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1. 发明授权

KR101922259B1 기판 처리 장치, 기판 처리 방법 및 스크러버 有权
公开(公告)号：KR101922259B1
公开(公告)日：2018-11-26
申请号：KR1020130015794
申请日：2013-02-14
申请人： 가부시키가이샤 에바라 세이사꾸쇼
发明人： 이시이유 , 가와사키히로유키 , 나가오카겐이치 , 이토겐야 , 고데라마사코 , 도미타히로시 , 니시오카다케시
IPC分类号： H01L21/302
CPC分类号： B08B1/001 , H01L21/67046 , H01L21/67051 , H01L21/68728
摘要： 본발명의과제는, 기판의표면및/또는이면에부착된이물질을높은제거율로효율적으로제거할수 있는기판처리장치를제공하는것이다. 기판처리장치는, 스크럽부재(61)를기판(W)의제1 면에미끄럼접촉시켜상기기판(W)의표면처리를행하는스크러버(50)와, 제1 면과는반대측인기판(W)의제2 면을유체압에의해비접촉으로지지하는정압지지기구(90)와, 스크러버(50)에의해표면처리된기판(W)을세정하는세정부(27)와, 세정된기판(W)을건조시키는건조부(100)를구비한다. 스크러버(50)는, 그축심주위로스크럽부재(61)를회전시키면서상기스크럽부재(61)를기판(W)의제1 면에미끄럼접촉시킨다.

2. 发明公开

KR1020180086911A 부착광 제거장치 有权
公开(公告)号：KR1020180086911A
公开(公告)日：2018-08-01
申请号：KR1020170010962
申请日：2017-01-24
申请人： 현대제철 주식회사
发明人： 김보현 , 박종선 , 오구록 , 오승수
IPC分类号： F27D25/00 , B65D90/00 , B08B1/00 , B08B7/02 , B08B5/04
CPC分类号： F27D25/001 , B08B1/001 , B08B5/04 , B08B7/02 , B65D90/0093 , F27D25/008
摘要： 부착광제거장치에대한발명이개시된다. 개시된부착광제거장치는: 측부에삽입홀부가구비되는빈부와, 삽입홀부에삽입되며, 빈부의내측으로돌출되면서빈부에부착된부착광을타격하는타격부와; 타격부에연결되며, 타격부를작동시키는동력부와; 타격부에설치되며, 타격부를원위치로복귀시키는탄성부;를구비하는해머부를포함하는것을특징으로한다.

3. 发明授权

KR101866347B1 금속문화재 세척용 도구 및 세척 방법 有权
公开(公告)号：KR101866347B1
公开(公告)日：2018-06-15
申请号：KR1020180027281
申请日：2018-03-08
申请人： 대한민국(문화재청 국립문화재연구소장)
发明人： 이재성 , 이동식 , 박종서
IPC分类号： B08B7/04 , B08B5/02 , B08B7/02 , B08B1/00 , B08B1/04 , B05B15/40 , B24B27/033
CPC分类号： B08B7/04 , B05B15/40 , B08B1/001 , B08B1/04 , B08B5/02 , B08B7/02 , B24B27/033
摘要： 본발명은금속문화재세척용도구및 이를이용한금속문화재세척방법을제공한다. 본발명에따른금속문화재세척용도구를이용하여금속문화재를세척하면기존에분리되어있던에어및 유리가루를분사하는에어건과브러쉬등의공구를하나의도구로사용할수 있어효율적이다. 또한, 유로변경막을이용하여상기에어를직접적으로분사할수도있으며, 상기에어를이용하여브러쉬등의공구를회전시킬수도있기때문에금속문화재를세척하는데더욱효율적일수 있다.

