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1. 发明公开

KR1020180125099A 화학기상증착 저 저항 실리콘 카바이드 벌크 제조 장치 有权
公开(公告)号：KR1020180125099A
公开(公告)日：2018-11-22
申请号：KR1020170059192
申请日：2017-05-12
申请人： (주) 디에스테크노
发明人： 안학준 , 문경락 , 김영주 , 정연웅 , 박영식 , 송준백
IPC分类号： C23C16/32 , C23C16/455
摘要： 본발명은, 화학기상증착저 저항실리콘카바이드벌크가제조되는증착로에가스를공급하기위한가스혼합시스템은헤더(Header)(10)와분사라인(Line)(20)으로구성되고, 상기헤더(10)는분사라인(20)을감싼외부관이고, 헤더(10)의앞 쪽에는공급관(31)이더 구비되고, 상기공급관을통하여 MTS, 질소, 및수소가상기가스혼합시스템에공급되고, 상기헤더(10)에는적어도 2개이상의노즐(32)이연결되고, 상기노즐(32)에서 MTS와질소와수소가증착로(40)로분사되고, 상기헤더(10) 내부에존재하는분사라인(20) 입구쪽에는질소가공급되고, 상기분사라인에는작은홀이다수개구비되므로서, Gas mixing system 개선을통해, 종래알려진제조방법에서사용되는질소(N2) 가스보다적은질소(N2) 가스를투입량으로저저항 CVD SIC 제조가능하며, 또한질소가스를균일하게분사하도록할 뿐아니라, 노즐별저항값의편차를줄일수 있는실리콘카바이트제조방법을제공할수 있게된다.

2. 发明公开

KR1020170116613A 석영 유리의 접합 방법 审中-实审
标题翻译：结合石英玻璃的方法
公开(公告)号：KR1020170116613A
公开(公告)日：2017-10-20
申请号：KR1020160044004
申请日：2016-04-11
申请人： (주) 디에스테크노
发明人： 김영주 , 박영식 , 송준백 , 정연웅 , 손원근 , 우대현 , 이주호
IPC分类号： C03B23/203 , C03B20/00
摘要： 본발명은용접하고자하는석영유리를서로마주보게하고고정한다음용접불꽃으로가열하여용접하는석영유리의용접방법에서, 석영유리를용접장치에장착하고석영유리사이를약간이격시킨상태에서석영유리의용접부분을가열하고, 용접작업이완료되어석영유리를밀착시킨다음석영유리를일정거리만큼뒤로후퇴이동시켜석영유리사이에간격이유지되고, 상기유지된간격사이에석영유리의용융물이존재하도록하는상태에서, 가열된열을식힌다음, 연마공정을거침으로, 석영유리의용접부분을더 견고하고강하게할 수있고, 용접부분에는광학적얼룩이생기지않도록하며, 석영유리를용접하는용접장치의각도를조정할수 있도록함으로서용접장치의효율성을강화할수 있는석영유리의용접방법을제공할수 있게된다.
摘要翻译：在用于焊接的石英玻璃的焊接工艺将本发明看彼此面对，并加热至一固定下列焊接火焰被焊接，附着在石英玻璃到焊接装置和石英玻璃的焊接石英玻璃，当它略微石英玻璃之间隔开并且石英玻璃向后移动一定的距离以保持石英玻璃与石英玻璃的熔体之间存在间隙，石英玻璃存在于保持的间隔在，加热的柱冷却到下一个，粗糙度的研磨过程中，它可以是更强和更耐用的石英玻璃的焊接部分，并且不具有光点焊缝，可以调节焊接装置的角焊接石英玻璃因此可以提供一种能够提高焊接设备效率的石英玻璃的焊接方法。

