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1. 发明公开

KR1020040032762A 베어링 어셈블리, 이를 이용한 스테이지 장치 및 이를이용한 노광장치 失效
标题翻译：具有静水压轴承的轴承组件，使用其的阶段装置和使用该装置的曝光装置
公开(公告)号：KR1020040032762A
公开(公告)日：2004-04-17
申请号：KR1020030069841
申请日：2003-10-08
申请人： 캐논 가부시끼가이샤
发明人： 타카시마츠네오
IPC分类号： H01L21/027
CPC分类号： F16C32/06 , B23Q1/621 , B23Q5/28 , F16C29/025 , F16C29/12 , F16C32/0603 , F16C32/0674 , F16C39/063 , F16C2322/39
摘要： PURPOSE: A bearing assembly having a hydrostatic bearing, a stage device using the same, and an exposure device using the same are provided to remove the adjustment complexity and reduce the cost by using the bearing assembly without a stationary guide. CONSTITUTION: A guide(8,9,10) has a top side on which a guide surface including a magnetic body is formed. A bearing is installed at a moving body facing the guide surface. A magnet has an opposing surface facing the guide surface and is installed on the moving body in order to apply magnetic attractive force between the moving body and the guide surface. A relationship between the guide surface and the size and/or placement of the opposing surface of the magnet is defined for limiting displacement of the moving body in a width direction by using the magnetic attractive force in the width direction.
摘要翻译：目的：提供具有静压轴承的轴承组件，使用该静压轴承的平台装置和使用该轴承组件的曝光装置，以通过使用没有固定导轨的轴承组件来消除调整复杂性并降低成本。构成：引导件（8,9,10）具有形成包括磁性体的引导表面的顶面。轴承安装在面向导向面的移动体上。磁体具有面向引导表面的相对表面，并且安装在移动体上，以便在移动体和引导表面之间施加磁力吸引力。为了通过使用宽度方向上的吸引力来限制移动体在宽度方向上的位移，限定了磁体的相对表面的引导面与尺寸和/或位置之间的关系。

2. 发明授权

KR101318211B1 5 자유도 운동 오차 보정 기능을 갖는 능동 보정형 스테이지 및 그 운동 오차 보정 방법 有权
标题翻译：具有5自由度运动误差补偿的主动补偿级和运动误差补偿方法
公开(公告)号：KR101318211B1
公开(公告)日：2013-10-15
申请号：KR1020110052297
申请日：2011-05-31
申请人： 한국기계연구원
发明人： 노승국 , 박종권 , 김병섭 , 이성철
IPC分类号： B23Q5/28 , B23Q1/25 , H01L21/68
CPC分类号： B23Q1/58 , B23Q3/02 , B23Q5/28 , B23Q11/0032 , B23Q15/013 , F16C29/025 , F16C32/0674 , F16C2322/39
摘要： 본 발명은 서로 직교하는 제1 및 제2가이드면을 갖는 가이드 지지체와, 상기 제1 및 제2가이드면과 대향하는 제1 및 제2면을 구비하며 상기 제1 및 제2면에 각각 에어 베어링이 구비된 테이블과, 상기 테이블을 x축 방향으로 직선 구동시키는 구동기와, 상기 가이드 지지체와 테이블 사이에 자기 예압을 인가하며 상기 테이블에 발생하는 5 자유도 운동 오차를 보정할 수 있도록 가이드 지지체와 테이블 사이의 자기력을 가변시키는 복수의 자기 액츄에이터를 포함하고, 상기 자기 액츄에이터는 상기 제1면에 x축 방향으로 이격되게 설치된 제1 및 제2액츄에이터와, 상기 제2면에 x축 방향으로 이격되게 설치된 제3 및 제4액츄에이터, 및 상기 제2면에 상기 제3 및 제4액츄에이터로부터 z축 방향으로 이격되게 설치된 제5액츄에이터를 포함하는 것을 특징으로 하� � 능동 보정형 스테이지 및 그 운동 오차 보정 방법을 개시한다.

