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1. 发明公开

KR1020150095972A 클리닝 가스 순환 장치, 증착 장비 및 상압 화학기상증착 장비 无效
标题翻译：清洁气体循环装置，化学蒸气沉积装置和大气压力化学气相沉积装置
公开(公告)号：KR1020150095972A
公开(公告)日：2015-08-24
申请号：KR1020140016196
申请日：2014-02-12
申请人： 한국기계연구원
发明人： 권정대 , 남기석 , 나종주 , 김동호 , 정용수 , 조병진 , 함명관 , 송명관
IPC分类号： C23C16/44 , C23C16/455
CPC分类号： C23C16/4401
摘要： 본 발명은 클리닝 가스를 챔버 내부에 골고루 공급할 수 있는 클리닝 가스 순환 장치, 증착 장비 및 상압 화학기상증착 장비에 관한 것으로서, 증착 장비의 챔버의 일부분에 형성된 클리닝 가스 투입구에 설치되고, 클리닝 가스를 챔버 내부로 공급하는 클리닝 가스 공급관; 상기 챔버의 타부분에 형성된 클리닝 가스 배출구에 설치되고, 챔버 내부의 클리닝 가스를 배출하는 클리닝 가스 배출관; 상기 클리닝 가스 공급관과 상기 클리닝 가스 배출관을 연결시키는 클리닝 가스 순환관; 및 상기 클리닝 가스 순환관에 설치되고, 상기 클리닝 가스를 정제하는 클리닝 가스 정제 필터;를 포함하고, 상기 챔버 내부에서 클리닝 가스의 이동 경로가 길어지도록 상기 클리닝 가스 투입구는 상기 챔버의 상부의 제 1 모서리부, 제 2 모서리부, 제 3 모서리부 및 제 4 모서리부 중에서 어느 일 모서리부 근방에 설치되고, 상기 클리닝 가스 배출구는 상기 챔버의 하부의 제 5 모서리부, 제 6 모서리부, 제 7 모서리부 및 제 8 모서리부 중에서 상기 일 모서리부와 3차원 대각선 방향으로 반대편에 위치하는 다른 모서리부에 설치되는 것일 수 있다.
摘要翻译：清洗气体循环装置，沉积装置和大气压化学气相沉积装置技术领域本发明涉及清洗气体循环装置，沉积装置和大气压化学气相沉积装置该装置包括：清洁气体供给管，其安装在形成在沉积装置的室的一部分中的清洗气体入口处，并将清洁气体供应到室中; 清洁气体排出管，其安装在形成在所述室的另一部分中的清洗气体出口处，并且将所述清洁气体从所述室排出; 清洁气体循环管，其将清洁气体供给管与清洁气体排出管连接; 以及安装在清洗气体循环管上的净化气体净化过滤器，净化清洗气体。清洁气体入口安装在室的上部的第一，第二，第三和第四角之间的一个周围，以便延长腔室中的清洁气体的运动路径，并且清洁气体出口安装在拐角，放置在3D对角线方向的相对侧，在腔室的下部的第五，第六，第七和第八角中。

