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1. 发明授权

KR101690970B1 기판 처리 시스템 및 기판 반송 방법 有权
标题翻译：基板处理系统和基板传输方法
公开(公告)号：KR101690970B1
公开(公告)日：2016-12-29
申请号：KR1020100015079
申请日：2010-02-19
申请人： 주성엔지니어링(주)
发明人： 이규환 , 문덕원 , 장재환
IPC分类号： H01L21/677 , B25J5/02 , B65G49/06
CPC分类号： H01L21/67173 , B65G49/061 , B65G49/067 , B65G2249/02 , F16H25/20 , F16H2025/2043 , F16H2025/2075 , H01L21/67742
摘要： 본발명은인라인형태로배치된복수의공정챔버사이에설치된기판반송장치의양방향기판반송부를이용하여기판을양방향으로반송하여기판의반송효율을향상시킴과아울러, 양방향기판반송부의회전시켜기판을정확한위치로반송시킬수 있도록한 기판처리시스템및 기판처리방법에관한것으로, 기판처리시스템은기판을양방향으로반송하는적어도하나의양방향기판반송장치를가지는트랜스퍼챔버; 및상기트랜스퍼챔버를사이에두고인라인형태로배치되어상기기판에대한반도체제조공정을수행하는복수의공정챔버를포함하며, 상기적어도하나의양방향기판반송장치는, 리니어모터에의해수평방향으로이송가능하도록상기트랜스퍼챔버내에설치된이송부; 상기이송부에설치되어양방향슬라이딩을통해상기기판을공정챔버로반송하는양방향기판반송부; 및상기이송부와상기양방향기판반송부사이에설치되어상기양방향기판반송부를소정각도로회전시키는회전부를포함하여구성되는것을특징으로한다.
摘要翻译：基板处理系统和基板转印方法能够通过将基板双向转印通过基板转印装置在两行处理室之间来提高基板转印效率，并且通过旋转基板转印装置将基板转印到精确位置。处理系统包括传送室，双向基板传送装置; 以及将半导体制造工艺应用于基板的处理室。处理室沿着两个相对的行线性排列，并且传送室位于两排处理室之间。基片传送装置包括传送室内的移动单元; 移动单元中的双向基板传送单元，其通过双向滑动运动将基板传送到处理室; 以及在所述移动单元和所述双向基板传送单元之间的旋转单元，其使所述双向基板传送单元以预定角度旋转。

2. 发明授权

KR101890599B1 변속 조작 기구 有权
公开(公告)号：KR101890599B1
公开(公告)日：2018-08-22
申请号：KR1020167032284
申请日：2015-04-22
申请人： 게이힌 세이미쯔 고오교오 가부시끼가이샤
发明人： 카와메노부유키 , 후세기마사아키
IPC分类号： F16H63/30 , F16H61/32 , F16H61/34 , F16H25/22
CPC分类号： F16H25/2204 , F16H25/2015 , F16H25/22 , F16H61/32 , F16H61/34 , F16H63/30 , F16H2025/2043 , F16H2025/2071 , F16H2025/2075 , F16H2061/2838 , F16H2061/2884 , F16H2063/3073
摘要： 소형·경량화, 소비전력저감, 구성부품의간소화와점수삭감, 및저비용화를도모하는것이가능한변속조작기구를제공한다. 볼나사(13)를구성하는나사축(31)과, 나사축(31)을회전시키는모터(12)와, 나사축(31)에나합(螺合)하는너트(33)와, 나사축(31) 상에배치된클러치(16)와, 클러치(16)의온(on)에의하여나사축(31)과일체화하고, 클러치(16)의오프(off)에의하여나사축(31)에대하여구속이풀리는셀렉트레버(17)를구비하고, 메인레버(14)의일단을너트(33)에계합(係合)하는것과함께, 타단을샤프트(18)에계합또는연결하고, 셀렉트레버(17)를메인레버(14)에계합시켰다.