4. 发明公开

KR1020170029536A 세정 장치 및 롤 세정 부재 审中-实审
标题翻译：清洁装置和滚筒清洁部件
公开(公告)号：KR1020170029536A
公开(公告)日：2017-03-15
申请号：KR1020177002741
申请日：2015-07-01
申请人： 가부시키가이샤 에바라 세이사꾸쇼
发明人： 이시바시도모아츠
IPC分类号： H01L21/02 , H01L21/67 , H01L21/304 , H01L21/306 , H01L21/687
CPC分类号： H01L21/67046 , A46B13/00 , A46B13/001 , B08B1/001 , B08B1/04 , B08B3/08 , B08B3/10 , H01L21/02074 , H01L21/02096 , H01L21/67051 , H01L21/68 , H01L21/68714 , H01L21/02057 , H01L21/304 , H01L21/30625 , H01L21/68764
摘要： 돌기부재를가지는롤 세정부재를이용한기판의세정에있어서, 세정얼룩을방지또는경감한다. 롤세정장치는, 기판(W)을지지하여회전시키는기판지지부재와, 기판지지부재에의해회전되는기판(W)의표면을회전하면서스크럽세정하기위한상부롤 세정부재(52)를구비한다. 상부롤 세정부재(52)는, 그길이방향으로배열되고, 기판(W)의표면에슬라이딩접촉하는복수의돌기부재를구비한다. 롤세정장치는, 돌기부재에있어서의기판(W)에슬라이딩접촉하는부분중 고세정력영역의궤적이기판(W)의반경방향으로간극없이존재하도록, 상부롤 세정부재(52)를그 길이방향으로요동시키면서회전시켜, 기판(W)을세정한다.
摘要翻译：本发明的目的是防止或减少使用具有突出构件的辊清洁构件清洁基板的清洁不均匀性。辊清洁装置设置有用于支撑和旋转衬底（W）的衬底支撑构件和用于在旋转由衬底支撑构件旋转的衬底（W）的表面的同时进行擦洗清洁的上辊清洁构件（52）。上辊清洁构件（52）设置有沿其纵向方向布置并与基板（W）的表面滑动接触的多个突出构件。辊清洁装置清洁基板（W），使得与基板（W）可滑动地接触的突出构件的部分之间的高清洁力区域的轨迹在基板（W）的径向方向上没有间隙）。

5. 发明公开

KR1020170016388A 태양광 모듈 세정기 审中-实审
标题翻译：太阳能模块清洁器
公开(公告)号：KR1020170016388A
公开(公告)日：2017-02-13
申请号：KR1020167036827
申请日：2015-06-02
申请人： 선파워 코포레이션
发明人： 그로스만마르 , 카스텔루치데빈카메론 , 진티세드릭 , 산체스-가르시아후안 , 커민스에릭
IPC分类号： H02S40/10 , B08B1/00 , B08B3/04 , B08B11/00
CPC分类号： H02S40/10 , B08B1/001 , B08B1/002 , B08B1/005 , B08B1/04 , B08B3/024 , B08B3/04 , F24S40/20 , Y02E10/40 , B08B11/00 , H01L31/042
摘要： 광기전(PV) 모듈세정시스템은로봇세정장치및 지원시스템을포함할수 있다. 지원시스템은계량충전을로봇세정장치에제공하도록구성될수 있다. 일부실시예들에서, 로봇세정장치는휘어진세정헤드를포함한다. PV 모듈상에로봇세정장치를운용하기위한다양한기법들에는다른기법들중에서아웃앤드백, 뛰어넘기(leapfrog)를포함된다.
摘要翻译：光伏（PV）模块清洁系统可以包括机器人清洁装置和支撑系统。支撑系统可以被配置为向机器人清洁装置提供计量填充。在一些实施例中，机器人清洁装置并且包括弯曲的清洁头。用于在光伏组件上部署机器人清洁装置的各种技术包括：脱离，跳跃等。