2. 发明授权

KR101438799B1 레이저를 이용한 초고온 열충격 및 산화시험장치 有权
标题翻译：超高温冲击和氧化试验设备采用激光束
公开(公告)号：KR101438799B1
公开(公告)日：2014-09-05
申请号：KR1020120152672
申请日：2012-12-26
申请人： 한국기계연구원
发明人： 이구현 , 남기석 , 변응선 , 이성훈
IPC分类号： G01N3/60 , G01N17/02
摘要： 본 발명에 의한 레이저를 이용한 초고온 열충격 및 산화시험장치에 있어서,
레이저를 이용한 초고온 열충격 및 산화시험장치의 구성에 있어서, 내부에 시편이 저장되는 공간을 구비하고, 시험자가 선택적으로 내부의 대기환경의 산화,환원 분위기와 진공상태 여부를 제어가능한 시험 챔버(Chamber)와; 상기 시험 챔버 내부에는, 시편을 안착시키는 시편 홀더와, 상기 시편 홀더를 지지하는 홀더 지지대로 구성된 시편 안착부와; 상기 시험 챔버의 일측과 연통되고, 내부의 압력을 측정가능하게 구비된 압력 게이지와; 상기 시험 챔버와 일측과 연통하여, 상기 시험 챔버 내부로 시험자가 선택한 가스를 투입가능하도록 구비된 가스 투입구와; 상기 시험 챔버 내부로 레이저를 이용하여 시편에 열을 가하는 레이저 가열부와; 상기 시험 챔버의 일측에는, 상기 시험 챔버와 연통하여 외부로 내부의 가스를 배출시키는 가스 배기구와; 상시 시험 챔버의 일측에는, 시험자의 선택에 따라 상기 시험 챔버의 내부를 진공상태로 변환시킬 수 있는 진공변환부와; 상기 시험 챔버의 일측에 구비되고, 상기 열충격 및 산화시험장치의 동작 여부를 제어하는 제어부; 그리고, 상기 레이저 가열부 일측에는, 상기 레이저 가열부를 냉각시켜주는 칠러(Chiller);를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.

3. 发明授权

KR101410716B1 금 나노입자를 포함하는 유기발광소자 및 그 제조방법 有权
标题翻译：含有纳米粒子的OLED及其方法
公开(公告)号：KR101410716B1
公开(公告)日：2014-06-24
申请号：KR1020120049627
申请日：2012-05-10
申请人： 한국기계연구원 , 경북대학교 산학협력단
发明人： 류승윤 , 김동호 , 남기석 , 정용수 , 송명관 , 박이순 , 이상문 , 이은우 , 임현빈 , 이종민 , 김은혜 , 박세정 , 김성훈
IPC分类号： H01L51/52 , C09K11/06 , H01L51/54
摘要： 금 나노입자가 분산되는 정공주입층을 포함하는 유기발광소자 및 그 제조방법이 개시된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 유기발광소자는 순차적으로 적층된 제1 전극, 정공주입층, 정공수송층, 발광층, 전자수송층 및 제2 전극을 포함하는 유기발광소자에 있어서, 상기 제1 전극 및 정공주입층의 계면에 제1 금 나노입자가 분산되고, 상기 정공주입층 내부에는 제2 금 나노입자가 블렌딩되는 것을 특징으로 한다.

4. 发明公开

KR1020140007082A 귀금속나노입자가 분산된 중간층을 포함하는 유·무기 복합 탠덤 태양전지 및 이의 제조방법 有权
标题翻译：有机无机混合多媒体光伏装置包含分散的金属纳米颗粒的中间层及其制备方法
公开(公告)号：KR1020140007082A
公开(公告)日：2014-01-17
申请号：KR1020120069144
申请日：2012-06-27
申请人： 한국기계연구원
发明人： 김창수 , 서지훈 , 김동호 , 강재욱 , 정용수 , 남기석 , 류승윤 , 권정대
IPC分类号： H01L31/0725 , H01L31/042 , H01L31/18
CPC分类号： Y02E10/50 , Y02P70/521 , H01L31/0725 , H01L31/042 , H01L31/18
摘要： The present invention relates to an organic-inorganic hybrid tandem solar cell and a manufacturing method thereof. In particular, the organic-inorganic hybrid tandem solar cell according to the present invention is provided by comprising: a substrate; a transparent electrode layer which is formed on the substrate; an inorganic optical active layer which is laminated on the transparent electrode layer; an indium tin oxide electron transport layer which is laminated on the inorganic optical active layer; a hole transport layer laminated on the electron transport layer, comprising poly(3,4-ethylenedioxythiphene):poly(4-styrenesulfonate) (PEDOT:PSS) or polyaniline and having noble metal nanoparticles distributed on one side or on both sides; and a backside electrode layer laminated on the organic optical active layer. The organic-inorganic hybrid tandem solar cell according to the present invention can further improve the optoelectronic conversion efficiency by distributing noble metal nanoparticles on at least one side of an electron transport layer. [Reference numerals] (AA) Noble metal nanoparticle distribution layer; (BB) PEDOT:PSS or PANI; (CC) Backside electrode layer; (DD) Organic optical active layer; (EE) Hole transport layer; (FF) ITO electron transport layer; (GG) Inorganic optical active layer; (HH) Transparent electrode layer; (II) Substrate
摘要翻译：本发明涉及一种有机 - 无机混合串联太阳能电池及其制造方法。特别地，根据本发明的有机 - 无机混合串联太阳能电池是通过包括：基板; 形成在基板上的透明电极层; 层叠在透明电极层上的无机光学有源层; 层叠在无机光学有源层上的氧化铟锡电子传输层; 层叠在电子传输层上的空穴传输层，其包含聚（3,4-亚乙基二氧基硫）：聚（4-苯乙烯磺酸盐）（PEDOT：PSS）或聚苯胺，并且具有分布在一侧或两侧的贵金属纳米颗粒; 以及层叠在有机光学有源层上的背面电极层。根据本发明的有机 - 无机混合串联太阳能电池可以通过在电子传输层的至少一侧上分配贵金属纳米颗粒来进一步提高光电转换效率。（标号）（AA）贵金属纳米粒子分布层; （BB）PEDOT：PSS或PANI; （CC）背面电极层; （DD）有机光学有源层; （EE）空穴传输层; （FF）ITO电子传输层; （GG）无机光有源层; （HH）透明电极层; （二）基材