3. 发明公开

KR1020170090453A 볼 나사-너트 메커니즘 审中-实审
标题翻译：滚珠丝杠 - 螺母机构
公开(公告)号：KR1020170090453A
公开(公告)日：2017-08-07
申请号：KR1020177017612
申请日：2015-11-03
申请人： 뻴랑 (쏘씨에떼 아노님)
发明人： 뻴랑,로제 , 질베르,삘립쁘
IPC分类号： F16H25/22 , A01G3/037
CPC分类号： F16H25/2223 , A01G3/037 , F16H2025/2043 , F16H2025/2075
摘要： 본발명은각기나사산을갖는나사(14) 및너트(12)를포함하는볼 나사-너트메커니즘에관한것이며, 상기나사의나사산(22) 및이를마주보는상기너트의나사산(24)에의해구획된레이스웨이(raceway)(26)를따라서순환할수 있는볼들(balls)(28)을매개로하여서상기나사(14)와상기너트(12)는서로상호작용하며, 상기너트는상기너트의외측표면(18)으로부터적어도하나의원통형하우징(30) 내로삽입된적어도하나의재순환용인서트(recirculation insert)(32)를더 구비하며, 상기적어도하나의원통형하우징(30)이상기너트(12)의상기외측표면(18)으로부터상기너트의나사산(22)까지상기너트를관통하며, 상기재순환용인서트(32)는상기나사(14)를향하여회전되는, 볼이송홈(ball transfer groove)(36)을갖는제 1 단부(34)를갖는다. 본발명에따라서, 상기볼 나사-너트메커니즘은상기재순환용인서트를상기인서트용하우징내에유지하도록구성된, 상기재순환용인서트(32)를홀딩하기위한홀딩바디(holding body)를포함하며, 상기재순환용인서트(32)는상기너트(12)의지지구역과접하는지지쇼울더를갖는제 2 단부를가지며, 상기재순환용인서트(32)의상기제 2 단부는상기볼 이송홈(36)에대해사전결정되고고정된각도상의(angular) 위치를갖는배향러그(orientation lug)(38)를포함하며, 상기배향러그는상기하우징내의상기재순환용인서트(32)의배향을고정하도록상기홀딩바디의적어도하나의가이드연장부(guide relief)(44)와체결되며, 상기재순환용인서트의배향은상기볼 이송홈(36)이상기레이스웨이와연통하도록고정된다.
摘要翻译：滚珠丝杠螺母机构技术领域本发明涉及一种滚珠丝杠螺母机构，其包括螺纹（14）和螺母（12），每个螺纹由螺纹的螺纹（22）和螺纹（24）螺纹连接，螺钉14和螺母12借助于可沿着滚道26循环的球28相互作用，并且螺母连接到螺母的外表面并且从所述至少一个圆柱形壳体（30）的外表面（18）插入至少一个圆柱形壳体（30）中的至少一个再循环插入件（32） 18具有从螺母的螺母（22）穿过螺母的球传送槽（36），再循环插入件（32）朝向螺钉（14）旋转，并具有端部34。根据本发明，所述滚珠丝杠螺母机构包括用于保持所述再循环插入件（32）的保持体，所述保持体构造成将所述再循环插入件保持在所述插入件壳体中，所述再循环插入件插入件（32）具有第二端部，该第二端部具有与螺母（12）的地球区域接触的支撑肩部，再循环插入件（32）的第二端部包括具有在角的位置上（有角度的）对准的凸耳（取向凸耳）（38），并且所述对准凸片部分延伸所述再循环所述保持体中的至少一个导向件，以便在所述壳体中以固定插入件（32）的取向（44），并且所述再循环插入物的取向被固定以便与所述滚珠运送槽（36）过渡滚道连通。

