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    • 1. 发明公开
    • 브라켓에 의해 스탬퍼가 고정되는 도광판 패턴 형성 장치
    • 具有固定夹子的轻型导光板的图案形状装置
    • KR1020160053038A
    • 2016-05-13
    • KR1020140149261
    • 2014-10-30
    • 한국생산기술연구원
    • 황정호강정진김종선홍석관김상균
    • G02F1/13B29C59/04G02B6/13G02F1/1335
    • G02F1/13B29C59/04G02B6/13G02F1/1335
    • 도광판패턴형성장치가개시된다. 본발명의일 실시예에따른도광판패턴형성장치는활꼴이잘려나간형상의비패턴영역이형성되며도광판이진입하면상기도광판을취출시키는방향으로회전하는상부롤러, 상기상부롤러의하부에상기상부롤러와이격되도록배치되며상기도광판이진입하면상승하여상기도광판을압축하고상기도광판을취출시키는방향으로회전하는하부롤러, 상기상부롤러의외주면에감기며양 끝단이상기비패턴영역에서적어도하나의스프링에의해프리텐션을가지도록연결되고, 상기상부롤러와하부롤러가상기도광판을압축및 회전함에따라상기도광판에패턴을형성하는스탬퍼및 상기상부롤러및 하부롤러를회전시키고상기하부롤러를상승또는하강시키는구동부를포함한다.
    • 公开了一种用于导光板的图案形成装置。 根据本发明的实施例的导光板的图案形成装置包括:上辊,其形成具有被切除的月牙形部分的形状的非图案区域,并且其旋转 当导光板进入时导光板被取出的方向; 下辊,其设置在所述上​​辊下方并与所述上辊间隔开,并且当所述导光板进入时向上移动以加压所述导光板并沿着所述导光板被取出的方向旋转; 卷绕在上辊的外周面上的压模,其两端与非图案区域中的至少一个弹簧连接以被预张紧,并且在导光板上形成作为上部的图案 辊和下辊对导光板加压并旋转; 以及驱动单元,其使上辊和下辊旋转,并且向下或向下移动下辊。 本发明的目的是提供一种用于导光板的图案形成装置,其可以防止压模和上辊之间的间隙,并且可以在导光板上形成均匀的图案。
    • 2. 发明公开
    • 스프링에 의해 스탬퍼가 고정되는 도광판 패턴 형성 장치
    • 具有弹簧固定的冲压件的轻型导板的图案形成装置
    • KR1020160053032A
    • 2016-05-13
    • KR1020140149250
    • 2014-10-30
    • 한국생산기술연구원
    • 황정호강정진김종선홍석관김상균
    • F21V8/00B29C55/18B23D3/04B23D7/10B29C43/36
    • G02B6/0065B23D3/04B23D7/10B29C55/18B29C2043/3615
    • 도광판패턴형성장치가개시된다. 본발명의일 실시예에따른도광판패턴형성장치는활꼴이잘려나간형상의비패턴영역이형성되며도광판이진입하면상기도광판을취출시키는방향으로회전하는상부롤러, 상기상부롤러의하부에상기상부롤러와이격되도록배치되며상기도광판이진입하면상승하여상기도광판을압축하고상기도광판을취출시키는방향으로회전하는하부롤러, 상기상부롤러의외주면에감기며양 끝단이상기비패턴영역에서적어도하나의스프링에의해프리텐션을가지도록연결되고, 상기상부롤러와하부롤러가상기도광판을압축및 회전함에따라상기도광판에패턴을형성하는스탬퍼및 상기상부롤러및 하부롤러를회전시키고상기하부롤러를상승또는하강시키는구동부를포함한다.
    • 公开了一种形成导光板图案的装置。 根据本发明的实施例的形成导光板的图案的装置包括:上辊,其具有形成为切口部分的形状的非图案区域,并且沿提取方向旋转 导光板进入时的导光板; 下辊,其布置成在上辊的下部与上辊分离,并且当导光板进入时上升并压缩导光板并沿着提取导光板的方向旋转; 一个压模,其两端被连接以在被缠绕在上辊的外圆周上的同时在非图形区域上的至少一个弹簧具有预张力,并且在导光板上形成图案, 滚筒和下辊压缩并旋转导光板; 以及驱动部,其使上辊和下辊旋转,并且向上或向下提升下辊。 本发明的装置可以防止压模和上辊之间的间隙,并且可以在导光板上均匀地形成图案。
    • 5. 发明公开
    • 미세 홀이 배열된 폴리머 멤브레인을 포함하는 플라스틱 챔버 플레이트의 제작 방법
    • 具有多孔多孔聚合物膜的塑料板的制造方法
    • KR1020130138932A
    • 2013-12-20
    • KR1020120062477
    • 2012-06-12
    • 한국생산기술연구원
    • 강정진홍석관
    • H01L21/027G03F7/00
    • B81C1/00047B01D67/00B01D67/0034B01L3/502707B01L2300/0681B81B2201/051B81C2201/019H01L21/0273G03F7/0025G03F7/0035
    • The present invention relates to a method for manufacturing a plastic chamber plate including a polymer membrane with arranged micro-holes. The purpose of the present invention is to improve productivity and reduce a failure rate by enabling the manufacture of a membrane in which micro-holes are arranged and simultaneously performing a membrane manufacturing work and a work for attaching the membrane to a plastic chamber plate. The method for manufacturing a plastic chamber plate including a polymer membrane with arranged micro-holes comprises: a step of forming a sacrificial layer by coating the upper part of a wafer with polymer (S110); a step of forming a photoresist layer by coating the upper part of the sacrificial layer with photoresist (S120); a step of arranging a mask with micro-holes on the upper part of the photoresist layer formed by the step S120 and irradiating the upper part of the arranged mask with ultraviolet rays (S130); a step of removing a portion irradiated by ultraviolet rays by using a development solution after the step S130 and manufacturing the membrane with micro-holes by drying and hardening a part by applying heat (S140); a step of bonding the plastic chamber plate to the upper part of the manufactured membrane (S150); and a step of separating the membrane from the wafer by removing the sacrificial layer by using a solvent after the step S150 (S160).