3. 发明公开

KR1020160035246A 고 순도 석영 유리의 제조 장치 有权
标题翻译：用于制造高纯度QUARTZ玻璃的装置
公开(公告)号：KR1020160035246A
公开(公告)日：2016-03-31
申请号：KR1020140126585
申请日：2014-09-23
申请人： (주) 디에스테크노
发明人： 김영주 , 박영식 , 송준백 , 정연웅 , 손원근
IPC分类号： C03B5/16
CPC分类号： Y02P40/57
摘要： 본발명은, 원통형이면서용기형상인머플내부에구비되는도가니와, 상기머플외부측면에원통형으로구비된측면히터및 상기도가니하부혹은머플하부에구비된원판형의하부히터가구비되고, 상기측면히터외부에원통형의단열벽이구비되며, 상기도가니내부에서는석영분말을용융하여석영유리를만들때, 상기머플상부에배기구가연결되며, 상기배기구를통하여진공펌프가진공을만들고, 상기도가니에서석영유리분말을용융할때에는진공상태가되며, 상기진공펌프와배기구사이에필터가더 구비되므로서, 고순도투명석영유리를불순물에오염시키지않고생산성도양호한제조장치를제공하여, 불순물을각각 5ppm 이하로억제할 수있고, 석영분말을용융하는과정에서도안정된온도구배를유지하며, 또한석영용융물내에기포발생을줄일수 있도록하므로서균일성이높은석영유리를제조할수 있게된다.
摘要翻译：一种高纯度石英玻璃的制造装置，其特征在于，具有设置在圆筒状和容器状的马弗中的坩埚，设置在马弗管的外侧的圆筒形的侧加热器; 以及设置在坩埚的下部或马弗管的下部的盘形的下加热器。圆筒形绝热壁设置在侧面加热器的外侧。当石英粉熔化成坩埚中的石英玻璃时，排气口连接到马弗管的上部，真空泵通过排气口产生真空。当石英玻璃粉末在坩埚中熔化时，坩埚变为真空。在真空泵和排气口之间设置有过滤器，以提供具有令人满意的生产率的制造装置，并且不会杂质污染高纯度石英玻璃以抑制低于5ppm的杂质。在熔化石英粉的过程中保持稳定的温度梯度。此外，熔融石英中的气泡减少以制造具有高均匀性的石英玻璃。

4. 发明公开

KR1020150035281A 홈이 형성된 석영유리 잉곳 제조용 성장판 无效
标题翻译：用于制造具有孔的石英玻璃锭的生长靶板
公开(公告)号：KR1020150035281A
公开(公告)日：2015-04-06
申请号：KR1020130115638
申请日：2013-09-27
申请人： (주) 디에스테크노
发明人： 김영주 , 박영식 , 송준백 , 정연웅
IPC分类号： C30B29/18 , C03B5/235 , C03B19/14
CPC分类号： C03B19/1492 , C30B29/18 , C03B5/235 , C03B19/14 , C03B37/0142
摘要： 본발명은버너와노 및성장판이구비된홈이형성된석영유리잉곳제조용성장판에서, 상기성장판상부에돌기와홈이형이형성되고, 상기홈이이형경계층분말이구비되므로서, 성장판에서의표면용융이쉽고이형경계층분말의소실이방지되게되어재 이용이가능하게되고, 또한성장잉곳과하부층의분리가더 용이하게되어균일한품질의잉곳제조가가능하게된다.
摘要翻译：本发明涉及一种用于制造具有凹槽的石英玻璃锭的生长板，其具有燃烧器，炉和生长板，其中在生长板的上部形成有突起和槽，并且所述槽具有释放边界层粉末。因此，生长板中的表面熔融容易，防止释放边界层粉末的损失能够再次使用。此外，生长锭与下层的分离变得更容易，从而制造具有均匀质量的锭。

5. 发明公开

KR1020140131649A 석영유리 잉곳 제조용 버너 有权
标题翻译：燃烧器制造QUARTZ玻璃INGOT
公开(公告)号：KR1020140131649A
公开(公告)日：2014-11-14
申请号：KR1020130050464
申请日：2013-05-06
申请人： (주) 디에스테크노
发明人： 김영주 , 박영식 , 송준백 , 정연웅
IPC分类号： C03B20/00 , C03B8/04 , F23D14/38
摘要： 본 발명은 원료가 도입되는 원료 도입관, 산소 가스가 도입되는 산소 도입관, 수소 가스 도입되는 수소 도입관 및 상기 각각의 관들과 연결된 중앙관으로 구성된 석영 유리 잉곳 제조용 버너에 있어서, 상기 원료 도입관은 중앙관 상부에 구비되고, 산소 도입관은 중앙관 측면에 구비되며, 상기 원료 및 가스 분출되는 외관과 세관이 더 구비될 때, 상기 세관은 복수개로 만들어지고, 상기 외관은 상기 세관을 감싸는 구조이며, 상기 외관의 직경은 도입구 쪽 보다 배출구 쪽이 더 작게 형성되므로서, 원료의 공급방향과 불꽃의 방향이 일치하여 원료가 시발점인 버너에서부터 융착점인 유리구조체에 도달할 때까지 불꽃속에서 이동하기 때문에 원료의 직접 가열효율이 매우 높으며, 원료의 입도에 따른 손실도 없을뿐만 아니라, 원료의 용착점도 일정하여 용착상태가 매우 균질하며, 용융 효율도 극대화 할 수 있다.
摘要翻译：本发明涉及一种用于制造石英玻璃锭的燃烧器，其包括其中引入原料的原料引入管，引入氧气的氧气引入管，引入氢气的氢引入管，以及连接到原料引入管，氧气引入管和氢引入管的中心管。原料引入管设置在中心管的顶部。氧气导入管设置在中心管的侧面。还提供了用于喷射原料和气体的外管和多个内管。外管覆盖内管。由于导入孔的外管的直径小于排气孔的外管的直径，所以原材料的供给方向与火焰的方向一致，原料移动到火焰中直到原料到达来自燃烧器的焊点的玻璃结构，原料的直接加热效率非常高。原材料的粒径没有损失，原料的焊点恒定，焊接状态非常均匀，焊接效率可能最大化。