4. 发明公开

KR1020170107004A 주형 진동 장치 审中-实审
标题翻译：模具振动装置
公开(公告)号：KR1020170107004A
公开(公告)日：2017-09-22
申请号：KR1020177022764
申请日：2016-02-09
申请人： 스틸플랜테크가부시키가이샤
发明人： 가도와키유키
IPC分类号： B22D11/053 , F16H25/22 , F16H25/24 , H05K7/06 , H02K7/10
CPC分类号： B22D11/053 , F16H25/22 , F16H25/2204 , F16H25/24 , F16H57/0497 , F16H2025/2031 , F16H2025/2043 , H02K7/06 , H02K7/10 , H02K7/1004 , H05K7/06
摘要： 나사축(29) 및볼 너트(30)를갖는볼 나사(32)와, 나사축(29)과동축적으로볼 너트(30)에고정적으로설치된너트측축(31)을포함하고, 중심축이상하방향으로연장되도록배치된볼 나사유닛을갖는다. 이볼 나사유닛에대해회전운동을전달하는동력전달기구를구비한다. 베어링은, 제1축을회전가능하게지지하고, 나사축과너트측축 중다른쪽인제2축이주형측에연결되어있다. 그리고, 주형진동장치를설치위치에고정하기위한설치부가, 베어링에대한상하방향의상대이동이불가능해지도록설치되어있음과함께, 주형진동장치가동작을정지한상태에있어서의베어링과제2축의상하방향의상대위치를변경가능하다.
摘要翻译：滚珠丝杠32具有丝杠轴29和滚珠螺母30以及固定设置在滚珠螺母30上以便积存丝杠轴29的螺母侧轴31，并且有一个滚珠丝杠单元可以延伸。以及用于将旋转运动传递到滚珠丝杠单元的动力传递机构。轴承具有可旋转地支撑并连接到另一个双轴移位类型的螺纹轴和螺母侧轴中的另一个的第一轴。用于将模具振动装置固定到安装位置的安装部分被设置成使得轴承相对于上下方向的相对运动是不可能的，并且在模具振动装置停止的情况下的轴承问题可以改变服装的位置。

5. 发明公开

KR1020170089907A 보호된 트랜스미션을 구비한 파지식 전동 공구 审中-实审
标题翻译：带保护传动装置的动力工具
公开(公告)号：KR1020170089907A
公开(公告)日：2017-08-04
申请号：KR1020177017621
申请日：2015-11-03
申请人： 뻴랑 (쏘씨에떼 아노님)
发明人： 뻴랑,로제
IPC分类号： A01G3/037 , A01D46/253 , B26B15/00
CPC分类号： A01G3/037 , F16H25/2204 , F16H2025/2031 , F16H2025/2043 , F16H2025/2078 , A01D46/253 , B26B15/00
摘要： 본발명은모터(14), 절삭요소(26) 및상기절삭요소를상기모터에연결하는트랜스미션(16, 20, 22)을포함하는파지식전동공구에관한것으로, 상기모터및 상기트랜스미션은주 케이싱(10) 내에수납되며, 상기트랜스미션은나사(42) 및너트(40)를갖는볼 나사-너트메커니즘(ball screw-nut mecaanism)(20)를포함하며, 상기나사및 너트중 하나는상기모터와같이회전하도록상기모터일체로되며, 상기나사와너트중 다른하나는상기절삭요소에연결되며, 본발명에따르면, 상기공구는상기주 케이싱과는별도인, 상기볼 나사-너트메커니즘을위한보호케이싱(50), 및상기보호케이싱(50)의내측면과협동하는슬라이딩시일(52)을포함하며, 상기슬라이딩시일(52)은상기절삭요소에연결된상기너트(40) 및나사(42) 중하나에의해구동되고, 상기슬라이딩시일(52)은상기너트를커버링하는슬리브(54) 및상기나사(42)를보호하는캡(80) 중하나에견고하게연결된다.
摘要翻译：本发明涉及一种动力传输工具，其包括马达（14），切割元件（26）和将切割元件连接到马达的传动装置（16,20,22），其中马达和传动装置（10），所述传动装置包括具有螺钉（42）和螺母（40）的滚珠丝杠螺母机构（20），其中所述螺钉和所述螺母另一个螺钉和螺母与切割元件连接，根据本发明，工具通过用于滚珠丝杠螺母机构的保护壳与主壳体分离（50）和与所述保护壳体（50）的内侧配合的滑动密封件（52），所述滑动密封件（52）由所述螺母（40）和所述螺钉并且滑动密封件（52）由覆盖螺母的套筒（54）驱动为了保护42被牢固地连接到重负载或帽80的螺钉。

