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1. 发明公开

KR1020130138932A 미세 홀이 배열된 폴리머 멤브레인을 포함하는 플라스틱 챔버 플레이트의 제작 방법 有权
标题翻译：具有多孔多孔聚合物膜的塑料板的制造方法
公开(公告)号：KR1020130138932A
公开(公告)日：2013-12-20
申请号：KR1020120062477
申请日：2012-06-12
申请人： 한국생산기술연구원
发明人： 강정진 , 홍석관
IPC分类号： H01L21/027 , G03F7/00
CPC分类号： B81C1/00047 , B01D67/00 , B01D67/0034 , B01L3/502707 , B01L2300/0681 , B81B2201/051 , B81C2201/019 , H01L21/0273 , G03F7/0025 , G03F7/0035
摘要： The present invention relates to a method for manufacturing a plastic chamber plate including a polymer membrane with arranged micro-holes. The purpose of the present invention is to improve productivity and reduce a failure rate by enabling the manufacture of a membrane in which micro-holes are arranged and simultaneously performing a membrane manufacturing work and a work for attaching the membrane to a plastic chamber plate. The method for manufacturing a plastic chamber plate including a polymer membrane with arranged micro-holes comprises: a step of forming a sacrificial layer by coating the upper part of a wafer with polymer (S110); a step of forming a photoresist layer by coating the upper part of the sacrificial layer with photoresist (S120); a step of arranging a mask with micro-holes on the upper part of the photoresist layer formed by the step S120 and irradiating the upper part of the arranged mask with ultraviolet rays (S130); a step of removing a portion irradiated by ultraviolet rays by using a development solution after the step S130 and manufacturing the membrane with micro-holes by drying and hardening a part by applying heat (S140); a step of bonding the plastic chamber plate to the upper part of the manufactured membrane (S150); and a step of separating the membrane from the wafer by removing the sacrificial layer by using a solvent after the step S150 (S160).
摘要翻译：本发明涉及一种包括具有布置的微孔的聚合物膜的塑料室板的制造方法。本发明的目的是通过制造其中布置有微孔的膜并且同时进行膜制造工作和将膜附着到塑料室板上的工作来提高生产率并降低故障率。包括具有布置的微孔的聚合物膜的塑料室板的制造方法包括：通过用聚合物涂覆晶片的上部来形成牺牲层的步骤（S110）; 通过用光致抗蚀剂涂覆牺牲层的上部来形成光致抗蚀剂层的步骤（S120）; 在由步骤S120形成的光致抗蚀剂层的上部设置具有微孔的掩模的步骤，并用紫外线照射布置的掩模的上部（S130）; 通过在步骤S130之后使用显影液除去紫外线照射的部分，并且通过加热来干燥和硬化部件来制造具有微孔的膜的步骤（S140）; 将塑料室板接合到制膜的上部的步骤（S150）; 以及在步骤S150之后通过使用溶剂去除牺牲层，从而将膜与晶片分离的步骤（S160）。

2. 发明授权

KR100998535B1 나노틈새를 가지는 미세유체 채널이 구비된 미세유체회로소자 및 이의 제조 방법 有权
标题翻译：包含微纳米通道与纳米相互作用的微流体电路元件及其制造方法
公开(公告)号：KR100998535B1
公开(公告)日：2010-12-07
申请号：KR1020080033757
申请日：2008-04-11
申请人： 인싸이토(주)
发明人： 남우성 , 조신길 , 정석
IPC分类号： F15B21/00 , B82Y30/00 , B82Y40/00
CPC分类号： B29C66/3022 , B01L3/502707 , B01L3/502746 , B01L2200/0689 , B01L2300/0825 , B01L2300/0887 , B01L2400/0406 , B29C65/02 , B29C65/08 , B29C65/1635 , B29C65/168 , B29C65/48 , B29C65/4895 , B29C65/8253 , B29C66/1122 , B29C66/30223 , B29C66/53461 , B29C66/71 , B29C66/8322 , B29K2033/08 , B29K2033/12 , B29K2069/00 , B29L2031/756 , B81B3/0094 , B81B2201/0214 , B81B2201/051 , B81B2201/058 , B81B2203/0338 , B81B2203/0392 , B81C1/00103 , B81C2201/019 , B29K2083/00
摘要： 본 발명은 나노틈새를 가지는 미세유체 채널이 구비된 미세유체 회로소자에 관한 것이다. 특히, 기재 내부에 형성된 홈을 포함하는 미세유체 채널, 및 상기 기재의 상면에 형성된 시료 투입구 혹은 배출구를 포함하는 미세유체 회로소자로서, 상기 미세유체 채널의 좌우 양 측면 모서리부가 미세유체 채널의 중앙부보다 낮은 높이의 나노틈새 형태를 갖는, 미세유체 회로소자에 관한 것이다. 미세유체 회로소자의 제조 방법 또한 본 발명에 포함된다.

