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1. 发明公开

KR1020150022858A 저-미립자 결함 박형 유리 시트를 형성하기 위한 정전기 방법 및 장치 审中-实审
标题翻译：形成低颗粒缺陷薄膜的静电方法和装置
公开(公告)号：KR1020150022858A
公开(公告)日：2015-03-04
申请号：KR1020147035659
申请日：2013-05-20
申请人： 코닝 인코포레이티드
发明人： 하우토프,대니얼워렌 , 놀리,브렌턴엘렌 , 버뮤리,스리니바스
IPC分类号： C03B19/14 , C03C15/00 , B32B17/06 , B32B37/00 , B05D1/06
CPC分类号： C03B19/1446 , C03B19/1423 , C03B19/1492 , Y02P40/57 , Y10T428/24355 , Y10T428/268
摘要： 고품질-표면 유리 시트는 롤-대-롤 유리 시트 증착 및 소결 공정을 사용하여 형성된다. 상기 유리 시트 형성은 유리 수트 입자를 제공하는 단계, 상기 유리 수트 입자의 제1 부분을 증착 표면에 증착시켜 지지된 수트층을 형성시키는 단계, 상기 유리 수트 입자의 제2 부분을 하전된 플레이트의 표면상으로 전정기적으로 끌어당기고 수집하는 단계; 상기 증착 표면으로부터 수트층을 제거하여 수트 시트를 형성시키는 단계; 및 상기 유리 수트 입자를 소결시키기 위해 상기 수트 시트의 적어도 일부를 가열시켜 유리 시트를 형성시키는 단계를 포함한다.

2. 发明公开

KR1020120024481A 티타니아 도핑 석영 유리 및 그의 제조 방법 审中-实审
标题翻译： TITANIA-DOPED QUARTZ玻璃和制造方法
公开(公告)号：KR1020120024481A
公开(公告)日：2012-03-14
申请号：KR1020110088298
申请日：2011-09-01
申请人： 신에쓰 가가꾸 고교 가부시끼가이샤
发明人： 마이다,시게루 , 오쯔까,히사또시 , 세끼자와,오사무 , 야나기사와,나오끼
IPC分类号： C03B20/00 , C03B32/00 , C03C3/06 , C03C8/12
CPC分类号： C03C3/06 , C03B19/1423 , C03B19/1453 , C03B2201/23 , C03B2201/42 , C03B2207/06 , C03B2207/12 , C03B2207/20 , C03B2207/62 , C03B2207/64 , C03C4/0085 , C03C2201/21 , C03C2201/42
摘要： PURPOSE: A titania doped quartz glass and a manufacturing method thereof are provided to reduce transmittance distribution of absorption edge wavelength per 5mm thickness. CONSTITUTION: A manufacturing method of titania doped quartz glass comprises the following steps: venting silicon feed gas, titanium feed gas, combustible gas, and flammable gas from front end part of a burner(1); oxidizing hydrolysis or flame hydrolysis the silicon feed gas and titanium feed gas using the combustible gas and flammable gas; obtaining synthetic silica-titania particle; depositing the synthetic silica-titania particle on target which moves backwards at certain speed by rotating the particle; and manufacturing ingot of titania doped quartz glass by melt vitrification. A distance between the front-end part of the burner and front-end part of the ingot(2) is 250mm or greater. An Angle between growth axis of the ingot and nozzle axis of central tube for spraying feed gas is 126degree or greater.
摘要翻译：目的：提供掺杂二氧化钛的石英玻璃及其制造方法，以减少每5mm厚度的吸收边缘波长的透射率分布。构成：二氧化钛掺杂石英玻璃的制造方法包括以下步骤：从燃烧器（1）的前端部排出硅进料气体，钛进料气体，可燃气体和可燃气体; 使用可燃气体和可燃性气体对硅进料气和钛进料气进行氧化水解或火焰水解; 获得合成二氧化硅 - 二氧化钛颗粒; 将合成二氧化硅 - 二氧化钛颗粒沉积在通过旋转颗粒以一定速度向后移动的靶上; 并通过熔融玻璃化制造掺杂二氧化钛的石英玻璃锭。燃烧器的前端部分和锭（2）的前端部分之间的距离为250mm以上。铸锭的生长轴与用于喷射原料气的中心管的喷嘴轴线之间的角度为126度或更大。

