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1. 发明授权

KR101787854B1 원자층 증착을 위한 장치 및 방법 有权
标题翻译：用于原子层沉积的设备和方法
公开(公告)号：KR101787854B1
公开(公告)日：2017-10-18
申请号：KR1020157019758
申请日：2010-07-30
申请人： 네덜란제 오르가니자티에 포오르 토에게파스트-나투우르베텐샤펠리즈크 온데르조에크 테엔오
发明人： 베르미에르,아드리아누스요하네스페트루스마리아 , 장센,가비피.
IPC分类号： C23C16/455 , C23C16/458 , C23C16/54
CPC分类号： C23C16/45551 , C23C16/45595 , C23C16/4583 , C23C16/50 , C23C16/54 , C23C16/56 , F16C29/025 , F16C32/0622
摘要： 전구체공급및 전구체배수가제공된증착공간; 상기공급및 배수는전구체공급으로부터증착공간을거쳐전구체배수로전구체가스를제공하기위해배열됨; 증착공간은사용시인젝터헤드와기판표면에의해구획됨; 기판표면과인젝터헤드사이에베어링가스를주입하기위해배열된베어링가스인젝터를포함하는가스베얼이, 상기베어링가스는가스-베어링을형성함;을포함하는인젝터헤드; 기판이이송되는이송평면을형성하도록기판의평면을따라인젝터헤드및 기판의상대움직임을제공하는이송시스템; 및인젝터헤드에대향하게배열된지지부; 상기지지부는이송평면내 인젝터헤드가스-베어링의균형을잡는가스베어링압력배열을제공하도록제조되어서, 기판은상기가스베어링압력배열에의해인젝터헤드와지지부사이에서지지없이유지됨;을포함하는박편으로된 기판의표면상의원자층증착장치.
摘要翻译：设有前体供应和前体排水的沉积空间; 进料和排放设置成将来自前体进料的前体气体通过沉积空间提供给前体进料; 沉积空间由使用中的注入头和基底表面分隔; 1。一种包括气体盖的喷射器头，所述气体盖包括轴承气体喷射器，所述轴承气体喷射器被布置为在基板表面和喷射器头之间喷射轴承气体，一种输送系统，用于提供注入头和基底沿着基底的平面的相对移动以形成输送基底通过其传送的输送平面; 以及布置成面向注射器头部的支撑部分; 支撑单元注射器头气体转移面被制造为提供轴承的气体轴承压力布置平衡，衬底被保持而不喷射头和由所述气体轴承压力布置在支撑部之间的支撑;一个成薄片，其中包括一种用于在基板表面上进行原子层沉积的设备。

2. 发明授权

KR101608366B1 정압 기체 베어링 및 이 정압 기체 베어링을 이용한 직동 안내 장치 有权
公开(公告)号：KR101608366B1
公开(公告)日：2016-04-01
申请号：KR1020147027483
申请日：2013-03-13
申请人： 오일레스고교 가부시키가이샤
发明人： 사토히카루
IPC分类号： F16C32/06 , F16C29/00
CPC分类号： F16C29/025 , F16C32/0622 , F16C32/0666
摘要： 정압기체베어링(1)은, 합성수지제의베어링체(2)와, 베어링체(2)에체결부재(3)에의해일체적으로접합되어있는베어링기체(4)와, 일체적으로접합된베어링체(2) 및베어링기체(4)간의간극으로부터의압축공기의누출을방지하도록베어링체(2)에장착된환형실링부재(5)와, 자여진동감쇠기구(6)를구비하고있다.

3. 发明授权

KR100877120B1 에어베어링을 적용한 고정밀 발란싱머신 회전축 지지대 有权
标题翻译：高精度平衡滚子轴承支架应用于空心轴承
公开(公告)号：KR100877120B1
公开(公告)日：2009-01-07
申请号：KR1020070077287
申请日：2007-08-01
申请人： 주식회사 알피에스
发明人： 이동헌 , 육인수
IPC分类号： F16C32/06
CPC分类号： F16C32/0622 , F16C2322/50
摘要： A rotary shaft support of high accurate balancing machine applying the air bearing is provided that the balancing is accurately corrected. A rotary shaft support of high accurate balancing machine applying the air bearing comprises an air bearing which is placed on the top of two balancing support unit(40) and connected to the outer air bearing supplying hose(11), a rotary shaft(20) which is built in the inside of the air bearing, a shaft drive motor(30) which is connected to one side of shaft. The air bearing includes an air bearing nozzle installed at end of a plurality of air supply paths connected to the air bearing supplying hose, an air bearing outside groove which is inserted into the balancing support stand, a space part in which shaft is built.
摘要翻译：提供了应用空气轴承的高精度平衡机的旋转轴支架，其中平衡被精确地校正。应用空气轴承的高精度平衡机的旋转轴支承包括一个空气轴承，该空气轴承位于两个平衡支撑单元（40）的顶部并连接到外部空气轴承供应软管（11），一个旋转轴（20）其构造在空气轴承的内部，连接到轴的一侧的轴驱动电动机（30）。空气轴承包括安装在连接到空气轴承供应软管的多个供气路径的端部处的空气轴承喷嘴，插入平衡支撑架中的空气轴承外部槽，构建轴的空间部分。