3. 发明公开

KR1020090125793A 유리 함유 조성물 성형방법 无效
标题翻译：用于形成包含玻璃的组合物的方法
公开(公告)号：KR1020090125793A
公开(公告)日：2009-12-07
申请号：KR1020097020145
申请日：2008-02-27
申请人： 코닝 인코포레이티드
发明人： 다누,띠에리엘 , 마르끄,가스빠뻬 , 모레나,로버트엠 , 테너,카메론더블유
IPC分类号： C03B11/08
CPC分类号： C03B11/084 , B81B2201/051 , B81C99/0085 , B81C2201/019 , B81C2201/036 , C03B2215/07
摘要： Methods for molding glass and glass composites, including providing a first structure having a first surface, providing a second structure having a second surface, the second surface being patterned and porous, and disposing between the first and second surfaces an amount of a composition comprising a glass, then heating together the first and second structures and the first amount of the composition sufficiently to soften the first amount of the composition such that the first and second structures, under gravity or an otherwise applied force, move toward each other, such that the pattern of the second surface is formed into the first amount of the composition, then cooling the composition sufficiently to stabilize it, the second structure comprising porous carbon having an open porosity of at least 5% and wherein the amount of the composition is removable from the second surface, without damage to the amount of the composition or to the second surface, such that the second surface is in condition for re-use.
摘要翻译：用于模制玻璃和玻璃复合材料的方法，包括提供具有第一表面的第一结构，提供具有第二表面的第二结构，第二表面被图案化和多孔化，并且在第一表面和第二表面之间设置一定量的组合物，玻璃，然后将第一和第二结构和第一量的组合物充分加热以软化第一量的组合物，使得第一和第二结构在重力或以其他方式施加的力下朝向彼此移动，使得将第二表面的图案形成为第一量的组合物，然后充分冷却组合物以使其稳定，第二结构包括具有至少5％的开放孔隙率的多孔碳，并且其中组合物的量可从第二表面，而不损害组合物的量或第二表面，使得第二表面是在重新使用的条件下。

4. 发明公开

KR1020090117758A 마이크로칩의 제조 방법 无效
标题翻译： MICROCHIP制造方法
公开(公告)号：KR1020090117758A
公开(公告)日：2009-11-12
申请号：KR1020097017944
申请日：2008-02-21
申请人： 코니카 미놀타 어드밴스드 레이어즈 인코포레이티드
发明人： 세끼하라,간지 , 우에히라,마사요시
IPC分类号： G01N35/08 , G01N37/00 , B81C1/00
CPC分类号： B01L3/502707 , B01J2219/00511 , B01J2219/00527 , B01J2219/00596 , B01J2219/00605 , B01J2219/0061 , B01J2219/00621 , B01J2219/00637 , B01L2200/0689 , B01L2300/0816 , B01L2300/0887 , B29C65/08 , B29C65/16 , B29C65/1654 , B29C65/48 , B29C66/0224 , B29C66/345 , B29C66/54 , B29C66/71 , B29C66/72324 , B29C66/81267 , B29C66/8322 , B29C66/91411 , B29C66/919 , B29C2793/00 , B29L2031/756 , B81B2201/051 , B81C1/00071 , B81C2203/032 , Y10S156/93 , Y10T156/1168 , B29K2083/00 , B29K2077/00 , B29K2069/00 , B29K2067/003 , B29K2033/20 , B29K2033/12 , B29K2031/04 , B29K2027/08 , B29K2027/06 , B29K2025/06 , B29K2023/12 , B29K2023/083 , B29K2023/06 , B29K2009/00
摘要： Provided is a microchip manufacturing method by which a function film is formed in a channel and resin microchip substrates are bonded. The manufacturing method has a first step of forming SiO2 films (12, 22), i.e., the function films, on surfaces having channel grooves (11, 21) on a microchip substrate (10) having the channel groove (11) on the surface and on the microchip substrate (20) having the channel groove (21) on the surface; a second step of removing the SiO2 films other than the SiO2 films formed on the channel grooves (11, 21) on the microchip substrates (10, 20) by an adhesive member; and a third step of placing the microchip substrates (10, 20) one over another by having inside the surfaces whereupon the channel grooves (11, 21) are formed, and bonding the substrates by laser welding, ultrasonic welding or thermocompression bonding.
摘要翻译：提供了一种在通道中形成功能膜并粘结树脂微芯片基板的微芯片制造方法。该制造方法具有在具有沟槽（11）的微芯片基板（10）上的表面上形成具有通道槽（11,21）的表面上的SiO 2膜（12,22）的表面的第一步骤，并且在表面上具有通道槽（21）的微芯片基板（20）上; 除去通过粘合部件在微芯片基板（10,20）上形成在沟槽（11,21）上的SiO 2膜以外的SiO 2膜的第二工序; 以及第三步骤，通过在形成通道槽（11,21）的表面内部将微芯片基板（10,20）一个放置在另一个上，并且通过激光焊接，超声波焊接或热压接合来接合基板。

