基本信息:
- 专利标题： 마이크로리소그래피 투영 노광 장치의 광학 시스템
- 专利标题（英）：Optical system, in particular in a microlithographic projection exposure apparatus
- 专利标题（中）：光学系统，特别是微波投影曝光装置
- 申请号：KR1020127011154 申请日：2010-09-08
- 公开(公告)号：KR101328870B1 公开(公告)日：2013-11-13
- 发明人： 호프,알브렉트 , 뉴게바우어,디에트마르 , 프레이만,롤프
- 申请人： 칼 짜이스 에스엠티 게엠베하
- 申请人地址： Rudolf-Eber-Strasse * ***** Oberkochen Germany
- 专利权人： 칼 짜이스 에스엠티 게엠베하
- 当前专利权人： 칼 짜이스 에스엠티 게엠베하
- 当前专利权人地址： Rudolf-Eber-Strasse * ***** Oberkochen Germany
- 代理人： 한양특허법인
- 优先权： DE10 2009 043 5018 2009-09-30; DE10 2009 054 8602 2009-12-17; US61/247,142 2009-09-30
- 国际申请： PCT/EP2010/063158 2010-09-08
- 国际公布： WO2011039036 2011-04-07
- 主分类号： G01M11/00
- IPC分类号： G01M11/00 ; G03F7/20 ; G01B9/02 ; G02B13/24
摘要：
본 발명은 특히 광학 시스템에 관한 것으로서, 상기 광학 시스템은 제 1 광학 구성 요소(110,210,910), 제 2 광학 구성 요소(120,220,920), 및 상기 제 1 광학 구성 요소 및 상기 제 2 광학 구성 요소의 상대 위치를 6개의 자유도로 결정하는 측정 장치를 포함하는데, 상기 측정 장치는 6개의 상이한 길이 측정부(131-136; 231-236; 931-936)를 통해 상기 제 1 광학 구성 요소 및 상기 제 2 광학 구성 요소의 상대 위치를 결정하도록 적응되고, 상기 길이 측정부(131-136; 231-236; 931-936)는 상기 제 1 광학 구성 요소(110,210,910)와 상기 제 2 광학 구성 요소(120,220,920) 사이로 직접 연장한다.
摘要（英）：
The present invention particularly relates to an optical system, the optical system includes a first optical component (110 210 910), the second optical component (120 220 920), and the first optical component and the relative position of said second optical component, comprises a measuring device for determining the six degrees of freedom, the measurement device 6 is different from the length measurement unit (131-136; 231-236; 931-936) of the first optical component and said second optical component via of being adapted to determine the relative position, the length measuring unit (131-136; 231-236; 931-936) extends directly between the first optical component (110 210 910) and the second optical component (120 220 920) .
公开/授权文献:
- KR1020120092613A 마이크로리소그래피 투영 노광 장치의 광학 시스템 公开/授权日：2012-08-21
信息查询:
EspacenetIPC结构图谱:
| G | 物理 |
| --G01 | 测量；测试 |
| ----G01M | 机器或结构部件的静或动平衡的测试；未列入其他类目的结构部件或设备的测试 |
| ------G01M11/00 | 光学设备的测试；其他类目未包括的用光学方法测试结构部件 |