3. 发明授权

KR101561148B1 분할형 공기정압 베어링 有权
标题翻译：分体式航空轴承
公开(公告)号：KR101561148B1
公开(公告)日：2015-10-26
申请号：KR1020137024198
申请日：2012-02-13
申请人： 상하이 마이크로 일렉트로닉스 이큅먼트(그룹) 컴퍼니 리미티드
发明人： 리진춘 , 팡지에 , 정예친 , 시아하이 , 우리웨이
IPC分类号： F16C32/06
CPC分类号： F16C32/0614 , F16C29/025 , F16C32/0674 , F16C2370/00 , G03F7/707 , G03F7/70783 , G03F7/70816
摘要： 플랫폼(4) 상에마찰없이이동하게이동식테이블을지지하기위한분할형공기정압베어링이개시된다. 분할형공기정압베어링은공기정압베어링플레이트(6); 공기정압베어링플레이트(6)의하단에배치된공기부상소자들들(2'a,2'b,2'c,2'd); 및공기정압베어링플레이트(6)에배치된진공사전-결합식구조(7)를포함한다. 진공사전-결합식구조(7)는분할형태로공기정압베어링플레이트(6)에결합된다. 진공사전-결합식구조(7)로부터공기부상소자들들(2'a,2'b,2'c,2'd)의분리로공기정압베어링플레이트(6)가진공사전-결합력하에서휘는것이방지되고, 따라서공기부상영역에영향을주지않을것이다.

4. 发明授权

KR1019970011063B1 안내 장치 失效
标题翻译：指导装置
公开(公告)号：KR1019970011063B1
公开(公告)日：1997-07-05
申请号：KR1019880005551
申请日：1988-05-13
申请人： 코닌클리케 필립스 엔.브이.
发明人： 프란시스쿠스헨드리쿠스반도이렌
IPC分类号： H05K13/00
CPC分类号： F16C32/06 , B23Q1/01 , B23Q1/385 , B23Q1/621 , F16C29/025 , F16C32/0674 , F16C2322/39 , H02K7/08 , H02K41/031
摘要： 내용없음.
摘要翻译：引导装置，其包括滑架部分（13），所述滑架部分（13）被空气静压地安装在基部（11）上，并且通过在所述基部的两个引导平面中的五个预应力空气轴承（21）以直线运动被引导 11）彼此包围一个角度。空气轴承（21）通过包括设置在基部和滑架部分上的永磁部件和铁磁部件的磁体系统进行预应力。由于磁系统以一定角度排列，使得通过磁体系统的中心线的对称平面与两个引导平面成锐角，所有的空气轴承都是由磁体系统预压。通过使用具有用于驱动滑架部分（13）的永磁体的线性电动机（29），电动机的电枢（41）和定子（31）同时作用于用于预先的磁体系统 - 预应力空气轴承

5. 发明公开

KR1020120133579A 5 자유도 운동 오차 보정 기능을 갖는 능동 보정형 스테이지 및 그 운동 오차 보정 방법 有权
标题翻译：具有5自由度运动误差补偿的主动补偿级和运动误差补偿方法
公开(公告)号：KR1020120133579A
公开(公告)日：2012-12-11
申请号：KR1020110052297
申请日：2011-05-31
申请人： 한국기계연구원
发明人： 노승국 , 박종권 , 김병섭 , 이성철
IPC分类号： B23Q5/28 , B23Q1/25 , H01L21/68
CPC分类号： B23Q1/58 , B23Q3/02 , B23Q5/28 , B23Q11/0032 , B23Q15/013 , F16C29/025 , F16C32/0674 , F16C2322/39
摘要： PURPOSE: An active correction stage with a function of correcting the five degrees of freedom motion error is provided to improve transfer accuracy by controlling vibration damping using an accelerometer. CONSTITUTION: An active correction stage with a function of correcting the five degrees of freedom motion error comprises a guide support(110), a table, a driving device(180), and a magnetic actuator. The guide support comprises first and second guide planes crossing each other. The table comprises first and second surfaces facing the first and second guide planes. The air bearing is installed on the first and second surfaces of the table. The driving device linearly operates the table in an X-axis direction. The magnetic actuators supply a preload between the guide support and the table, and correct the five degrees of freedom motion error. The magnetic actuators vary magnetic force between the guide support and the table.
摘要翻译：目的：提供具有校正五自由度运动误差功能的主动校正级，以通过使用加速度计控制振动阻尼来提高传送精度。构成：具有校正五自由度运动误差功能的主动校正台包括导向支撑件（110），工作台，驱动装置（180）和磁性致动器。引导支撑件包括彼此交叉的第一和第二引导平面。桌子包括面向第一和第二引导平面的第一和第二表面。空气轴承安装在桌子的第一和第二表面上。驱动装置在X轴方向上直线地操作工作台。磁性执行器在引导支架和工作台之间提供预载，并纠正五个自由度的运动误差。磁性执行器在引导支架和工作台之间改变磁力。