6. 发明授权

KR101656445B1 태양광발전 시스템 有权
标题翻译：太阳能发电系统
公开(公告)号：KR101656445B1
公开(公告)日：2016-09-09
申请号：KR1020160045105
申请日：2016-04-12
申请人： 신동율
发明人： 신동율
IPC分类号： H02S20/32 , H02S10/30 , H02S50/00 , G08C17/02
CPC分类号： H02S20/32 , F15B15/14 , F16H25/20 , F16H35/18 , F16H2025/2043 , F16H2025/2081 , H02S30/20 , H02S50/00 , G08C17/02 , H02S10/30 , Y02E10/50
摘要： 본발명은태양광발전시스템에관한것으로, 더욱상세하게는조도센서의감지에따라전개및 접이가가능하게되어있어공간활용성을극대화할수 있으며, 강풍및 호우대설등자연재해로인한태양전지판의고장을방지함에따라태양전지판의수명이현격히증대되게하며, 일몰후태양전지판하강시자동으로메인박스덮개가닫혀완전밀봉됨으로간편한수납보관이가능하게되어있어필요시철거및 이동설치가용이하며, 설치장소의이동이가능하여사용장소에제한을받지않는등 그사용효율성이한층향상되는효과가있으며, 메인박스에모든구성품이수납되어수리및부속교체가용이하고, 자동조작및 수동조작무선통신에의한원격조작으로용이하게유지및 관리를수행할수 있는태양광발전시스템에관한것이다.
摘要翻译：光伏发电系统技术领域本发明涉及光伏发电系统。更具体地说，本发明涉及通过能够根据照明传感器的感测来折叠和展开来最大化空间利用的光伏发电系统，并且可以显着增加太阳能电池板的寿命，因为太阳能电池板的故障由于如强风，大雨和大雪等自然灾害，可以在需要的情况下将其拆下并移动到容易安装的位置，因为当太阳能电池板在日落后下降时，主箱盖自动关闭以完全密封，因此可以简单地容纳和保持，并且可以在没有使用场所的限制的情况下使用，同时能够移动安装地点。因此，光伏发电系统具有进一步提高使用效率的效果。由于所有组件都保存在主箱中，因此易于维修和更换组件。此外，光伏发电系统可以通过自动操作和手动操作无线通信的远程操作轻松进行维护和管理。

7. 发明公开

KR1020170105076A 주형 진동 장치 审中-实审
标题翻译：模具振动装置
公开(公告)号：KR1020170105076A
公开(公告)日：2017-09-18
申请号：KR1020177022763
申请日：2016-02-09
申请人： 스틸플랜테크가부시키가이샤
发明人： 가도와키유키
IPC分类号： B22D11/053 , F16H25/22 , F16H25/24 , H02K7/06 , H02K7/10
CPC分类号： B22D11/053 , F16H25/2204 , F16H57/029 , F16H57/0497 , F16H2025/2031 , F16H2025/2043 , F16H2025/2096 , H02K7/06 , H02K7/1004 , F16H25/22 , F16H25/24 , H02K7/10
摘要： 나사축(29) 및볼 너트(30)를갖는볼 나사(32)와, 나사축(29)과동축적으로볼 너트(30)에고정적으로설치된너트측축(31)을포함하고, 중심축이상하방향으로연장되도록배치된볼 나사유닛을갖는다. 그리고, 케이스가, 볼나사(32)의적어도일부를둘러싸고, 볼나사(32)의볼 너트(30)와, 볼나사(32)의나사축(29) 중볼 너트(30)가결합되어있는부분이윤활유에침지되어, 볼나사(32)를유욕에의해윤활가능하게한다.
摘要翻译：滚珠丝杠32具有丝杠轴29和滚珠螺母30以及固定设置在滚珠螺母30上以便积存丝杠轴29的螺母侧轴31，并且有一个滚珠丝杠单元可以延伸。壳体包围滚珠丝杠32的一部分，滚珠丝杠32的滚珠螺母32的一部分与滚珠丝杠32的滚珠螺母32接合并浸入润滑油中，以便滚珠螺杆32可以通过油浴润滑。