3. 发明公开

KR1020040030512A 진공 자외선 투과 실리콘 옥시플루오라이드 리소그라피 유리 无效
标题翻译：真空紫外线透过氟氧化硅平版印刷玻璃
公开(公告)号：KR1020040030512A
公开(公告)日：2004-04-09
申请号：KR1020037011150
申请日：2001-11-28
申请人： 코닝 인코포레이티드
发明人： 무어,리사,에이. , 스미스,샬렌,엠.
IPC分类号： G03F9/00
CPC分类号： G03F7/70216 , C03B19/1407 , C03B19/1415 , C03B19/1423 , C03B19/1453 , C03B2201/07 , C03B2201/075 , C03B2201/12 , C03B2201/20 , C03B2201/21 , C03B2207/30 , C03B2207/32 , C03B2207/36 , C03B2207/38 , C03C3/06 , C03C4/0085 , C03C2201/12 , C03C2201/20 , C03C2201/21 , C03C2201/23 , C03C2201/30 , C03C2201/32 , C03C2203/54 , G03F1/60 , G03F7/70958
摘要： 본 발명은 190nm 이하의 VUV 파장 영역에서의 포토리소그라피 응용분야를 위한 포토마스크 기판 용 고순도 실리콘 옥시플루오라이드 유리에 대한 것으로 상기 실리콘 옥시플루오라이드 유리는 바람직하게 17 분자/㎤ 미만의 분자 수소 및 저 함량의 염소를 갖는다.

4. 发明公开

KR1020030004378A 글라스 프리폼, 그 제조장치 및 방법 无效
标题翻译：玻璃预制件，其制造设备和方法
公开(公告)号：KR1020030004378A
公开(公告)日：2003-01-14
申请号：KR1020027014535
申请日：2001-04-17
申请人： 코닝 인코포레이티드
发明人： 브라운,존,티. , 버크,제랄드,이. , 챠콘,리사,씨. , 도우스,스티븐,비. , 앨리슨,아담,제이. , 하우토프,다니엘,더블유. , 루피노,안쏘니,피. , 스리칸트,브이. , 탄돈,푸쉬카 , 텐넨트,크리스틴,엘. , 테렐,제임스,피.,주니어. , 홀렌요셉,엠.
IPC分类号： C03B37/018
CPC分类号： G03F7/70216 , C03B19/1407 , C03B19/1415 , C03B19/1423 , C03B19/1453 , C03B37/01202 , C03B37/01406 , C03B37/01413 , C03B37/0142 , C03B37/0146 , C03B2201/12 , C03B2203/22 , C03B2207/02 , C03B2207/06 , C03B2207/08 , C03B2207/14 , C03B2207/20 , C03B2207/30 , C03B2207/38 , C03B2207/40 , C03B2207/42 , C03B2207/46 , C03B2207/54 , C03B2207/70 , C03B2207/81 , C03C3/06 , C03C2201/12 , C03C2201/20 , C03C2201/23 , C03C2201/30 , C03C2201/32 , F23D14/22 , F23D14/32 , G03F1/60 , G03F7/70958
摘要： 본 발명은 대기로부터 반응 제품으로서 물을 제거하고, 이송 과정에서 물을 제거하거나, 또는 그들의 조합으로 무수 용융 실리카 프리폼 또는 글라스를 제조하기 위한 장치 및 방법에 관한 것이다. 무수 수트, 프리폼 또는 글라스는 적층과정에서 카본 모노사이드와 같이 무수소 연료를 이용하여 얻게 된다. 선택적으로, 수트 형성 버너는 무수소 연료로 작동될 수 있도록 하는 변수를 갖는다. 또한, 물의 생성을 최소화시키는 엔드 버너가 게시되어 있다. 이러한 무수법은 플루오린 도프 수트를 효과적으로 적층하는데 있어서 유용하다. 도판트의 이동을 최소화하기 위한 유리 차단층법과 장치도 개시되어 있으며, 특히 차단층을 형성하기 위한 플루오린 및 레이저 및 유도 방법과 장치도 개시되어 있다. 클로로플루오로실란과 같은 클로린, 플루오린 및 실리카 전구물질이 사용될 수 있다. 일실시예는 무수 연료에 대한 연소촉진 첨가제에 관한 것이다. 상기 방법과 장치는 포토마스크 기판 및 광섬유 프리폼의 제조에 유용하다.