5. 发明公开

KR1020080009765A 마이크로 유체 시스템용 지지 유니트 失效
公开(公告)号：KR1020080009765A
公开(公告)日：2008-01-29
申请号：KR1020077030261
申请日：2003-02-25
申请人： 히타치가세이가부시끼가이샤
发明人： 카와조에히로시 , 나카소아키시 , 아리케시게하루
IPC分类号： B81B1/00 , B81C99/00 , B01L3/00 , B01J19/00
CPC分类号： B01L3/502707 , B01J19/0093 , B01J2219/00783 , B01J2219/00788 , B01J2219/00822 , B01J2219/00833 , B01J2219/0086 , B01J2219/00869 , B01L2200/12 , B01L2300/0816 , B01L2300/0838 , B01L2300/0874 , B01L2300/0887 , B01L2400/0481 , B01L2400/0655 , B81B2201/051 , B81C1/00119 , B81C2201/019 , B81C2203/032 , Y10T156/10
摘要： A micro fluid system support unit includes a first support body (2), a first adhesive layer (1a) arranged on the surface of the first support body (2), a first hollow filament group consisting of a plurality of hollow filaments (501 to 508) arranged with an arbitrary shape on the surface of the first adhesive layer (1a), a second hollow filament group consisting of a plurality of hollow filaments (511 to 518) arranged in the direction orthogonal to the first hollow filament group, a second adhesive layer (1b) arranged on the surface of the second hollow filament group, and a second support body (6) arranged on the surface of the second adhesive layer (1b). The first and the second hollow filament group constitute a flow passage layer.

6. 发明公开

KR1020060098402A 마이크로 유체 시스템용 지지 유니트 有权
标题翻译：微流体系统支持单元
公开(公告)号：KR1020060098402A
公开(公告)日：2006-09-18
申请号：KR1020067016791
申请日：2003-02-25
申请人： 히타치가세이가부시끼가이샤
发明人： 카와조에히로시 , 나카소아키시 , 아리케시게하루
IPC分类号： B81B1/00 , B01J19/00 , B01L3/00
CPC分类号： B01L3/502707 , B01J19/0093 , B01J2219/00783 , B01J2219/00788 , B01J2219/00822 , B01J2219/00833 , B01J2219/0086 , B01J2219/00869 , B01L2200/12 , B01L2300/0816 , B01L2300/0838 , B01L2300/0874 , B01L2300/0887 , B01L2400/0481 , B01L2400/0655 , B81B2201/051 , B81C1/00119 , B81C2201/019 , B81C2203/032 , Y10T156/10
摘要： A micro fluid system support unit includes a first support body (2), a first adhesive layer (1a) arranged on the surface of the first support body (2), a first hollow filament group consisting of a plurality of hollow filaments (501 to 508) arranged with an arbitrary shape on the surface of the first adhesive layer (1a), a second hollow filament group consisting of a plurality of hollow filaments (511 to 518) arranged in the direction orthogonal to the first hollow filament group, a second adhesive layer (1b) arranged on the surface of the second hollow filament group, and a second support body (6) arranged on the surface of the second adhesive layer (1b). The first and the second hollow filament group constitute a flow passage layer.
摘要翻译：微流体系统支撑单元包括第一支撑体（2），布置在第一支撑体（2）的表面上的第一粘合剂层（1a），由多个中空细丝组成的第一中空丝组 508），在第一粘合层（1a）的表面上排列成任意形状的第二中空丝组，第二中空丝组由沿与第一中空丝组合正交的方向排列的多个中空丝（511〜518）布置在第二中空丝组的表面上的粘合层（1b）和布置在第二粘合层（1b）的表面上的第二支撑体（6）。第一和第二中空丝组构成流路层。