5. 发明公开

KR1020130120686A 실란 생성 장치, 실란 생성 방법 및 이를 이용한 규소 강판의 제조방법 有权
标题翻译：形成硅烷的装置，形成硅烷的方法和使用其制造硅钢板的方法
公开(公告)号：KR1020130120686A
公开(公告)日：2013-11-05
申请号：KR1020120043775
申请日：2012-04-26
申请人： 한국기계연구원
发明人： 남기석 , 강재욱 , 권정대 , 김동호 , 김창수 , 류승윤 , 박성규 , 윤정흠 , 이건환 , 이성훈 , 정용수
IPC分类号： C01B33/04 , B01J19/12 , C23C16/513 , C23C16/24
CPC分类号： C01B33/04 , B01J19/087 , B01J2219/0894 , C23C16/24 , C23C16/50
摘要： Provided is an apparatus for forming silane according to the present invention. The apparatus includes a first electrode having a first hole, second electrode which has a second hole and faces the first electrode with an interval, at least one granular silicon which is interposed between the first electrode and the second electrode, and a power supply unit which connects to to the first electrode and the second electrode to generate plasma between the first electrode and the second electrode. The hydrogen gas can be flowed in through the first hole. The silane formed by reacting plasma with hydrogen and granular silicon through the second hole can be discharged.
摘要翻译：提供了根据本发明的用于形成硅烷的装置。该装置包括具有第一孔的第一电极，具有第二孔并且间隔面对第一电极的第二电极，插入在第一电极和第二电极之间的至少一个粒状硅，以及电源单元，连接到第一电极和第二电极，以在第一电极和第二电极之间产生等离子体。氢气可以通过第一孔流入。可以排出通过使等离子体与氢和粒状硅通过第二孔反应形成的硅烷。