6. 发明公开

KR1020080107241A 정압 안내 장치 无效
标题翻译：静压指导装置
公开(公告)号：KR1020080107241A
公开(公告)日：2008-12-10
申请号：KR1020070126737
申请日：2007-12-07
申请人： 가부시키가이샤 신가와
发明人： 가쿠타니오사무 , 곤도유타카 , 와다쇼지
IPC分类号： F16C32/06 , F16C32/00 , F16C25/08 , B23Q3/15
CPC分类号： F16C29/025 , F16C29/12 , F16C32/0402 , F16C32/06 , F16C32/0603 , F16C32/0674
摘要： A static pressure guide device is provided to use a facing surface as a bearing surface entirely by including a portion mounted with a magnetic suction part and excluding a surrounding groove portion. In a static pressure guide device for supplying compressed fluid into a gap between one die(20) and the other die(12), the one die is mounted to a facing surface facing the other die and has a surrounding groove(26) for inducing discharged compressed fluid annularly and a magnetic suction part formed of a yoke(30) and an electromagnet(32) for magnetically attracting the one and the other dies.
摘要翻译：提供了一种静压引导装置，通过包括安装有磁吸引部分的部分并且不包括周围的凹槽部分，将面对面全部用作支承面。在用于将压缩流体供应到一个模具（20）和另一个模具（12）之间的间隙中的静压引导装置中，一个模具安装到面对另一个模具的相对表面上，并具有用于诱导排出的压缩流体和由磁轭（30）和电磁体（32）形成的磁吸引部分，用于磁吸引一个和另一个管芯。

7. 发明公开

KR1020140018262A 분할형 공기정압 베어링 有权
标题翻译：分体式航空轴承
公开(公告)号：KR1020140018262A
公开(公告)日：2014-02-12
申请号：KR1020137024198
申请日：2012-02-13
申请人： 상하이 마이크로 일렉트로닉스 이큅먼트(그룹) 컴퍼니 리미티드
发明人： 리진춘 , 팡지에 , 정예친 , 시아하이 , 우리웨이
IPC分类号： F16C32/06
CPC分类号： F16C32/0614 , F16C29/025 , F16C32/0674 , F16C2370/00 , G03F7/707 , G03F7/70783 , G03F7/70816
摘要： 플랫폼(4) 상에 마찰없이 이동하게 이동식 테이블을 지지하기 위한 분할형 공기정압 베어링이 개시된다. 분할형 공기정압 베어링은 공기정압 베어링 플레이트(6); 공기정압 베어링 플레이트(6)의 하단에 배치된 공기부상소자들들(2'a,2'b,2'c,2'd); 및 공기정압 베어링 플레이트(6)에 배치된 진공 사전조임식구조(7)를 포함한다. 진공 사전조임식구조(7)는 분할형태로 공기정압 베어링 플레이트(6)에 결합된다. 진공 사전조임식구조(7)로부터 공기부상소자들들(2'a,2'b,2'c,2'd)의 분리로 공기정압 베어링 플레이트(6)가 진공 사전조임력 하에서 휘는 것이 방지되고, 따라서 공기부상영역에 영향을 주지 않을 것이다.

8. 发明授权

KR100562127B1 베어링 어셈블리, 이를 이용한 스테이지 장치 및 이를이용한 노광장치 失效
标题翻译：轴承组件，使用相同的阶段装置，以及使用相同的曝光装置
公开(公告)号：KR100562127B1
公开(公告)日：2006-03-21
申请号：KR1020030069841
申请日：2003-10-08
申请人： 캐논 가부시끼가이샤
发明人： 타카시마츠네오
IPC分类号： H01L21/027
CPC分类号： F16C32/06 , B23Q1/621 , B23Q5/28 , F16C29/025 , F16C29/12 , F16C32/0603 , F16C32/0674 , F16C39/063 , F16C2322/39
摘要： 스테이지 정반은, 자성체로 이루어지고, 홈에 의해 슬라이더의 가이드면이 형성된다. 가이드면과 대향하는 슬라이더의 부분은, 에어 패드 가 형성됨으로써, 유체 베어링(hydrostatic bearing)을 설치한다. 또한, 슬라이더는 가이드면과 슬라이더 사이에 상기 가이드면에 수직방향으로 자기흡인력을 인가하기 위한 압력부여용 자석이 설치되어 있다. 이 스테이지 장치에서는, 압력부여용 자석의 적어도 일부가 가이드면을 일탈했을 때에 발생하는 상기 가이드면에 평행한 자기흡인력을 이용하여 슬라이더의 이동 방향에 대한 직교 방향으로 슬라이더의 변위가 제한된다. 따라서, 직동 가이드를 필요로 하지 않는다.
摘要翻译：舞台装置包括具有包括磁性体的表面的引导件，可沿表面移动的移动体，用于相对于表面支撑移动体的气体轴承，以及供给到移动体并产生与磁体的磁力吸引力。引导件的表面具有边缘，以在宽度方向上限定其尺寸，该宽度方向垂直于移动体的行进方向，以限制移动体在宽度方向上的运动，使用磁体在方向上的磁吸引力平行于表面，并对气体轴承施加预压力。

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