5. 发明公开

KR1020020076183A 고내구성 석영글라스, 그 제조방법 및 제조용장치, 및이를 이용한 부재 및 장치 有权
标题翻译：高耐用的QUARTZ玻璃，其制备方法，制造玻璃的装置，以及使用玻璃的会员和装置
公开(公告)号：KR1020020076183A
公开(公告)日：2002-10-09
申请号：KR1020020016491
申请日：2002-03-26
申请人： 토소가부시키가이샤 , 토소 에스지엠 가부시키가이샤 , 토소쿼츠 가부시키가이샤
发明人： 하라다요시노리 , 미즈타니슈조 , 하시모토신키치 , 쿠도마사카즈 , 미우라나오키 , 타카하시카츠후미 , 키요하라히데키
IPC分类号： C03C3/06
CPC分类号： C03B19/01 , C03B19/095 , C03B19/1423 , C03B19/1453 , C03B2201/07 , C03B2201/32 , C03B2201/34 , C03B2201/40 , C03B2201/54 , C03C3/06 , C03C2201/34 , C03C2201/3411 , C03C2201/40 , C03C2201/54 , Y02P40/57
摘要： PURPOSE: A highly durable quartz glass, its preparation method and apparatus, a quartz glass member, and a semiconductor manufacturing device and a liquid crystal manufacturing device employing the member are provided, wherein the quartz glass is improved in durability, processability and transparency. CONSTITUTION: The quartz glass comprises 0.01-2 wt% of at least element selected from the group consisting of Mg, Ca, Sr, Ba, Y, Hf and Zr. The quartz glass is prepared by dropping the silica powder containing Zr into the furnace using an acid hydride salt as a heat source, layering it, and extending the layer outward. Also the quartz glass is prepared by passing the powder mixture of a silicate powder and the silica powder containing Zr through the plasma arc-coupling region where at least two plasma arcs are coupled and at least two electrodes have opponent polarity, or its neighborhood, thereby melting the mixture.
摘要翻译：目的：提供高耐用的石英玻璃及其制备方法和装置，石英玻璃构件和半导体制造装置以及采用该构件的液晶制造装置，其中石英玻璃的耐久性，加工性和透明度得到改善。构成：石英玻璃含有0.01-2重量％的至少选自Mg，Ca，Sr，Ba，Y，Hf和Zr的元素。通过使用氢化氢盐作为热源将含有Zr的二氧化硅粉末放入炉内来制备石英玻璃，将其分层并向外延伸。此外，石英玻璃通过使硅酸盐粉末和含有Zr的二氧化硅粉末的粉末混合物通过等离子体电弧耦合区域而制备，其中至少两个等离子体电弧耦合，并且至少两个电极具有对立的极性或其邻域，由此熔化混合物。

6. 发明公开

KR1020000023643A 레일리 분산 분무장치 및 레일리 분산 분무장치 제조방법 无效
标题翻译：先进的分散和喷涂装置及其制造方法
公开(公告)号：KR1020000023643A
公开(公告)日：2000-04-25
申请号：KR1019997000096
申请日：1997-07-08
申请人： 코닝 인코포레이티드
发明人： 스케스,페리,알. , 세일러,존,알. , 로벨스테드,에이미,엘.
IPC分类号： B05B7/08
CPC分类号： F23D11/38 , B05B1/02 , B05B1/08 , B05B7/00 , B05B7/0433 , B05B7/0458 , B05B7/0884 , B05B15/40 , B05B17/0692 , C03B19/1423 , C03B2207/02 , C03B2207/06 , C03B2207/08 , C03B2207/34 , F23D11/107 , F23D11/108 , F23D2900/14482
摘要： PURPOSE: A sprayer is provided to generate spray having a particle of an average diameter that is 10 or less than 10 micrometer. CONSTITUTION: A sprayer(40) contains a flat first layer(42) and a flat second layer(44). The first and the second layer have 1mm¬2 of an area to each 5mm/MIN of spray liquid. Also the first and the second layer are made from a standard semiconductor material or silicon carbide which is etched. The layers forms a gas supplying network supplying gas to an orifice(46) and the gas supplying network contains a gas port supplying gas to a gas passage(50). The gas passage supplies gas to a gas channel(52). Also, the layers forms a liquid supplying network supplying liquid to a liquid orifice(48). The liquid supplying network contains a liquid port supplying liquid to a liquid passage. The liquid passage supplies liquid to a liquid channel supplying liquid to a liquid orifice(46).
摘要翻译：目的：提供喷雾器以产生具有10或小于10微米的平均直径的颗粒的喷雾。构成：喷雾器（40）包含平坦的第一层（42）和平坦的第二层（44）。第一层和第二层与每5mm / min喷涂液体的面积为1mm〜2。此外，第一层和第二层由标准半导体材料或被蚀刻的碳化硅制成。这些层形成向孔口（46）供给气体的供气网络，气体供给网络包含向气体通路（50）供给气体的气体口。气体通道将气体供应到气体通道（52）。此外，这些层形成向液体孔口（48）供应液体的液体供应网络。液体供应网络包含向液体通道供应液体的液体端口。液体通道将液体供应到向液体孔口（46）供应液体的液体通道。