6. 发明公开

KR1020190042537A 식각 특성이 향상된 화학기상증착 실리콘 카바이드 벌크 审中-实审
公开(公告)号：KR1020190042537A
公开(公告)日：2019-04-24
申请号：KR1020190045101
申请日：2019-04-17
申请人： (주) 디에스테크노
发明人： 안학준 , 김영주 , 정연웅 , 김강석 , 송준백 , 손원근
IPC分类号： C23C16/32

7. 发明授权

KR101922469B1 화학기상증착 저 저항 실리콘 카바이드 벌크 제조 장치 有权
公开(公告)号：KR101922469B1
公开(公告)日：2018-11-28
申请号：KR1020170059192
申请日：2017-05-12
申请人： (주) 디에스테크노
发明人： 안학준 , 문경락 , 김영주 , 정연웅 , 박영식 , 송준백
IPC分类号： C23C16/32 , C23C16/455
摘要： 본발명에서는화학기상증착저 저항실리콘카바이드벌크가제조되는증착로에가스를공급하기위한가스혼합시스템은헤더(Header)(10)와분사라인(Line)(20)으로구성되고, 상기헤더(10)는분사라인(20)을감싼외부관이고, 헤더(10)의앞 쪽에는공급관(31)이더 구비되고, 상기공급관을통하여 MTS, 질소, 및수소가상기가스혼합시스템에공급되고, 상기헤더(10)에는적어도 2개이상의노즐(32)이연결되고, 상기노즐(32)에서 MTS와질소와수소가증착로(40)로분사되고, 상기헤더(10) 내부에존재하는분사라인(20) 입구쪽에는질소가공급되고, 상기분사라인에는작은홀이다수개구비되므로서, Gas mixing system 개선을통해, 종래알려진제조방법에서사용되는질소(N2) 가스보다적은질소(N2) 가스를투입량으로저저항 CVD SiC 제조가능하며, 또한질소가스를균일하게분사하도록할 뿐아니라, 노즐별저항값의편차를줄일수 있는실리콘카바이트제조장치가개시된다.

8. 发明公开

KR1020170112007A 프라즈마 건을 이용한 석영 유리 제조 장치 审中-实审
标题翻译：使用等离子枪的石英玻璃制造设备
公开(公告)号：KR1020170112007A
公开(公告)日：2017-10-12
申请号：KR1020160038429
申请日：2016-03-30
申请人： (주) 디에스테크노
发明人： 정연웅 , 송준백 , 박영식 , 이주호 , 손원근
IPC分类号： C03B19/14 , C03B37/014 , H05H1/26
CPC分类号： C03B19/09
摘要： 본발명은, 프라즈마건을이용하여석영유리분말을용융하는시스템에서, 공급가스에와류가형성되기위하여, 가스공급부에장착되는캡이구비되고, 상기캡에원통형의둘레에다수개의홀이형성되며, 상기다수개의홍에의하여가스가공급되고, 공급가스의 Flow Rate 은 150 l/min, 180l/min, 210l/min, 240l/min에서, 선회류를형성하므로서, 한방향을향한선회흐름(Swirl)을고속으로유지하여고온의부분이어느한 지점에귀속되지않고챔버내에고른온도분포를가지도록하므로서, 용융을수행함에있어서효율을높일수 있도록하는가수주입구조를가지면서도개선에따른비용은상대적으로매우작다는장점을가지는프라즈마건을이용한석영유리제조장치를제공할수가있게된다.
摘要翻译：本发明中，在一个系统中用于通过使用等离子枪，成为被形成在进料气体中的涡流，它设置有形成在圆筒形的圆周到盖，其被安装在气体供给的盖，和多个孔的熔融石英玻璃粉末通过以150升/分钟，180升/分钟，210升/分钟和240升/分钟的流速形成旋流，供给的气体的流速朝一个方向旋转，通过以高速保持，使得高温该室中的温度分布的均匀化的的部分不归因于任何点的hameuroseo，改进，同时具有化合价植入结构的成本，使得反过来，益效率在熔化的运动是相对非常可以提供使用具有小型优点的等离子体枪的石英玻璃制造装置。