7. 发明公开

KR1020030030502A 카오스 혼합용 마이크로 믹서의 대량 생산을 위한 금형인서트 및 그 제조방법 失效
标题翻译：用于混合混合器的大量生产的模具插件及其制造方法
公开(公告)号：KR1020030030502A
公开(公告)日：2003-04-18
申请号：KR1020010062667
申请日：2001-10-11
申请人： 학교법인 포항공과대학교
发明人： 김동성 , 권태헌
IPC分类号： B81B1/00
CPC分类号： B81B1/006 , B81B2201/051
摘要： PURPOSE: A mold insert for mass production of micro mixer for chaotic mixing is provided to reduce production cost of the micro mixer for chaotic mixing by manufacturing the mold insert through electroplating or direct fabrication, and a manufacturing method the mold insert is provided. CONSTITUTION: In a mold insert for respectively molding a micro channel structure comprising a micro mixer for chaotic mixing a fluid flown in, and a twist blade element(110) comprising a certain tap element for connection with the micro channel structure and a spiral element twisted to a certain angle in a spiral shape to chaotically mix the flown in fluid, the mold insert for mass production of micro mixer for chaotic mixing is characterized in that the mold insert comprises a mold inert(120') for the micro channel structure for molding the micro channel structure in large quantities through a certain electroplating process using an already manufactured micro channel structure; and a mold insert(120") for the twist blade element for molding the twist blade element in large quantities on a sacrifice structure formed by transplanting one side at a time out of both sides of an already manufactured twist blade element through a certain electroplating process.
摘要翻译：目的：提供用于批量生产用于混沌混合的微型混合器的模具插入件，以通过电镀或直接制造来制造模具插件来降低用于混沌混合的微混合器的生产成本，并且提供了模具插入件的制造方法。构成：在用于分别模制微通道结构的模具插入件中，该微通道结构包括微混合器，用于混合混合流体的流体，以及包括用于与微通道结构连接的特定分接元件的扭转叶片元件（110）和螺旋形元件扭曲以一定的螺旋形状的角度将流体混合混合，用于批量生产用于混合混合的微型混合器的模具插件的特征在于，模具插入件包括用于模制的微通道结构的模具惰性（120'）通过使用已经制造的微通道结构的一定电镀工艺，大量的微通道结构; 以及用于扭转叶片元件的用于将扭转叶片元件大量模制在牺牲结构上的模具插入件（120“），所述牺牲结构通过一定的电镀工艺在已经制造的扭转叶片元件的两侧一次移出一侧而形成。

8. 发明公开

KR1020030028306A 반응 물질들의 미세혼합장치 및 이를 이용한 혼합방법 失效
标题翻译：用于混合反应物的微型装置和使用它的混合方法
公开(公告)号：KR1020030028306A
公开(公告)日：2003-04-08
申请号：KR1020010061033
申请日：2001-09-29
申请人： 학교법인 포항공과대학교
发明人： 이상준 , 김국배
IPC分类号： B81B7/00
CPC分类号： B81B1/002 , B81B2201/0214 , B81B2201/051 , B81B2203/0338
摘要： PURPOSE: A micro device for mixing reactants and a mixing method by using the same are provided to effectively mix reactants with each other by forming a turbulent flow by deforming a shape of an inner channel. CONSTITUTION: A reactants mixing device includes a circular or oval bypass route(7) and a divider(8). The circular or oval bypass route(7) is formed at a side of a main flow path(6). The divider(8) divides a part of a main flow. When at least two circular or oval bypass routes are provided, a new bypass route(7') is added under the circular or oval bypass route(7) to effectively mix two materials with each other. Two materials, such as sample and reactants flow downward from the uppermost part of the reactants mixing device. The main flow means a moving flow of a mixture of two materials, and the main flow route means a channel, through which the mixture passes.
摘要翻译：目的：提供用于混合反应物的微型装置和通过使用它们的混合方法，以通过使内部通道的形状变形而形成湍流来有效地混合反应物。构成：反应物混合装置包括圆形或椭圆形旁路路线（7）和分隔器（8）。圆形或椭圆形的旁路路径（7）形成在主流路（6）的一侧。分隔器（8）分割主流的一部分。当提供至少两个圆形或椭圆形旁路路线时，在圆形或椭圆形旁路路线（7）下添加新的旁路路线（7'）以有效地将两种材料彼此混合。两种材料，如样品和反应物从反应物混合装置的最上部向下流动。主流是指两种材料的混合物的移动流，主流路是指混合物通过的通道。