7. 发明公开

KR1020160119409A 석영유리 잉곳 제조용 멀티 버너 有权
标题翻译：多功能燃烧器用于制造QUARTZ GLASS INGOT
公开(公告)号：KR1020160119409A
公开(公告)日：2016-10-13
申请号：KR1020150047715
申请日：2015-04-03
申请人： (주) 디에스테크노
发明人： 김영주 , 박영식 , 송준백 , 정연웅 , 손원근
IPC分类号： C03B19/14
CPC分类号： C03B19/1423 , C03B2207/12 , Y02P40/57
摘要： 본발명은, 분말원료와산소가혼합되어도입되는원료도입관과수소가도입되는수소도입관및 다수의관으로만들어지고원료가분출되는세관이구비되고, 상기원료도입관은경사구조의내부관(121)과연결되고, 다수의홀이형성된지지판이더 구비되어상기지지판에상기세관이결합될때, 상기지지판은원형이고두께를가진판상형태이며, 상기지지판에형성된하나의홀에세관이하나씩대응되는형태로결합되고, 상기내부관내부에원통형형상의블럭이더 구비되고, 상기블럭은블럭바에의하여내부관내부에고정되도록구비되므로서, 300mm이상의잉곳을안정적으로제작할수있도록하고기존버너에비하여구조는간단하지만, 내관내부에블럭의구비로, 세관및 버너의파손을방지할수 있도록하므로서품질이향상되는석영유리제멀티버너를제공할수가있게된다.

8. 发明公开

KR1020150035037A 석영유리 잉곳 제조용 버너 이송장치 有权
标题翻译：用于制造石英玻璃锭的燃烧器传送装置
公开(公告)号：KR1020150035037A
公开(公告)日：2015-04-06
申请号：KR1020130115141
申请日：2013-09-27
申请人： (주) 디에스테크노
发明人： 김영주 , 박영식 , 송준백 , 정연웅
IPC分类号： C30B29/18 , C03B5/235 , C03B19/14
CPC分类号： C03B19/1423 , C03B19/1407 , C03B2207/60 , C30B29/18 , C03B5/235 , C03B19/14
摘要： 본발명은버너와노 및타켓판이구비된석영유리잉곳제조용버너이송장치에있어서, 상기버너를지지하는버너지지판과상기버너지지판을지지하는지지판이구비되고, 상기지지판은노의측벽에고정되며, 상기지지판과상기지지판이지지하고있는버너가이동함로서, 노안에서원재료를공급하는버너의위치를변경할수 있도록하므로서, 타켓판위에원재료를균일하게공급할수 있게되므로, 다양한크기의잉곳을제조할수 있을뿐 아니라규일한품질의잉곳도제조가가능하게된다.
摘要翻译：本发明涉及一种燃烧器和炉，以及目标板设置有一个石英玻璃锭制备燃烧器输送装置，设置有板支持用于支持与用于支承所述燃烧器的燃烧器支撑板的燃烧器支撑板，所述支撑板被固定在炉壁上，由于支撑板和支撑板的箱支撑并燃烧器在移动时，hameuroseo以允许改变燃烧器的位置，以从老花眼供给原料，使您能够均匀地供给原料上的目标板，以能够制造出不同尺寸的锭另外，可以生产出具有一定质量的锭。

