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热词
    • 2. 发明公开
    • 농축법을 이용한 고리형 실란의 제조방법
    • 环状硅烷浓缩法制备方法
    • KR1020170030563A
    • 2017-03-17
    • KR1020177003203
    • 2015-07-14
    • 씬 필름 일렉트로닉스 에이에스에이
    • 고토,유이치나가이,켄타로엔도,마사히사손,군
    • C01B33/04C01B33/107C01F7/48
    • C01B33/04
    • [과제] 고순도고리형실란, 특히고순도시클로펜타실란, 및폴리실란을포함하는조성물을제공하는데, 상기고리형실란의중합에의해얻을수 있는폴리실란을포함하는상기조성물은도포형폴리실란조성물형태로기판에도포된후 소성됨으로써높은도전성을갖는양질의실리콘박막을형성할수 있다. [해결수단] 식(3):로표시되는고리형실란의제조방법으로서, 식(1):로표시되는고리형실란화합물을할로겐화알루미늄의존재하에시클로헥산내에서할로겐화수소와반응시킴으로써식(2):로표시되는고리형실란화합물을함유하는용액을얻고, 이어서상기용액을증류함으로써상기식(2)로표시되는고리형실란화합물을얻는, (A) 공정; 및상기식(2)로표시되는고리형실란화합물을유기용매에용해시키고상기식(2)로표시되는고리형실란화합물을수소또는리튬알루미늄수소화물로환원시키는 (B) 공정을포함하는, 고리형실란제조방법. 상기 (A) 공정에서상기증류는 40 내지 80℃의온도에서 0 내지 30 Torr의감압하에수행될수 있다.
    • [问题]包含高纯度环状硅烷,特别是高纯度的环戊硅烷,以及聚硅烷,其提供包含硅烷的组合物,通过在涂布型聚硅烷组合物形式的环状硅烷的聚合而得到的组合物 通过涂布在基板上然后烘烤可以形成具有高导电率的高质量硅薄膜。 一种生产由式(1)表示的环状硅烷的方法:[解决问题的手段](3)由氢和在环己烷中反应卤化物,在由下式表示卤化铝的存在下使环状硅烷化合物,式(2 ),以获得含环状硅烷化合物,随后获得由式(2)表示的环状硅烷化合物的溶液中,通过蒸馏溶液中,(a由下式表示)的步骤; 并且,环由式(2)所示的环状硅烷化合物包括溶解于有机溶剂,以及(B)还原由式(2)与氢,或氢化铝锂表示的环状硅烷化合物的步骤 键入硅烷。 在步骤(A)中,蒸馏可以在40至80℃的温度和0至30托的减压下进行。
    • 4. 发明公开
    • 웨이퍼 백그라인딩 폐실리콘의 재처리 방법
    • 用于废弃硅酸盐废弃物的退火方法
    • KR1020150078566A
    • 2015-07-08
    • KR1020130168040
    • 2013-12-31
    • 고등기술연구원연구조합
    • 정항철공만식진연호
    • C01B33/04C01B33/021B09B3/00
    • C01B33/04
    • 본발명은웨이퍼의백그라인딩시 발생하는폐실리콘슬러지를간단하고경제적으로고순화하여, 리튬이온이차전지등 실리콘소재를필요로하는산업전반에효과적으로적용할수 있는웨이퍼백그라인딩폐실리콘의재처리방법에관한것이다. 본발명에따르면, 폐실리콘의슬러지를용매에분산시키는고형분분산단계; 상기용매에분산시킨폐실리콘의슬러지를고체와액체로분리하는고액분리단계; 및상기고순도화단계에서처리된고형분을건조시키는건조단계;를포함하는웨이퍼백그라인딩폐실리콘의재처리방법이제공된다.
    • 本发明涉及一种晶片背面研磨硅废料的再处理方法,其可以在诸如锂离子二次电池之类的硅材料所需的整个行业中被有效地应用为在后研磨晶片中以简单且经济的方式产生的高度净化的废硅污泥 。 根据本发明,提供了一种硅废料的后处理方法,其包括:将废硅污泥分散在溶剂中的固体分散步骤; 用于将分散在溶剂中的废硅污泥分离成固体和液体的固液分离步骤; 以及在高纯化步骤中干燥固体处理的干燥步骤。
    • 7. 发明公开
    • 모노클로로실란용 실린더 표면 처리
    • 用于单氯化硅的气缸表面处理
    • KR1020130087459A
    • 2013-08-06
    • KR1020130080234
    • 2013-07-09
    • 버슘머트리얼즈 유에스, 엘엘씨
    • 뵘,필립이.맥더모트,웨인토마스시아오,만차오펄스테인,로날드마틴로,사이-홍에이.데렉스케이-코박스,아그네스
    • B65D85/84C23C16/448B65D25/14B65D81/24
    • C23C16/448B05D7/22B65D25/14B65D81/24B65D85/84C01B33/04C25F3/16
    • PURPOSE: A method of passivating is provided to passivate a container and the inner surface of the container for stably storing mono chlorosilane without the decomposition of the mono chlorosilane. CONSTITUTION: A container has an inner surface, and contains large amount of mono chlorosilane. The inner surface contains carbon steel or stainless steel, and is reformed by the mechanical abrasion before storing the mono chlorosilane and the exposure to silicon hydride or chlorosilane. The container is capable of storing the mono chlorosilane by maintaining the degradability of the mono chlorosilane less than 0.1% per month at the ambient temperature. The mechanical abrasion is conducted by a process selected from shot blasting, glass bead blasting, or abrasive slurry polishing. The mechanical abrasion is conducted using abrasive slurry. [Reference numerals] (1) Container; (2) Container reforming, surface reforming, producing surface; (3) Charging the container; (4) Controlling the temperature of the container; (5) Storing and transferring MCS to the container; (6) Removing the MCS from the container
    • 目的:提供一种钝化方法,用于钝化容器和容器的内表面,用于稳定地储存单氯硅烷而不会分解一氯硅烷。 构成:容器内表面含有大量单氯硅烷。 内表面含有碳钢或不锈钢,并在储存单氯硅烷和暴露于氢化硅或氯硅烷之前通过机械磨损进行重整。 该容器能够通过保持单氯硅烷在环境温度下每月低于0.1%的降解性来储存单氯硅烷。 通过选自喷丸,玻璃珠喷砂或研磨浆料抛光的方法进行机械磨损。 使用研磨浆进行机械磨损。 (附图标记)(1)容器; (2)容器重整,表面改性,生产面; (3)充电容器; (4)控制容器的温度; (5)将MCS存放到容器中; (6)从容器中取出MCS