9. 发明授权

KR101355434B1 미세 홀이 배열된 폴리머 멤브레인을 포함하는 플라스틱 챔버 플레이트의 제작 방법 有权
标题翻译：具有有序多孔聚合物膜的塑料室板的制造方法
公开(公告)号：KR101355434B1
公开(公告)日：2014-01-28
申请号：KR1020120062477
申请日：2012-06-12
申请人： 한국생산기술연구원
发明人： 강정진 , 홍석관
IPC分类号： H01L21/027 , G03F7/00
CPC分类号： B81C1/00047 , B01D67/00 , B01D67/0034 , B01L3/502707 , B01L2300/0681 , B81B2201/051 , B81C2201/019
摘要： 본 발명은 미세 홀이 배열된 폴리머 멤브레인을 포함하는 플라스틱 챔버 플레이트의 제작 방법에 관한 것으로, 그 목적은 단순한 공정으로 미세 홀이 배열된 멤브레인의 제작이 가능하고, 멤브레인의 제작과 플라스틱 챔버 플레이트와의 접착을 함께 진행하도록 함으로써 생산성은 높이고 불량률은 낮출 수 있는 미세 홀이 배열된 폴리머 멤브레인을 포함하는 플라스틱 챔버 플레이트의 제작 방법을 제공함에 있다. 이를 위한 본 발명의 미세 홀이 배열된 멤브레인을 포함하는 플라스틱 챔버 플레이트의 제작 방법은 웨이퍼의 상부에 폴리머를 코팅하여 희생층을 형성하는 단계(S110); 상기 희생층의 상부에 포토레지스트를 코팅하여 포토레지스트층을 형성하는 단계(S120); 상기 S120 단계를 통해 형성된 포토레지스트층의 상부에 미세 홀이 형성된 마스크를 배치하고, 배치된 마스크의 상부에서 자외선을 조사하는 단계(S130); 상기 S130 단계 후, 현상액을 이용하여 자외선이 조사된 부분을 제거하고, 열을 가하여 건조 및 경화시킴으로써 미세 홀이 배열된 멤브레인을 제작하는 단계(S140); 상기 S140 단계 후, 제작된 멤브레인의 상부에 플라스틱 챔버 플레이트를 접착하는 단계(S150); 및 상기 S150 단계 후, 용매를 이용하여 상기 희생층을 제거함으로써 멤브레인과 웨이퍼를 분리하는 단계(S160)로 이루어져 있다.

10. 发明授权

KR100984956B1 마이크로 유체 시스템용 지지 유니트 失效
公开(公告)号：KR100984956B1
公开(公告)日：2010-10-01
申请号：KR1020067016792
申请日：2003-02-25
申请人： 히타치가세이가부시끼가이샤
发明人： 카와조에히로시 , 나카소아키시 , 아리케시게하루
IPC分类号： B81B1/00 , B81C99/00 , B01J19/00 , B01L3/00
CPC分类号： B01L3/502707 , B01J19/0093 , B01J2219/00783 , B01J2219/00788 , B01J2219/00822 , B01J2219/00833 , B01J2219/0086 , B01J2219/00869 , B01L2200/12 , B01L2300/0816 , B01L2300/0838 , B01L2300/0874 , B01L2300/0887 , B01L2400/0481 , B01L2400/0655 , B81B2201/051 , B81C1/00119 , B81C2201/019 , B81C2203/032 , Y10T156/10
摘要： 본 발명은 제1의 지지체(2)와, 이 제1의 지지체(2)의 표면에 설치된 제1의 접착제층 (1a)과, 제1의 접착제층(1a)의 표면에 임의의 형상으로 부설된 복수의 중공 필라멘트(501~508)로 이루어지는 제1의 중공 필라멘트군과, 이 제1의 중공 필라멘트군에 직교하는 방향으로 부설된 복수의 중공 필라멘트(511~518)로 이루어지는 제2의 중공 필라멘트군과, 이 제2의 중공 필라멘트군의 표면에 설치된 제2의 접착제층(1b)과, 제2의 접착제층(1b)의 표면에 설치된 제2의 지지체(6)를 갖춘다. 제1 및 제2의 중공 필라멘트군은 유로층을 구성한다.
마이크로 유체 시스템, 지지체, 접착제층

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