9. 发明公开

KR1020170034975A 다중 초점 멀티 버너가 구비된 석영 유리 잉곳 제조 장치 审中-实审
标题翻译：一种装备有多焦点多燃烧器的石英玻璃锭制造设备
公开(公告)号：KR1020170034975A
公开(公告)日：2017-03-30
申请号：KR1020150132963
申请日：2015-09-21
申请人： (주) 디에스테크노
发明人： 김영주 , 박영식 , 송준백 , 정연웅 , 손원근 , 이주호
IPC分类号： C03B20/00 , C03B19/14 , F23D14/52 , F23D14/58
CPC分类号： C03B19/1407 , Y02P40/57
摘要： 본발명은, 분말원료와산소가혼합되어도입되는원료도입관과수소가도입되는수소도입관및 다수의관으로만들어지고원료가분출되는세관이구비되는메인버너와산소와수소만분출되는보조버너가구비되고, 상기세관의경사각도도서로다르게되어, 상거버너의세관에서화염이분출되어모아지는지점을초점이라고할 때, 상기세관에서분출되는화염의초점거리도서로다르므로서, 복수개의버너를사용하면서도, 내화로(내화벽돌) 내에서상부의온도도내려가지않고, 효율이떨어지지도않도록하므로서, 결과적으로품질이향상되고가격경쟁력도가질수 있도록하는직경 1000mm 정도크기를가진석영유리를안정적으로제작할수 있도록한다.
摘要翻译：本发明中，粉末原料和原料导入其中氧是一种混合物入口管，并且其中氢被引入氢气导入管，以及多个由管辅助燃烧器的是材料被喷射海关包括喷射仅一个主燃烧器和氧和氢的存在的家具雨，是海关的倾斜度书的角度，当焦点在哪里火下子海关在州长收集点，站在火焰的焦距书变化爆发在海关，多个燃烧器不同在使用顶视图，如在（耐火）耐火温度而不下降，hameuroseo使得效率下降，其结果是，石英玻璃具有稳定的直径为1000mm的尺寸，以允许改进的质量和gajilsu价格竞争力这样就可以生产。

10. 发明授权

KR101547850B1 다층 구조와 이종 조성물을 가진 탄화규소 반응소결체 제조방법 有权
标题翻译：具有多层和不同复合材料的反应粘结碳化硅的制造方法
公开(公告)号：KR101547850B1
公开(公告)日：2015-08-27
申请号：KR1020140026340
申请日：2014-03-06
申请人： (주) 디에스테크노
发明人： 김영주 , 박영식 , 송준백 , 정연웅
IPC分类号： C04B35/565 , C04B35/64
CPC分类号： C04B35/573 , C04B35/634 , C04B35/638 , C04B35/64 , C04B2235/3826 , C04B2235/422 , C04B2235/428 , C04B2235/604 , C04B2235/616
摘要： 본 발명은 2 개 층을 가지는 탄화규소 성형체일 경우에는 상부층을 형성하는 탄화규소 입자의 크기가 하부층을 형성하는 탄화규소 입자의 크기보다 더 작고, 3 개층을 형성하는 탄화규소 성형체일 경우에는 상부층과 하부층을 형성하는 탄화규소 입자의 크기가 중심층을 형성하는 탄화규소 입자의 크기보다 더 작아 집적도 공정에서 사용되는 탄화규소 성형체의 제조 단가를 줄일 수가 있으면서 동일한 성능을 갖게 된다.
摘要翻译：本发明涉及具有多层结构和异质组合物的反应接合碳化硅的制造方法。根据本发明，对于具有两层的成型碳化硅体，构成上层的碳化硅颗粒的尺寸小于构成下层的碳化硅颗粒的尺寸，并且对于具有三层的碳化硅本体层，构成上层和下层的碳化硅颗粒的尺寸小于构成中间层的碳化硅颗粒的尺寸，从而降低在一体化过程中使用的模制碳化硅体的制造成本，同时提供相同的功能。

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