6. 发明授权

KR101316096B1 중간층이 삽입된 유·무기 복합 탠덤 태양전지 및 이의 제조방법 有权
标题翻译：有机无机混合多媒体多媒体照相机及其制作方法
公开(公告)号：KR101316096B1
公开(公告)日：2013-10-11
申请号：KR1020120058576
申请日：2012-05-31
申请人： 한국기계연구원
发明人： 김창수 , 서지훈 , 김동호 , 강재욱 , 정용수 , 남기석 , 류승윤 , 권정대
IPC分类号： H01L31/078 , H01L31/075 , H01L51/42 , H01L31/18
CPC分类号： Y02E10/549 , H01L31/078 , H01L31/075 , H01L31/18 , H01L51/42
摘要： PURPOSE: An organic-inorganic hybrid tandem multijuntion photovoltaic cell with an interlayer and a method for manufacturing the same are provided to improve photoelectric conversion efficiency by forming a hole recombination region. CONSTITUTION: A transparent electrode layer is formed on a substrate. An inorganic photoactive layer is laminated on the transparent electrode layer. An indium tin oxide electron transport layer is laminated on the inorganic photoactive layer. A graphene oxide hole transport layer is laminated on the indium tin oxide electron transport layer. The organic photoactive layer is laminated on the graphene oxide hole transport layer. [Reference numerals] (AA) Graphene oxide; (BB) Indium tin oxide (ITO); (CC) Amorphous silicon (p-type/i-type/n-type); (DD) Aluminum-dopped zinc oxide (AZO); (EE) Glass
摘要翻译：目的：提供具有中间层的有机 - 无机混合串联多功能光伏电池及其制造方法，以通过形成空穴复合区域来提高光电转换效率。构成：在基板上形成透明电极层。无机光敏层层叠在透明电极层上。在无机光敏层上层叠氧化铟锡电子传输层。在氧化铟锡电子传输层上层压石墨烯氧化物空穴传输层。有机光活性层层压在氧化石墨烯氧化物空穴传输层上。（AA）石墨烯氧化物; （BB）氧化铟锡（ITO）; （CC）非晶硅（p型/ i型/ n型）; （DD）铝掺杂氧化锌（AZO）; （EE）玻璃

7. 发明授权

KR101241951B1 플라즈마 발생장치 및 기판의 플라즈마 처리방법 有权
标题翻译：等离子体发生装置和基板等离子体处理方法
公开(公告)号：KR101241951B1
公开(公告)日：2013-03-11
申请号：KR1020110079921
申请日：2011-08-11
申请人： 한국기계연구원
发明人： 남기석 , 권정대 , 김동호 , 김종국 , 윤정흠 , 이건환 , 이성훈 , 정용수
IPC分类号： H05H1/34 , B01J19/08 , C23C16/50
摘要： 본 발명은 플라즈마가 아크로 전이되는 현상을 억제하여 대기압 근처에서도 안정적이면서도 고밀도 플라즈마를 발생시키기 위해, 기판을 안착시키기 위한 판상형 하부전극; 및 상기 판상형 하부전극 상의 원통형 회전 전극을 포함하고, 상기 원통형 회전 전극은, 전원부에 연결되고, 그 외주면 상에 복수의 캐필러리부들을 포함하는 도전성 몸체; 및 상기 복수의 캐필러리부들의 저면부를 노출하도록 그 외의 부분은 절연체 또는 유전체로 차폐하는 것을 포함하는, 플라즈마 발생장치를 제공한다.

8. 发明授权

KR101195927B1 박막 태양전지 및 그 제조방법 有权
标题翻译：薄膜太阳能电池及其方法
公开(公告)号：KR101195927B1
公开(公告)日：2012-10-30
申请号：KR1020120073834
申请日：2012-07-06
申请人： 한국기계연구원
发明人： 류승윤 , 김동호 , 남기석 , 정용수 , 권정대 , 이성훈 , 윤정흠 , 이건환 , 정형환 , 박성규 , 김창수 , 임굉수 , 박상일 , 강재욱
IPC分类号： H01L31/0445 , H01L31/0224 , H01L31/18
CPC分类号： H01L31/18 , H01L31/062 , H01L31/07 , H01L31/075 , H01L31/078 , H01L31/1804 , Y02E10/547 , Y02E10/548 , Y02P70/521
摘要： PURPOSE: A thin film solar cell and a manufacturing method thereof are provided to prevent a doping layer by replacing a p type semiconductor layer with an oxide layer and an n type semiconductor with a rear electrode layer made of LiF/Al. CONSTITUTION: A front electrode layer(120) is formed on a substrate. An oxide layer(130) is formed on the front electrode layer and is made of materials selected among MoO3, WO3, V2O5, and CrO3. A light absorption layer(140) is formed on the oxide layer. A rear electrode layer(150) is formed on the light absorption layer.
摘要翻译：目的：提供一种薄膜太阳能电池及其制造方法以通过用具有由LiF / Al制成的后电极层的氧化物层和n型半导体替代p型半导体层来防止掺杂层。构成：在基板上形成前电极层（120）。在前电极层上形成氧化物层（130），由选自MoO 3，WO 3，V 2 O 5和CrO 3的材料制成。在氧化物层上形成光吸收层（140）。在光吸收层上形成后电极层（150）。