4. 发明授权

KR100628695B1 고하중물의 수평 운송장치 有权
标题翻译：水平运输设备的高负荷货物
公开(公告)号：KR100628695B1
公开(公告)日：2006-09-29
申请号：KR1020040107870
申请日：2004-12-17
申请人： 유영현
发明人： 유영현
IPC分类号： B65G61/00 , B65G49/02 , B63C3/00
CPC分类号： B66F3/24 , B65G7/06 , B66F3/35 , F16C29/025 , F16C32/0622 , F16C32/0666 , F16C2350/00
摘要： 본 발명은 선박,콘크리트케이스,교량,건축물,기계장치등의 고하중을 갖는 대형구조물을 운송하는 고하중물의 수평운송장치에 관한 것으로, 육상에서 건조한 선박의 해상으로의 진수시 또는 고하중의 대형 구조물을 윈치등의 당겨주는 장치 또는 별도의 밀어주는 장치를 이용하여 당기거나 밀을때, 구조물을 적은힘으로 수평이동을 시키는 용도로 사용되는 고하중물의 수평 운송장치로서, 이동시 구조물(9)의 균형을 유지 하기 위한 유압실린더(1), 하중을 안정하게 지지 및 수평이동을 용이하게 하여주는 이동지지판(2), 상기 이동지지판(2)의 이동을 원활하게 하기 위한 이동통로로서 미끄럼판인 스키드웨이(6), 압축공기 또는 고압질소를 공급하는 에어컨트롤 밸브(3), 상기 압축공기등에 의하여 미끄럼판인 스키드웨이(6)의 상부에서 이동시 이동지지판(2)에 가해진 압축공기의 누설을 방지할수 있는 구조의 피스톤 씰(4), 스키드웨이(6)와의 사이에 유막형성을 위하여 실리콘오일등의 액체오일을 도포 하여 주는 오일 도포기(5)등으로 구성된 본 발명의 운송장치(10)를 이용하여, 종래 구조물을 윈치등으로 당기거나 밀어주는 기구를 이용하여 밀을때 구조물과 미끄럼판인 스키드웨이와의 큰 마찰저항으로 인하여 고하중의 구조물의 이동이 용이 하지 않았으며, 제어가 곤란하고, 이동시 많은 힘이 가해지므로, 이동중 구조물이 균형을 잃어 미끄럼판인 스키드웨이로부터 이탈되어 파손되는 등의 문제점을 해결한 동시에, 특히 본 발명은 고하중의 구조물을 미끄럼판인 스키드웨이를 이용하여 이동부가 이동시 바닥면과의 마찰계수를 최소화 하고 구조물을 적은힘을 가하여 용 이하게 이동 할수가 있으며, 이동시 구조물의 균형을 유지하게 하여 구조물의 파손 방지등을 할수 있는 구조의 고하중물의 수평 운송장치에 관한 것이다.
유압실린더, 이동지지판, 피스톤씰, 스키드웨이, 에어컨트롤밸브, 가이드롤러, 에어배출부
摘要翻译：本发明涉及诸如船舶，桥梁和机械等的高负荷的水平运输装置，其运输大型框架或将陆上制造的船只发射到海上，以使用拉动或其它方式水平地运输低功率的框架推动装置，其包括用于保持框架在移动中的平衡的油缸（1）; 用于支撑负载并且易于水平移动的移动支撑件（2）用于供给压缩空气或高压氮气的空气调节阀（3）; 活塞密封件（4），用于防止添加到移动支撑件（2）的压缩空气泄漏; 用于将诸如硅油的液体油喷射到滑道（6）以形成油膜的注油器（5）; 一种作为滑动通道的平滑运输的滑道（6），本发明的运输装置解决了框架运动不平滑的问题，难以控制，以及在转移框架中移动时需要更多的力量高负载，这是针对本发明，框架以低功率方便地移动，而不管负载如何，以保持其平衡，并通过最小化与滑道的底侧的摩擦系数来牢固地维持负载。

