要： 본명세서에개시된실시예들은기판을처리하기위한 RTP 시스템을제공한다. RTP 챔버는처리용적내에배치된기판에복사를전달하도록구성된복사소스를갖는다. 하나이상의고온계가복사소스에대향하여챔버바디에연결된다. 일례에서, 복사소스는기판아래에배치되고, 고온계들은기판위에배치된다. 다른예에서, 복사소스는기판위에배치되고, 고온계들은기판아래에배치된다. 기판은기판지지체와기판사이의물리적접촉을감소시키도록구성된다양한방식으로지지될수 있다. 에지링 및쉴드가처리용적내에배치되고, 배경복사가고온계들과간섭하는것을감소시키거나제거하도록구성된다. 부가적으로, 배경복사간섭을추가로감소시키기위해흡수성표면이챔버바디에연결될수 있다.

9. 发明公开

KR1020150024781A 연마 방법 및 연마 장치 审中-实审
标题翻译：抛光方法和抛光装置
公开(公告)号：KR1020150024781A
公开(公告)日：2015-03-09
申请号：KR1020140108234
申请日：2014-08-20
申请人： 가부시키가이샤 에바라 세이사꾸쇼
发明人： 마루야마도루 , 마츠오히사노리 , 모토시마야스유키
IPC分类号： H01L21/304
CPC分类号： B24B37/015 , B24B49/14 , B24B55/02 , G01J5/025 , G01J2005/0085
摘要： 본 발명의 과제는 연마 패드의 표면 온도를 조정함으로써 연마 레이트를 향상시킬 수 있음과 함께 연마되는 기판의 연마 프로파일도 제어할 수 있는 연마 방법 및 연마 장치를 제공하는 것이다.
연마 테이블 상의 연마 패드에 기판을 가압하여 기판을 연마하는 연마 방법에 있어서, 연마 패드(3)의 표면 온도를 조정하는 연마 패드(3)의 표면 온도 조정 공정과, 조정된 표면 온도에 있는 연마 패드(3)에 기판을 가압하여 기판을 연마하는 연마 공정을 구비하여, 연마 패드(3)의 표면 온도 조정 공정은 연마 공정 중, 연마 패드(3)의 표면 반경 방향에 있어서의 온도 프로파일의 온도 변화율이 연마 패드 반경 방향에 있어서 일정해지도록, 기판이 접촉하는 연마 패드(3)의 영역의 일부분에 있어서의 표면 온도를 조정한다.
摘要翻译：本发明的目的是提供一种通过调整抛光垫的表面温度来提高抛光速率的抛光方法和抛光装置，同时可以控制抛光的基板的抛光轮廓。用于通过将基板压在抛光台上的抛光垫上来抛光基板的抛光方法包括：抛光垫（3）调节抛光垫（3）的表面温度的表面温度调节过程; 以及通过将衬底压在其表面温度已被调整的抛光垫（3）上来抛光衬底的抛光工艺。在抛光垫（3）的表面温度调整处理中，调整与基板接触的研磨垫（3）的一部分的表面温度，使得表面径向的温度分布的温度变化率的抛光垫（3）在抛光过程中沿抛光垫（3）的径向均匀。

10. 发明公开

KR1020140117745A IR카메라를 이용한 온도측정장치 无效
标题翻译：使用红外摄像机的温度测量装置
公开(公告)号：KR1020140117745A
公开(公告)日：2014-10-08
申请号：KR1020130032071
申请日：2013-03-26
申请人： 조선대학교산학협력단
发明人： 장호섭 , 김경석
IPC分类号： G01J5/00 , H04N5/225
CPC分类号： H04N5/2251 , G01J5/02 , G01J2005/0085
摘要： The present invention relates to a temperature measurement apparatus using an IR camera, which comprises: an IR camera which detects an infrared ray emitted from a heat source to measure a temperature thereof, and outputs a temperature corresponding to the detected infrared ray; an attenuation part which attenuates transfer of the heat generated from the heat source to measure the temperature thereof to the IR camera by being installed in front of the IR camera; and a calculation unit to calculate the temperature of the heat source by compensating the temperature information received from the IR camera for attenuation of the attenuation part due to the influence of the attenuation part. By the temperature measurement apparatus using this IR camera, an IR camera whose measurable temperature is lower than that of a heat source can be used by detecting the temperature after attenuating the temperature to a radiated ray emitted from a high temperature heat source, and calculating the temperature by compensating attenuation due to the attenuation part.
摘要翻译：本发明涉及使用红外线照相机的温度测量装置，其包括：红外相机，其检测从热源发射的红外线以测量其温度，并输出与检测到的红外线相对应的温度; 衰减部，其通过安装在IR摄像机的前方，衰减从热源产生的热量的传递来测量其对IR摄像机的温度; 以及计算单元，通过补偿从IR摄像机接收到的衰减部分的衰减的衰减部分的衰减部分的温度信息来计算热源的温度。通过使用该IR摄像机的温度测量装置，可以通过在将温度衰减到从高温热源发射的辐射光线之后检测温度来测量温度低于热源的IR照相机，并且计算通过补偿由于衰减部分引起的衰减的温度。

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