9. 发明授权

KR100720106B1 내식성이 우수한 구리-아연 합금 다공체 및 그 제조방법 失效
标题翻译：具有优良耐腐蚀性能的铜锌合金泡沫及其制造方法
公开(公告)号：KR100720106B1
公开(公告)日：2007-05-18
申请号：KR1020050061891
申请日：2005-07-08
申请人： 한국기계연구원 , 주식회사 포어텍
发明人： 남기석 , 김경일
IPC分类号： C22C9/04 , C22C1/08 , C22C1/04
摘要： 본 발명은 3차원 망상 구조의 구리 금속 다공체에 아연을 합금화시켜 내식성과 항균 탈취력을 증대시킴은 물론 사용수명을 연장시킬 수 있도록 한 내식성이 우수한 구리-아연 합금 다공체 및 그 제조방법에 관한 것이다.
본 발명은 구리 다공체 모재에, 15∼35중량%의 아연을 합금화시켜 3차원 망상 구조를 갖도록 한 내식성이 우수한 구리-아연 합금 다공체를 제조하여 제공함에 그 특징이 있다.
본 발명에 따르면 구리-아연 합금 다공체는 우수한 내식성을 가지면서 구리 다공체 고유의 우수한 열전도 및 항균 탈취력보다 우수한 특성을 가짐으로 인해 열저장체, 열교환기, 공기정화 및 조화장치, 수처리장치 등 다양한 용도 및 환경에 널리 사용될 수 있는 장점이 있다.
구리, 아연, 합금, 항균, 다공체

10. 发明授权

KR100711619B1 마이크로 디바이스용 극저마찰 탄소보호막 및 그 제조방법 有权
标题翻译：用于微器件的超低摩擦碳膜和相同的方法
公开(公告)号：KR100711619B1
公开(公告)日：2007-04-30
申请号：KR1020050067878
申请日：2005-07-26
申请人： 한국기계연구원
发明人： 나종주 , 이구현 , 남기석 , 권식철
IPC分类号： C23C16/26
摘要： 본 발명은 마찰계수가 낮으면서도 충분한 내마모성을 구비하고 있는 마이크로 디바이스용 극저마찰 탄소보호막 및 그 제조방법에 관한 것으로, 순수한 탄소를 이용한 카본박막 제조공정에 의해 제조되고 다이아몬드 구조와 흑연 구조가 소정의 비율로 혼재된 비정질상으로 이루어지고; 라만분석에서 D-peak의 위치가 1390±10㎝
-1 , G-peak의 위치가 1580±20㎝
-1 , I
D /I
G 가 1.2~2를 만족하며; 경도 2~30㎬, 잔류응력 10㎫~2㎬, 표면조도 0.4~6.0㎚, 탄성계수 10~270㎬, 전기저항 1~100mΩ-㎝의 범주에 속하는 것이며, 전압밀도 4.4~13.2W/㎠, 기판온도 상온~400℃, 아르곤(Ar) 압력 1~10mTorr의 조건에서 탄소를 스퍼터링 타겟으로 하여, 상기 기판의 온도와 바이어스 전압을 변화시키면서 기판에 펄스 RF 바이어스를 인가하여 DLC(Diamond Like Carbon)박막과 흑연박막이 혼합된 다층박막을 형성한다.
따라서, 마찰계수가 낮아 마이크로 디바이스 제품의 작동성능을 저해하지 않고 높은 내마모성에 의해 제품의 수명이 길어지며 물에 대한 높은 접촉각으로 인해 습식공정 후에도 물이 거의 남지 않게 되므로 부품간 응착이 일어나지 않게 된다.
마이크로 디바이스, 보호막, 내마모성, 라만분석, 비정질, 스퍼터링, DLC박막, 흑연박막, 마찰계수, 접촉각

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