5. 发明公开

KR1019990088229A 가스 베어링, 이를 포함하는 리소그래피 장치, 디바이스 제조방법 및 이에 따라 제조된 디바이스, 그리고 가스 베어링 제작방법 失效
标题翻译：包括这种轴承的气体轴承和平面设备以及制造气体轴承的方法
公开(公告)号：KR1019990088229A
公开(公告)日：1999-12-27
申请号：KR1019990016978
申请日：1999-05-12
申请人： 에이에스엠엘 네델란즈 비.브이.
发明人： 콴임분패트릭
IPC分类号： F16C32/06
CPC分类号： G03F7/70716 , F16C29/025 , F16C32/0622 , G03F7/70358
摘要： 세라믹본체(1)의가스(공기) 베어링은공기한정피쳐를형성하는별도의한정부재를사용하여제작된다. 별도의부재는실질적인한정피쳐를형성하고개구를구비하며삽입물(6)이맞춤접합되는금속부싱(5)일수 있다. 대안적으로, 별도의부재는본체에부착되기전 또는후에레이저나연마로가공되는한정피쳐를갖는세라믹판(8)일수도있다.

6. 发明公开

KR1020170117635A 노즐과 포켓라인을 구비한 레이디얼 에어베어링과 그를 사용한 고속 에어베어링 스핀들 审中-实审
标题翻译：高速空气轴承主轴，带径向空气轴承，带喷嘴和口袋
公开(公告)号：KR1020170117635A
公开(公告)日：2017-10-24
申请号：KR1020160045290
申请日：2016-04-14
申请人： 주식회사 알피에스
发明人： 육인수 , 이동헌
IPC分类号： F16C32/06 , B23Q3/155 , B23Q3/157
CPC分类号： F16C32/0622 , F16C32/0603 , F16C32/0625
摘要： 본발명은오리피스를베어링본체에조립하는방식이아닌일체화된파이프형상이며, 레이디얼베어링내경측에레이디얼에어베어링의압력이유지되도록원주방향으로홈이라인형태로설치된다수개의포켓라인(7)과, 상기각각의포켓라인(7)에는미세홀로형성된다수개의에어공급노즐(6)(미세홀)이일정간격이격되어설치하여레이디얼에어베어링으로서의기능을유지하는노즐과포켓라인을구비한레이디얼에어베어링과그를사용한고속에어베어링스핀들에관한것이다.
摘要翻译：本发明是一种管状，夫人多个凹穴的圆周方向槽，使得径向空气轴承的压力维持在径向轴承的内径侧安装在一个线路形式线7，并入装配在轴承本体的孔的非法并且，其中，每个口袋线7设置有细多个空气供给喷嘴（6）由具有喷嘴和袋线，以保持功能与径向空气轴承的径向间隔开的间隔女士单独形成（微细孔）的yiiljeong 空气轴承和使用它的高速空气轴承主轴。

7. 发明公开

KR1020170114959A 스로틀 유닛 및 이것을 구비한 정압 베어링 장치 그리고 홈이 형성된 블록의 제조 방법 审中-实审
标题翻译：节流单元，具有该节流单元的静压轴承装置以及制造槽形块的方法
公开(公告)号：KR1020170114959A
公开(公告)日：2017-10-16
申请号：KR1020170042901
申请日：2017-04-03
申请人： 화낙 코퍼레이션
发明人： 스즈키도요아키 , 무로타마사히로
IPC分类号： F16L55/027 , F16C32/06 , B23Q1/38
CPC分类号： F16C32/0622 , F16C29/025 , F16C32/0625 , F16C32/0655 , F16C32/0659 , F16C2220/60 , F16C2240/42 , F16C2322/39
摘要： 스로틀유닛및 이것을구비한정압베어링장치그리고홈이형성된블록의제조방법. 스로틀유닛 (14A) 은, 평면 (15) 상에적어도 1 개의미세홈 (25) 을갖는홈이형성된블록 (24) 과, 미세홈 (25) 에대향하는평면 (27) 을갖는대향블록 (26) 을구비한다. 홈이형성된블록 (24) 과대향블록 (26) 은, 서로대향하도록착탈할수 있게결합되고, 미세홈 (25) 과대향블록 (26) 의평면 (27) 에의해스로틀유로 (18) 가형성된다. 미세홈 (25) 의적어도 1 개의면이, 홈이형성된블록 (24) 의평면 (15) 에대해경사지는경사면, 또는곡면으로구성되어있다.
摘要翻译：节流单元，具有该节流单元的流体静力学轴承装置以及制造槽形块的方法。节流单元14A包括块24，其中在平面15上形成具有至少一个细槽25的槽和具有与细槽25相对的平面27的对置块26 ）设置有。槽形块24和挡板块26可拆卸地彼此联接，并且节流通道18由细槽25的平面27和挡板块26形成。细槽25的至少一个面由相对于槽状块24的平面15倾斜的倾斜面或曲面形成。

8. 发明授权

KR101608361B1 정압 기체 베어링 및 이 정압 기체 베어링을 이용한 직동 안내 장치 有权
公开(公告)号：KR101608361B1
公开(公告)日：2016-04-01
申请号：KR1020147027482
申请日：2013-03-12
申请人： 오일레스고교 가부시키가이샤
发明人： 사토히카루
IPC分类号： F16C32/06 , F16C29/00 , F16C11/06
CPC分类号： F16C32/0622 , F16C2240/40
摘要： 정압기체베어링(1)은, 합성수지제의베어링체(2)와, 베어링체(2)에체결부재(3)에의해일체적으로접합되어있는베어링기체(4)와, 일체적으로접합된베어링체(2) 및베어링기체(4)간의간극으로부터의압축공기의누출을방지하도록베어링체(2)에장착된환형실링부재(5)와, 자여진동감쇠기구(6)를구비하고있다.