6. 发明公开

KR1020150038815A 웰 세정장치 审中-实审
标题翻译：清洁装置
公开(公告)号：KR1020150038815A
公开(公告)日：2015-04-09
申请号：KR1020130116548
申请日：2013-09-30
申请人： 한국전력공사
发明人： 홍은기 , 안영모 , 장철호 , 조민호 , 석재륜 , 장진형 , 이성호
IPC分类号： E21B21/015 , E21B37/00
CPC分类号： E21B37/00 , B08B1/001 , B08B5/04
摘要： 본발명은내부에원기둥형상의중공이형성된상하이동부와, 상기상하이동부에삽입되고외주면이원기둥형상으로구비된회전부와, 하단이상기회전부에결합하고상기회전부의회전시정지상태를유지하는정지부및, 상기회전부의하단과연결되어상기회전부와연동되어회전하는분쇄부를포함하여구성되고, 상기상하이동부가상하로이동할때 상기회전부가회전하기위해, 상기상하이동부의내주면또는상기회전부의외주면에는나선형의홈이형성되고, 나선형의홈이형성되지않은상기상하이동부의내주면또는상기회전부의외주면에는상기홈에삽입되도록일측에서돌출된돌출부가형성되는웰 세정장치에관한것이다. 이와같은본 발명의일 실시예에의한웰 세정장치에따르면, 하나의장치에의해웰 내부의고형물질의분쇄하고웰 내부로배출할수 있다.
摘要翻译：清洗装置技术领域本发明涉及一种井清洗装置，其特征在于，包括：具有圆柱形中空的垂直运动部件; 旋转部，其被插入到垂直运动部分中，并且其外圆周成形为圆筒; 固定部分，其底部连接到旋转部分，并且其保持抵抗旋转部分的旋转静止; 以及磨削部，其连接到旋转部的底部，以与旋转部一起旋转。在垂直运动部分的内圆周上或旋转部分的外圆周上形成螺旋槽，以使垂直运动部分在垂直方向运动时旋转部分旋转。在垂直运动部分的内周或旋转部分的外圆周的一侧上形成突起，而没有螺旋槽插入槽中。根据本发明的一个实施例，井清洁装置使用单个装置研磨井内的固体材料并将其排放到井的内部。

7. 发明公开

KR1020150011172A 파티클 제거장치 无效
标题翻译：颗粒去除装置
公开(公告)号：KR1020150011172A
公开(公告)日：2015-01-30
申请号：KR1020130086112
申请日：2013-07-22
申请人： 고산티엠(주)
发明人： 손병권
IPC分类号： H01L21/02
CPC分类号： B08B7/0028 , B08B1/001 , B08B1/04 , H01L21/02
摘要： 본 발명은 반도체 생산공정에서 작업자가 착용하는 장갑에 부착 되는 파티클을 제거하는 장치에 관한 것이다.
본 발명인 파티클 제거장치는 파티클과 같은 이물질이 부착될 수 있는 점착부가 표면에 형성되고 중심부에 롤러축이 관통하여 삽입되는 점착롤러;상기 점착롤러가 삽입될 수 있는 점착롤러수용공간이 형성되고, 상기 롤러축의 양단과 연결되며 상기 점착롤러의 점착부와 파티클 제거대상물 간의 접촉이 이루어 질 수 있는 개방부가 형성된 케이싱;을 포함하고, 상기 점착롤러는 상기 롤러축을 중심으로 회전하면서 상기 파티클 제거대상물과접촉할 수 있는 특징으로 한다.
본 발명인 파티클 제거장치는 회전하는 점착롤러를 이용하여 장갑에 부착된 파티클을 용이하게 제거할 수 있다.
摘要翻译：本发明涉及一种用于在半导体制造过程中去除附着在工作者的手套上的颗粒的装置。根据本发明的除去颗粒的装置包括：粘合辊，其具有表面，其上附着有诸如颗粒的异物的粘附部分，以及辊轴通过的中心部分; 以及设置有粘合辊容纳空间的壳体，粘合辊可以插入其中，连接到辊轴的两端，并且设置有开口部，粘合辊的粘附部分和颗粒除去目标物体彼此接触，其中粘合辊可以在围绕辊轴旋转的同时与除尘目标物体接触。因此，除去颗粒的装置可以通过使用旋转粘合辊容易地除去附着在手套上的颗粒。

