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1. 发明授权

KR101410793B1 진자 플레이트 위치 측정 장치 및 이를 포함하는 진자 밸브 有权
标题翻译：用于垂直板和垂直阀的位置测量装置
公开(公告)号：KR101410793B1
公开(公告)日：2014-06-24
申请号：KR1020130080085
申请日：2013-07-09
申请人： (주)드림솔
发明人： 한석현 , 임대훈
IPC分类号： G01B11/00 , F16K3/00 , H01L21/66
摘要： The present invention relates to a position measuring apparatus of a pendulum plate and a pendulum valve including the same, comprising a valve housing having an open unit on one side and a vertically penetrated-air passage, a pendulum plate rotatably arranged in the valve housing and controlling the air passage, a pendulum driving unit combined with the valve housing and rotating the pendulum plate, a cover combined to be separable on the open unit, and a position measuring apparatus of a pendulum plate for measuring a position of the pendulum plate. The position measuring apparatus of a pendulum plate measures the position of the pendulum plate by combining to a position where the cover is isolated, when the cover is isolated from the valve housing.
摘要翻译：本发明涉及一种摆锤板的位置测量装置和包括该摆式阀的摆动阀，该阀包括一个在一侧具有开口单元的阀壳体和一个垂直穿透空气通道，摆动板可旋转地布置在阀壳体中，控制空气通道，摆动驱动单元与阀壳体结合并旋转摆板，组合在可拆卸单元上的盖子以及用于测量摆锤板位置的摆板的位置测量装置。当盖与阀壳隔离时，摆锤板的位置测量装置通过结合到盖被隔离的位置来测量摆锤板的位置。

2. 发明授权

KR101482593B1 웨이퍼 정 위치 감지 장치 有权
标题翻译：感测装置和晶片固定位置
公开(公告)号：KR101482593B1
公开(公告)日：2015-01-14
申请号：KR1020130077392
申请日：2013-07-02
申请人： (주)드림솔
发明人： 한석현 , 김한일
IPC分类号： H01L21/68 , H01L21/66
摘要： 본 발명은 웨이퍼 정 위치 감지 장치에 관한 것으로, 수광부와 발광부가 챔버 내부를 향하고, 상기 챔버내에 위치한 웨이퍼의 위치를 감지하는 챔버 센서들 및 상기 챔버 센서들과 상기 챔버의 도어를 구동하는 구동부와 전기적으로 연결된 제어부를 포함하며, 상기 챔버 센서는, 상기 챔버의 중심을 기준으로 상기 웨이퍼의 최 외곽을 따라 등 간격으로 배열되어 있으며, 상기 챔버 센서는 상기 챔버 내부로 반송된 상기 웨이퍼가 정 위치에 위치하지 않으면 이를 감지하여 상기 제어부에 신호를 인가하고, 상기 챔버 센서의 신호를 입력 받은 상기 제어부는 상기 도어가 닫히지 않도록 상기 구동부를 제어한다.

3. 外观设计

KR3007720460000S 有权
公开(公告)号：KR3007720460000S
公开(公告)日：2014-11-21
申请号：KR3020140010364
申请日：2014-02-28
申请人： (주)드림솔
设计人： 강경식

4. 外观设计

KR3007720450000S 有权
公开(公告)号：KR3007720450000S
公开(公告)日：2014-11-21
申请号：KR3020140010358
申请日：2014-02-28
申请人： (주)드림솔
设计人： 강경식

5. 发明授权

KR101462241B1 웨이퍼용 개구통합형 포드의 퍼지장치 有权
标题翻译：用于从开口的统一的POD进行浸泡过程的装置
公开(公告)号：KR101462241B1
公开(公告)日：2014-11-20
申请号：KR1020120028160
申请日：2012-03-20
申请人： (주)드림솔
发明人： 한석현
IPC分类号： H01L21/673 , H01L21/02
摘要： 본 발명은 가공공정중의 웨이퍼를 보관, 반송하기 위한 개구통합형 포드(FOUP:Front-Opening Unified Pod)에 연결된 질소 공급부 및 개구통합형 포드로부터의 질소 배기부로 구성되어, 개구통합형 포드내에 질소를 계속적으로 또는 단속적으로 공급하여 배출되도록 함으로써 웨이퍼에 잔류된 공정가스를 효과적으로 제거할 수 있는 효과가 있다.