9. 发明公开

KR1020140099487A 흐름제한기와 이를 포함하는 가스 압축기 审中-实审
标题翻译：流量限制器和气体压缩机
公开(公告)号：KR1020140099487A
公开(公告)日：2014-08-12
申请号：KR1020147016017
申请日：2012-11-14
申请人： 월풀 에쎄.아.
发明人： 브뤼그만뮐레,엔리크 , 디이트마르에리히베른하르드,릴리
IPC分类号： F04B35/04 , F04B39/12 , F04B53/00 , F16C29/02
CPC分类号： F16C32/0622 , F04B35/045 , F04B39/122 , F04B39/123 , F04B39/126 , F04B53/008 , F16C29/025 , F16C32/0685 , F16J1/02
摘要： 본 발명은 가스 압축기(4)의 피스톤(2)과 실린더(3) 사이의 베어링층에 사용하기 위한 흐름 제한기(1)에 관한 것이다. 그러한 가스 압축기(4)는 실린더(3)를 외부에서 포위하는 적어도 하나의 보호패드(5)를 포함한다. 또한, 가스 압축기(4)는 보호패드(5)와 실린더(3) 사이에 배치되어, 실린더(3) 내에서 피스톤(2)에 의해 가해진 압축운동으로부터의 배출흐름에 의해 유체적으로 공급되는 적어도 하나의 내부 캐비티(6)를 또한 포함한다. 또, 가스 압축기(4)는 피스톤(2)의 외벽과 실린더(3)의 내벽을 분리하는 적어도 하나의 베어링층 틈새(7)를 더 포함한다. 나아가서, 가스 압축기(4)는 내부 캐비티(6)를 베어링층 틈새(7)에 유체적으로 연결하는 하우징(12)이 구비된 적어도 하나의 흐름 제한기(1)를 또한 포함한다. 그러한 흐름 제한기(1)는, 하우징(12)과 결합되고 내부 캐비티(6)로부터 베어링층 틈새(7)로 흐르는 가스흐름을 제한하는 크기로 된 단면이 갖춰진 적어도 하나의 제한부위가 구비된 적어도 하나의 제한튜브(8)를 포함한다. 본 발명은 상술한 흐름 제한기(1)를 포함하는 가스 압축기(4)에 관한 것이다.

10. 发明公开

KR1020140066067A 정압 기체 베어링 및 그 제조 방법 审中-实审
标题翻译：静压气体轴承及其制造方法
公开(公告)号：KR1020140066067A
公开(公告)日：2014-05-30
申请号：KR1020127028265
申请日：2012-09-06
申请人： 오일레스고교 가부시키가이샤
发明人： 사토히카루
IPC分类号： F16C32/06 , F16C33/00 , B23K26/364
CPC分类号： F16C33/20 , B21D53/10 , F16C32/0622 , F16C32/0666 , F16C33/208 , F16C43/02 , F16C2240/40 , F16C2240/70 , F16C2326/58 , F16C2370/00 , Y10T29/49639 , Y10T29/4971
摘要： 베이스부(4)와, 베이스부(4)의 한쪽 면(5)으로부터 일체적으로 돌출 설치되어 있는 환형 돌출부(6)와, 일단(7)에서는 상기 환형 돌출부(6)의 돌출 단면(8)에서 개구되어 있는 반면, 타단(9)에서는 베이스부(4)의 외주면(10)에서 개구됨과 동시에 환형 돌출부(6) 및 베이스부(4)에 설치된 급기 통로(11)를 구비한 합성수지제 베어링 베이스(2)와, 베이스부(4)의 한쪽 면(5)에 대면하고 있는 한쪽 면(41)에 형성됨과 동시에 베어링 베이스(2)의 환형 돌출부(6)를 수용한 환형 오목부(42), 다른 쪽 면(43)에서 개구된 환형 오목홈(44) 및 일단(45)에서는 환형 오목홈(44)에 연통됨과 동시에 타단(46)에서는 환형 오목부(42)로 개구된 자성 조리개로서의 복수개의 공기 분출공(47)을 가진 합성수지제 베어링체(3)를 구비하고 있다.

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