8. 发明公开

KR1020160145761A 변속 조작 기구 审中-实审
标题翻译：齿轮运动机构
公开(公告)号：KR1020160145761A
公开(公告)日：2016-12-20
申请号：KR1020167032284
申请日：2015-04-22
申请人： 게이힌 세이미쯔 고오교오 가부시끼가이샤
发明人： 카와메노부유키 , 후세기마사아키
IPC分类号： F16H63/30 , F16H61/32 , F16H61/34 , F16H25/22
CPC分类号： F16H25/2204 , F16H25/2015 , F16H25/22 , F16H61/32 , F16H61/34 , F16H63/30 , F16H2025/2043 , F16H2025/2071 , F16H2025/2075 , F16H2061/2838 , F16H2061/2884 , F16H2063/3073
摘要： 소형·경량화, 소비전력저감, 구성부품의간소화와점수삭감, 및저비용화를도모하는것이가능한변속조작기구를제공한다. 볼나사(13)를구성하는나사축(31)과, 나사축(31)을회전시키는모터(12)와, 나사축(31)에나합(螺合)하는너트(33)와, 나사축(31) 상에배치된클러치(16)와, 클러치(16)의온(on)에의하여나사축(31)과일체화하고, 클러치(16)의오프(off)에의하여나사축(31)에대하여구속이풀리는셀렉트레버(17)를구비하고, 메인레버(14)의일단을너트(33)에계합(係合)하는것과함께, 타단을샤프트(18)에계합또는연결하고, 셀렉트레버(17)를메인레버(14)에계합시켰다.
摘要翻译：提供了能够实现尺寸和重量的减小，功率消耗的降低，简化和部件数量的减少以及成本降低的变速操作机构。构成滚珠丝杠的螺杆轴，螺杆轴旋转的马达，拧在螺杆轴上的螺母，设置在螺杆轴上的离合器和通过切换与螺杆轴一体化的选择杆在离合器上，并且通过关闭离合器而关闭螺杆轴被约束，主杆的一端与螺母接合，另一端与轴接合或连接，并且选择杆是与主杆接合。

9. 发明公开

KR1020110095548A 기판 처리 시스템 및 기판 반송 방법 有权
标题翻译：基板处理系统和基板传输方法
公开(公告)号：KR1020110095548A
公开(公告)日：2011-08-25
申请号：KR1020100015079
申请日：2010-02-19
申请人： 주성엔지니어링(주)
发明人： 이규환 , 문덕원 , 장재환
IPC分类号： H01L21/677 , B25J5/02 , B65G49/06
CPC分类号： H01L21/67173 , B65G49/061 , B65G49/067 , B65G2249/02 , F16H25/20 , F16H2025/2043 , F16H2025/2075 , H01L21/67742
摘要： PURPOSE: A substrate processing system and a substrate transferring method are provided to improve the transfer efficiency of a substrate by bidirectionally transferring the substrate using a bidirectional substrate transfer unit between a plurality of process chambers. CONSTITUTION: A transfer chamber(TC) includes one or more bidirectional substrate transfer devices which bidirectionally transfer the substrate. A plurality of process chambers(PC) is arranged in a line while interposing a transfer chamber. A transfer unit(200) is installed in the transfer chamber to horizontally transfer the substrate by a linear motor. A bidirectional substrate transfer unit(300) transfers a process chamber through a bidirectional sliding process. A rotating unit rotates the bidirectional substrate transfer unit with a preset angle.
摘要翻译：目的：提供基板处理系统和基板转印方法，以通过使用双向基板转印单元在多个处理室之间双向转印基板来提高基板的转印效率。构成：传送室（TC）包括一个或多个双向衬底传送装置，其双向传送衬底。在插入传送室的同时，多个处理室（PC）被布置成一行。传送单元（200）安装在传送室中以通过线性电动机水平传送基板。双向衬底转移单元（300）通过双向滑动过程传送处理室。旋转单元以预设角度旋转双向衬底传送单元。

10. 发明授权

KR1019940000809B1 회전테이블의 선회위치를 결정하기 위한 분할장치 失效
标题翻译：指标设备
公开(公告)号：KR1019940000809B1
公开(公告)日：1994-02-02
申请号：KR1019910005142
申请日：1991-03-30
申请人： 호와고교 가부시키가이샤
发明人： 오께다니데쓰야 , 이또오도시오 , 마세요시아끼
IPC分类号： B23Q16/02
CPC分类号： F16H25/2015 , B23Q16/026 , F16H25/2021 , F16H25/2204 , F16H2025/2043 , F16H2025/2075
摘要： 내용 없음.

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