6. 发明公开

KR1020130106543A 웨이퍼용 개구통합형 포드의 퍼지장치 有权
标题翻译：用于从开口的统一的POD进行浸泡过程的装置
公开(公告)号：KR1020130106543A
公开(公告)日：2013-09-30
申请号：KR1020120028160
申请日：2012-03-20
申请人： (주)드림솔
发明人： 한석현
IPC分类号： H01L21/673 , H01L21/02
CPC分类号： H01L21/67034 , B01D46/00 , F16L55/07 , G01F1/56
摘要： PURPOSE: A purging device of a front-opening unified pod (FOUP) for a wafer is provided to prevent the inner contamination of the FOUP by continuously or intermittently removing a processing gas which remains on the wafer. CONSTITUTION: A nitrogen storage container stores nitrogen. One end of a nitrogen supply pipe (12) is connected to the nitrogen storage container. A FOUP is connected to the other end of the nitrogen supply pipe. A nitrogen supply unit (10) supplies the nitrogen to the FOUP. An exhaust unit (20) exhausts the FOUP of the nitrogen.
摘要翻译：目的：提供用于晶片的前开口统一容器（FOUP）的清洗装置，以通过连续或间歇地去除残留在晶片上的处理气体来防止FOUP的内部污染。构成：氮气储存容器储存氮气。氮供给管（12）的一端与氮储存容器连接。 FOUP连接到氮气供应管的另一端。氮气供应单元（10）将氮气供应到FOUP。排气单元（20）排出氮气的FOUP。

7. 发明授权

KR102147775B1 에지링 측정 장치 有权
公开(公告)号：KR102147775B1
公开(公告)日：2020-08-25
申请号：KR1020190027521
申请日：2019-03-11
申请人： (주)드림솔
发明人： 한석현 , 장정현 , 김한일
IPC分类号： H01L21/67 , H01L21/687

8. 发明公开

KR1020170023236A 진자밸브 제어 시스템 审中-实审
标题翻译：用于控制蝶阀和使用系统的半导体制造设备的系统和方法
公开(公告)号：KR1020170023236A
公开(公告)日：2017-03-03
申请号：KR1020150116606
申请日：2015-08-19
申请人： (주)드림솔
发明人： 한석현 , 장정현
IPC分类号： H01L21/02 , F16K3/00 , F17C13/04
摘要： 본발명은진자밸브제어시스템및 이를이용한반도체제조설비와진자밸브제어방법에관한것으로서, 진자밸브와, 진자밸브에전원을공급하는진자밸브용전원공급부와, 진자밸브에대해전원공급및 진자플레이트제어를수행하는진자밸브용컨트롤러를포함하며, 진자밸브용컨트롤러는, 전원공급여부를스위칭하는전원온/오프스위치와, 진자플레이트의개폐신호를생성하는진자플레이트개폐스위치와, 개폐신호를전달하는케이블접속부를포함한다. 본발명에따르면, 진자밸브에대해별도로전원공급및 제어를수행함으로써, 진자플레이트의얼라인상태를육안으로확인할수 있으므로 PM 작업시간을최소화할수 있을뿐 아니라, 진자밸브와연결된통신보드의손상을방지할수 있다.

9. 发明授权

KR101593033B1 웨이퍼 이송부용 탈착패널 및 이를 포함하는 웨이퍼 처리 장치 有权
标题翻译：面板可拆卸的设备前端模块和包括它的晶片处理设备
公开(公告)号：KR101593033B1
公开(公告)日：2016-02-18
申请号：KR1020140009142
申请日：2014-01-24
申请人： (주)드림솔
发明人： 한석현 , 김한일
IPC分类号： H01L21/677 , B25J21/00
摘要： 본발명은웨이퍼처리장치에관한것으로, 웨이퍼가안착될수 있는카세트가배치된로딩부, 상기로딩부와마주하며, 상기웨이퍼를공정처리하는공정부, 내부에상기로딩부및 상기공정부와연결된이송공간이형성되어있고, 상기이송공간에상기웨이퍼를이송하는이송로봇이배치된웨이퍼이송부, 상기웨이퍼이송부내부면에배치되어있는탈착패널, 그리고상기탈착패널을상기둘레면에분리가능하게결합하는결합부를포함하고, 상기탈착패널은상기웨이퍼이송부내부둘레면에탈착가능하게배치되어있고, 상기둘레면과대응되는형상으로형성된몸체, 상기몸체의표면에형성된코팅층, 그리고상기몸체와상기둘레면사이에배치된실링부재를포함한다.

10. 外观设计

KR3008172020000S 有权
公开(公告)号：KR3008172020000S
公开(公告)日：2015-09-25
申请号：KR3020140055804
申请日：2014-11-19
申请人： (주)드림솔
设计人： 강경식

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