8. 发明公开

KR1020150002483A 기판 처리 장치 审中-实审
标题翻译：基板加工设备
公开(公告)号：KR1020150002483A
公开(公告)日：2015-01-07
申请号：KR1020140076431
申请日：2014-06-23
申请人： 가부시키가이샤 에바라 세이사꾸쇼
发明人： 도가와데츠지 , 이토겐야 , 이시이유 , 우치야마게이스케
IPC分类号： H01L21/302 , H01L21/66 , H01L21/683
CPC分类号： B08B1/04 , B08B1/001 , B08B1/006 , B24B37/10 , B24B37/107 , B24B37/30 , H01L21/304 , H01L21/67046 , H01L21/67051 , H01L21/687 , H01L21/68728
摘要： 본 발명의 과제는, 유체로 지지된 웨이퍼 등의 기판이 소정의 처리 위치에 정확하게 존재하고 있는지 여부를 검출할 수 있는 기판 처리 장치를 제공하는 것이다.
기판 처리 장치는, 스크럽 부재(61)를 기판(W)의 제1면에 미끄럼 접촉시켜 상기 기판(W)의 표면 처리를 행하는 스크러버(50)와, 제1면과는 반대측의 기판의 제2면을 유체를 통해 비접촉으로 지지하는 정압 지지 기구(90)와, 스크러버(50)와 정압 지지 기구(90)와의 거리를 측정하는 거리 센서(103)와, 거리의 측정값으로부터 정압 지지 기구(90)와 기판(W)의 제2면과의 사이의 간극을 산출하고, 간극이 소정의 범위 이내에 있는지 여부를 결정하는 처리 제어부(4)를 구비한다.
摘要翻译：本发明的目的是提供一种基板处理装置，其能够检测在预定的处理位置中是否适当地存在由流体支撑的诸如晶片的基板。基板处理装置包括：洗涤器（50），其允许擦洗部件（61）与基板（W）的第一表面接触以被滑动以处理基板（W）的表面; 静压支撑装置（90），以非接触方式通过流体支撑与第一表面相对的基板的第二表面; 用于测量静液压支撑装置（90）和洗涤器（50）之间的距离的距离传感器（103）; 以及控制单元（4），用于基于所测量的距离计算静液压支撑装置（90）和基板（W）的第二表面之间的间隙，并确定间隙是否在预定范围内。

9. 发明公开

KR1020120056820A 세정용 스폰지체 및 세정방법 有权
标题翻译：清洁海绵和清洁方法
公开(公告)号：KR1020120056820A
公开(公告)日：2012-06-04
申请号：KR1020127003600
申请日：2010-08-12
申请人： 아이온 가부시키가이샤
发明人： 시마자키유우이치 , 카와구치타다시 , 츠카다히데히코
IPC分类号： H01L21/67 , H01L21/02
CPC分类号： B08B1/001 , B08B1/04 , B08B3/08 , B08B3/10 , B08B11/00 , C08F20/10 , H01L21/02057 , H01L21/02096 , H01L21/67046
摘要： 스폰지 롤러(1)는 습윤 상태에서 탄성을 가지는 폴리비닐아세탈계 수지 다공질 소재로 구성되며, 대략 원통형상인 롤체(3)와, 롤체(3)의 외주면(3a)상에 일체 형성된 복수의 돌기(5)를 가지며, 이 복수의 돌기(5)들을 피세정면에 회전 접촉시켜서 피세정면을 세정한다. 스폰지 롤러(1)를 구성하는 폴리비닐아세탈계 수지는 음이온성 관능기를 가진다.

10. 发明公开

KR1020120017160A 교체형 절삭부, 회전부 및 단차 극복 이송기를 구비하는 하수관 이물질 제거 장치 有权
标题翻译：具有可更换切割部件，旋转部件和移动部件的装置，用于拆卸管道中的ALIEN物质
公开(公告)号：KR1020120017160A
公开(公告)日：2012-02-28
申请号：KR1020100079683
申请日：2010-08-18
申请人： (주) 피스코
发明人： 윤여범
IPC分类号： E03F9/00 , B08B9/04 , B08B9/049 , B08B1/00 , B08B1/04
CPC分类号： E03F9/002 , B08B1/001 , B08B1/04
摘要： PURPOSE: A foreign material removing device for a drain pipe having a replaceable cutting unit, a rotary unit, and a transfer unit is provided to remove foreign materials and tree roots entering into a drain pipe using a cutting blade. CONSTITUTION: A foreign material removing device for a drain pipe comprises a shaft, a rotary unit, a mounting unit, a cutting blade, and a moving unit(200). A hose for supplying high-pressure water is coupled to the shaft. The rotary unit is coupled to the shaft. The mounting unit is coupled to the front of the rotary unit to be rotated with the rotary unit. The cutting blade is detachably installed I the mounting unit and removes tree roots and foreign materials entering into a drain pipe. The moving unit supports the hose and allows the device to move.
摘要翻译：目的：提供一种用于具有可更换切割单元，旋转单元和转印单元的排水管的异物去除装置，以使用切割刀片去除进入排水管的异物和树根。构成：用于排水管的异物去除装置包括轴，旋转单元，安装单元，切割刀片和移动单元（200）。用于供应高压水的软管与轴连接。旋转单元联接到轴。安装单元联接到旋转单元的前部以与旋转单元一起旋转。切割刀片可拆卸地安装在安装单元上，并移除树根和进入排水管的异物。移动单元支撑软管并允许设备移动。

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