    • 本发明涉及一种包括具有布置的微孔的聚合物膜的塑料室板的制造方法。 本发明的目的是通过制造其中布置有微孔的膜并且同时进行膜制造工作和将膜附着到塑料室板上的工作来提高生产率并降低故障率。 包括具有布置的微孔的聚合物膜的塑料室板的制造方法包括:通过用聚合物涂覆晶片的上部来形成牺牲层的步骤(S110); 通过用光致抗蚀剂涂覆牺牲层的上部来形成光致抗蚀剂层的步骤(S120); 在由步骤S120形成的光致抗蚀剂层的上部设置具有微孔的掩模的步骤,并用紫外线照射布置的掩模的上部(S130); 通过在步骤S130之后使用显影液除去紫外线照射的部分,并且通过加热来干燥和硬化部件来制造具有微孔的膜的步骤(S140); 将塑料室板接合到制膜的上部的步骤(S150); 以及在步骤S150之后通过使用溶剂去除牺牲层,从而将膜与晶片分离的步骤(S160)。
    • 8. 发明公开
    • 유기용제를 이용한 미세버섯구조 패턴의 형성방법
    • 使用有机溶剂制造微型结构的方法
    • KR1020110131951A
    • 2011-12-07
    • KR1020100051665
    • 2010-06-01
    • 한국생산기술연구원
    • 강정진홍석관
    • H01L21/027
    • H01L21/0275G03F7/2041
    • 본 발명은 솔벤트를 이용한 미세버섯구조 패턴의 형성방법에 관한 것으로, 그 목적은 미세버섯구조 패턴의 형성을 위한 주요 공정이 상온에서 진행되도록 하여 불균일한 열팽창에 의한 문제의 발생을 예방할 수 있는 솔벤트를 이용한 미세버섯구조 패턴의 형성방법을 제공함에 있다. 이를 위한 본 발명은 미세버섯구조의 하부 구조물에 상응하는 다수개의 돌기가 표면에 형성된 프리폼을 형성하는 단계(S110); 상부가 개방된 용기에 솔벤트를 담아 상기 프리폼과 함께 밀폐용기에 넣은 후, 밀폐용기의 온도 조절을 통해 솔벤트를 기화시켜 기화된 솔벤트가 확산에 의해 프리폼 속으로 흡수되어지도록 하는 단계(S120); 상기 S120 단계를 통하여 솔벤트가 흡수된 프리폼을 밀폐용기로부터 꺼낸 후, 상온에서 평판형의 가압부재로써 돌기의 상단부를 가압하여 돌기의 상단부가 측면방향으로 넓게 퍼지도록 하여 버섯구조를 형성하는 단계(S130); 및 상기 가압부재를 분리하고, 프리폼을 건조시켜 잔여 솔벤트를 제거하는 단계(S140)로 이루어진 솔벤트를 이용한 미세버섯구조 패턴의 형성방법에 관한 것을 기술적 요지로 한다.
    • 10. 发明公开
    • 미세버섯구조 패턴의 형성방법
    • 微生物结构的制作工艺
    • KR1020090126461A
    • 2009-12-09
    • KR1020080052549
    • 2008-06-04
    • 한국생산기술연구원
    • 강정진홍석관
    • H01L21/027B82Y40/00
    • G03F7/0002
    • PURPOSE: A method for forming fine mushroom structure pattern including undercut is provided to cut down the product cost by forming the corresponding pattern by of the intensity gradient by the temperature differential of the height direction of material or the intensity difference of the different kind material. CONSTITUTION: A first stamper in which the pattern corresponding to the shape of the lower structure(11) is imprinted is heated by temperature more than the glass transition temperature of material. The heated first stamper press the material(200). The pattern of the lower structure shape is transferred in the surface of material. After forming the lower structure, the second stamper is heated by the temperature more than the glass transition temperature of material. The upper structure(12) is formed by pressing the top end of the lower structure formed in the material. The heated second stamper press the top end of the lower structure formed in the material and forms the upper structure. The top end portion of the formed substructure is pressurized as the heated second stamper in material and superstructure is formed. The only upper part region(A) of the lower structure corresponding to the thickness of the upper structure is heated by the temperature over the glass transition temperature due to the heat conducted from the second stamper.
    • 目的:提供一种用于形成包括底切的细小蘑菇结构图案的方法,通过由材料的高度方向的温度差或不同种类的材料的强度差的强度梯度形成相应的图案来降低产品成本。 构成:对与下部结构体(11)的形状对应的图案进行印刷的第一压模,由比材料的玻璃化转变温度高的温度进行加热。 加热的第一压模压制材料(200)。 下部结构形状的图案被转移到材料表面。 在形成下部结构之后,第二压模被加热超过材料的玻璃化转变温度的温度。 上部结构(12)通过压制形成在材料中的下部结构的顶端而形成。 加热的第二压模按压形成在材料中的下部结构的顶端并形成上部结构。 形成的子结构的顶端部分被加压,因为形成了材料和上部结构中的加热的第二压模。 对应于上部结构的厚度的下部结构的唯一的上部区域(A)由于从第二压模传导的热量而被加热了玻璃化转变温度以上的温度。