9. 发明公开

KR1020130099427A 포토마스크용 합성석영유리 제조에 사용되는 산수소버너 无效
标题翻译：氧气燃烧器用于制造合成石英玻璃
公开(公告)号：KR1020130099427A
公开(公告)日：2013-09-06
申请号：KR1020120020932
申请日：2012-02-29
申请人： 주식회사 케이씨씨
发明人： 박성은 , 김동래 , 이준상 , 김명환
IPC分类号： C03B5/235 , C03B20/00 , C03B5/16
CPC分类号： C03B19/106 , C03B19/1423 , C03B2207/06 , C03B2207/20 , C03B2207/36 , C03B2207/42
摘要： PURPOSE: An oxyhydrogen burner for producing synthetic quartz glass for a photomask is provided to produce the synthetic quartz glass with improved optical uniformity by having the total uniform density distribution, through optimizing the flow velocity rate of hydrogen gas and oxygen gas discharged from the oxyhydrogen burner. CONSTITUTION: An oxyhydrogen burner for producing synthetic quartz glass for a photomask has a multi pipe structure. The multi pipe structure includes a first tube pipe (10), a second tube pipe (20), and a third tube pipe (30). The first tube pipe is located on the center of the multi pipe structure for inserting SiCl4. The second tube pipe is located on the outside of the first tube pipe for inserting oxygen gas. The third tube pipe is located on the outside of the second tube pipe for inserting hydrogen gas. When a gap between the outer wall of the first tube pipe and the inner wall of the second tube pipe is G2, and a gap between the outer wall of the second tube pipe and the inner wall of the third tube pipe is G3, G2:G3 is within a range of 1:6.5-11.0. In the oxyhydrogen burner, the flow velocity rate of the hydrogen gas and oxygen gas is uniform, and the flow velocity rate of the hydrogen gas and oxygen gas is 0.4-0.20.
摘要翻译：目的：提供一种用于生产光掩模合成石英玻璃的氢氧燃烧器，通过优化从氢氧燃烧器排出的氢气和氧气的流速，通过具有总均匀密度分布来生产具有改善的光学均匀性的合成石英玻璃。构成：用于生产用于光掩模的合成石英玻璃的氢氧化物燃烧器具有多管结构。多管结构包括第一管管（10），第二管管（20）和第三管管（30）。第一管管位于多管结构的中心，用于插入SiCl4。第二管管位于第一管道的外部，用于插入氧气。第三管管位于用于插入氢气的第二管管的外侧。当第一管的外壁和第二管管的内壁之间的间隙为G2时，第二管的外壁和第三管的内壁之间的间隙为G3，G2： G3在1：6.5-11.0的范围内。在氢氧燃烧器中，氢气和氧气的流速均匀，氢气和氧气的流速为0.4-0.20。

10. 发明授权

KR100979867B1 석영 유리제 버너 有权
标题翻译： QUARTZ玻璃制造燃烧器
公开(公告)号：KR100979867B1
公开(公告)日：2010-09-02
申请号：KR1020087021301
申请日：2007-02-28
申请人： 신에쓰 가가꾸 고교 가부시끼가이샤
发明人： 요시다마코토
IPC分类号： C03B8/04 , F23D14/22
CPC分类号： F23D14/22 , C03B19/1423 , C03B2207/12 , C03B2207/14
摘要： 석영 유리제 외관(1) 내에 복수의 세관으로 이루어지는 다분기관형의 석영 유리제 노즐(3)을 가지고, 외관 선단의 내경이 외관 직동부 내경의 0.65배 이상 0.90배 이하로 축경되어 있는 것을 특징으로 하고, 상기 노즐(3)은 세관 분기부(2)로부터 그 선단까지가 외관(1) 내에 수납되어 있는 구조로 하고, 세관을 수납하는 외관부의 길이는 외관 선단 내경의 1.5배 이상으로 한다. 버너 선단부에 있어서, 외관으로부터 공급되는 가스의 유속 분포를 균일하게 함으로써, 화염 가공시의 화력 향상 및 유리 미립자의 퇴적 효율을 향상시킬 수 있는 석영 유리제 버너를 제공한다.
석영 유리제, 세관, 다분기관, 외관, 버너

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